Trang 1 NGUYỄN THỊ NGỌCCẤU TRÚC NANO CỦA ZnO CHẾ TẠOBẰNG PHƢƠNG PHÁP THỦY NHIỆT LUẬN VĂN THẠC SĨ KHOA HỌCChuyên ngành: VẬT LÝ KỸ THUẬT Trang 2 TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI----
Trang 2TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI
Trang 3L ỜI CAM ĐOAN
trúc nano của ZnO chế tạo bằng phương pháp thủy nhiệt là công trình nghiên
Hà Nội, tháng 09 năm 2019
Nguyễn Thị Ngọc
Trang 4-
Hà Nội, tháng 09 năm 2019
Nguyễn Thị Ngọc
Trang 5M C L C Ụ Ụ
LỜI CAM ĐOAN i
LỜI CẢM ƠN ii
MỤC LỤC iii
DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT VÀ KÝ HIỆU v
DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ vi
DANH MỤC CÁC BẢNG viii
MỞ ĐẦU 1
CHƯƠNG 1 TỔNG QUAN 5
-emitting diodes LED)
CHƯƠNG II THỰC NGHIỆM 21
2.2.1 Quy trình 23
Trang 6
CHƯƠNG 3 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 34
KẾT LUẬN VÀ KIẾN NGHỊ 50
TÀI LIỆU THAM KHẢO 51
Trang 7DANH MỤ C CÁC CH ẾT TẮ ỮVI T VÀ KÝ HI U Ệ
Từ viết
DSSC Dye-sensitized solar cell
EDX Energy - Dispersive X - ray
Spectroscopy X
EL Emission luminescence
FE SEM- Field Emission Scaning Electron
Microscopy LED Light Emitting Diode
MOCVD Metalorganic Chemical Vapour
Deposition NRs Nanorods Thanh nano
Trang 8DANH MỤC CÁC HÌNH V Ẽ
Hình 1.1 C u trúc tinh th c a ZnO [12] 5
Hình 1.2 nh FE-SEM (a) và ph XRD (b) c a h t nano ZnO ch t o b pháp th y nhi t [4] 12
Hình 1.3 nh FE-SEM c a nano ZnO 3D ch t o pH khác nhau [16] 13
Hình 1.4 nh TEM các m i nhi [6]
Hình 1.5 nh SEM l p m m ZnO pha t p Ga và nh m t c t thanh ZnO nano [5] 15
Hình 1.6 nh SEM ZnO NRs ng d ng cho c m bi n [10] 15
m t c t ngang c a LED ZnO/ GZO/ GaN [34]
m t c t ngang (a) và ph EL(b) c a LED d th ZnO N GaN/ZnO NWs [5] 18
m t c t c a pin DSSC s d ng thanh nano ZnO [18]
Hình 1.10 nh SEM c a thanh ZnO ng d ng trong c m bi n khí NH3 [27] 20
Hình 2.1 Các d ng c và thi t b s d ng 22
Hình 2.2 Quy trình ch t o l p m m ZnO 24
Hình 2.3 Quy trình ch t o thanh ZnO nano b y nhi t
Hình 2.4 S n t ng cao và m u Hình 2.5 Thi t b kính hi n t quét JEOL JSM 2
Hình 2.6 S nhi u x tia X trên tinh th 30
Hình 2.7 Nguyên lí ho ng c a ph tán s ng tia X
Hình 3.1 nh FE - SEM b m t c c ch t o v i s l p m m nhau: a) 1 l p m m, b) 3 l p m m và c) 7 l p m m 34
Hình 3.2 nh FE - SEM b m t c c ch t o v i n du quay ph khác nhau: a) 0,25M; b) 0,5M; c) 0,75M và d) 1M 36
Hình 3.3 nh FE - SEM b m t c c ch t o v i nhi
Trang 9Hình 3.10 nh FE - SEM b m t c c ch t o v i th i gian tnhi t khác nhau: a) 1 h, b) 3 h, c) 6 h, d) 9 h, e) 12 h và f) 15 h 45
Hình 3.11 nh FE - SEM m t c t c c ch t o v i th i gian tnhi t khác nhau: a) 3 h, b) 6 h, c) 9 h, d) 12 h và e) 15 h 46
Hình 3.13 nh FE - SEM b m t c a ZnO N c ch t o v i th i gian th y nhi t khác nhau: a) 90 oC, b) 120 oC, c) 150 oC và d) 180 oC 48
Hình 3.14 Ph EDX c a thanh ZnO có nhi th y nhi t là 150 oC 49
Trang 10B ng 1.1.M t s thông s v t lí c a ZnO có c u trúc wurtzite 6
B ng 1.2 M t s k t qu t ng h p ZnO nano b y nhi công b 16
B ng 2.1 Các d ng c và thi t b s d ng 21
B ng 2.2 Các hóa ch t s d ng 23
B ng 2.3 Cách tính dhkl theo h ng s m ng trong m t s lo i tinh th 31
Trang 11M Ở ĐẦU
1 Lý do chọ n đ ề tài
Trang 19sol-1.1.2.2 Phương pháp lắng đọng điện hóa
[1]
[21]
Trang 201.1.2.3 Phương pháp hóa ướt
C
[28]
Liquefied Petroleum Gas)
1.1.2.4 Phương pháp thủy nhi t ệ
Trang 21-
-
Trang 233 3COO)2
[16]
Hình 1.3 Ảnh FE SEM của nano ZnO 3D chế tạo ở pH khác nhau [16]-
Trang 26Bảng 1.3 Một số kết quả tổng hợp ZnO nano bằng phương pháp thủy nhiệt đã được
Zn(CH3COO)2,
NH4OH
160oC, 2h
20 - 60 nm Materials Letters, 59,
Trang 271.2 Các ng d ng c a vứ ụ ủ ậ t liệu ZnO nano
1.2.1 Đi ố t phát quang (light-emitting-diodes LED)
[29]
[34]
Hình 1.7 Sơ đồ mặt cắt ngang của LED ZnO/ GZO/ GaN [34]
[3, 27]
Trang 28-Hình 1.8 Sơ đồ mặt cắt ngang (a) và phổ EL(b) của LED dị thể ZnO
NWs/p-GaN/ZnO NWs [5]
1.2.2 Pin m ặ t trờ i
[18]
2
Trang 29Hình 1.9 Sơ đồ mặt cắt của pin DSSC sử dụng thanh nano ZnO [18]
1.2.3 C m bi n ả ế
Trang 32(c) Cân phân tích
(e) Máy rung siêu âm
(g) Lò nung vuông
Trang 36(2.2)
(2.3)
Trang 37Hình 2.4 Sự tương tác giữa chùm điện tử năng lượng cao và mẫu.
Trang 38
FESEM JSM
Hình 2.5 Thiết bị kính hiển vi điện tử quét JEOL –JSM.
Trang 392.3.2 Phương pháp nhi u x tia X (XRD) ễ ạ
Trang 41Bảng 2.3 Cách tính dhkltheo hằng số mạng trong một số loại tinh thể.
o
= 1,5406 Å o, góc 0,03quét 2 o o
2.3.3 Phương pháp phổ tán s ắc năng lượ ng tia X (EDX)
Dispersive X -
Trang 42(2.4)
Hình 2.7 Nguyên lí hoạt động của phổ tán sắc năng lượng tia X
JSM
Trang 432.3.4 Phương pháp phổ hu nh quang (PL) ỳ
photon và có xu h
Trang 443.1 Ảnh hưở ng của điều kiện ch t o l p m m ế ạ ớ ầ
3.1.1 Ảnh hưở ng c a s l p m m ủ ố ớ ầ
o o
Hình 3.1 Ảnh FE SEM bề mặt của ZnO nano được chế tạo với số lớp mầm khác -
nhau: a) 1 lớp mầm, b) 3 lớp mầm và c) 7 lớp mầm
Trang 453.1.2 Ảnh hưở ng c a n ủ ồ ng đ ộ dung d ch quay ph ị ủ
o o
90 nm, các
[3]
Trang 46Hình 3.2 Ảnh FE SEM bề mặt của ZnO NRs được chế tạo với nồng độ dung dịch -
quay phủ khác nhau: a) 0,25M; b) 0,5M; c) 0,75M và d) 1M
Trang 49Hình 3.4 Phổ nhiễu xạ tia X của mẫu ZnO có nhiệt độ ủ mầm là 500 o C
là 500 o
Hình 3.5 Phổ huỳnh quang của ZnO NRs được chế tạo với nhiệt độ ủ mầm là
Trang 503.2 Ảnh hưở ng của điều kiện th y nhi t ủ ệ
3.2.1 Ảnh hưở ng c a n ủ ồ ng đ ộ dung d ch th y nhi t ị ủ ệ
(c); 0,05 M (d) và 0,075 M (e)
K
-
Trang 51
Hình 3.6 -
Trang 532 = 34,54
o o 2 = 36,67
Hình 3.8 Phổ EDX của thanh ZnO có nồng độ dung dịch thủy nhiệt 0,025 M
thanh
Trang 54Hình 3.9 Phổ huỳnh quang của ZnO NRs được chế tạo với nồng độ dung dịch thủy
nhiệt là 0,025M
ZnO
3.2.2 ng c a th i gian th y nhi t
Trang 55khác nhau
Hình 3.10 Ảnh FE SEM bề mặt của ZnO NRs được chế tạo với thời gian thủy -
nhiệt khác nhau: a) 1 h, b) 3 h, c) 6 h, d) 9 h, e) 12 h và f) 15 h
Trang 56Hình 3.11 Ảnh FE SEM mặt cắt của ZnO NRs được chế tạo với thời gian thủy -
nhiệt khác nhau: a) 3 h, b) 6 h, c) 9 h, d) 12 h và e) 15 h
Trang 57-
1,7 µm
Hình 3.12
Trang 59Hình 3.14 Phổ EDX của thanh ZnO có nhiệt độ thủy nhiệt là 150 o C
o
Trang 60KẾT LUẬN
C bằng phương pháp thủy nhiệt
- u ki n ch t o n thanh ZnO nano
+ S l p quay ph c a l p m
+ N dung d ch và nhi l p m m ng t i hình d ng+ N dung d ch th y nhi t ng t ng kính và hìnthanh
+ Chi u dài than i gian ph n ng.*69
Trang 61sensing properties of a QCM sensor by increasing the length of vertically
Appl Surf Sci., vol 265, pp 458 464
Trang 62Nanorod- and Nanowire-Based NO 2 Room-Temperature Sensors Prepared
assembled ZnO 3D nanostructures with different pH in the simple
Mater Chem Phys., vol 113(1), pp 389 39
[17]
Biomedical App Bioinorg Chem Appl., vol 2018, pp 1 18, 2018[18]
sensitized solar cells: New structure without a transparent conducting oxide
Int J Photoenergy, vol 2010, pp 1 5, 2010
[19]
Process Parameters for Metal-Organic Chemical Vapor Deposition Reaction
Trang 63112, no 51, pp 20114 20117, 2008
[21]
synthesis of one-dimensional ZnO nanostructures on ZnO seed layer for
Appl Surf Sci., vol 428, pp 385 394, 2018
[22]
oxide nanorods and its photocatalytic activities towards degradation of
2,4-Ecotoxicol Environ Saf., vol 135, no October 2016, pp 243 251, 2017
[23] Mohamed, R., J Rouhi, M F Malek, A S Ismail, S A H Alrokayan, H A
zinc oxide nanorods on single and Co-doped ZnO seed layer templates:
Morphological, optical and electrical p Int J Electrochem Sci
vol 11, no 3, pp 2197 2204, 2016
[24] Mohammed, A M., I J Ibraheem, A S Obaid, and M Bououdina,
-based biosensor: DNA immobilization
Sens Bio-Sensing Res., vol 15, pp 46 52, 2017
sensing properties at room temperature of a quartz crystal microbalance
Sensors Actuators B Chem., vol 15
188 193, 2011
[28] Shimpi, N G., S Jain, N Karmakar, A Shah, D C Kothari, and S Mishra,
Trang 64J Appl Phys., v
2590, 1963
[30] Siswanto, Rochman, N T
characterization of Zinc Oxide ( ZnO ) nanoparticle by sol-gel method
Fabrication and characterization of Zinc Oxide ( ZnO ) nanoparticle by
sol-J Phys Conf Ser., pp 853, 012041, 2017
[31] Sokolov, P S., Baranov, A N., Dobrokhotov, Z V., & Solozhenko, V L.,
Russ Chem Bull., vol 59, no 2, pp 325 328, 2010
[32]
Preparation Conditions on the Growth of ZnO Nanorod Arrays Using
Int J Appl Ceram Technol., vol 5,
419 429, 2008
[33]
green emissions in ZnO microwhiskers fabricated by
vapor-J Phys Chem Solids, vol 73, no 7, pp 858 862, 2012
[34] Zhong, J., H Chen, G Saraf, Y Lu, C K Choi, J J Song, D M MacKie,
Appl Phys Lett., vol 90, no
2007