Vật lý và kỹ thuật màng mỏng

Giảng viên: TS Hoàng Nhật Hiếu Khoa: KHTN Trường: Đại Học Quy Nhơn 5/3/2021 Tai ngay!!! Ban co the xoa dong chu nay!!! 1/ Vật lý kỹ thuật màng mỏng, Nguyễn Đăng Định, NXB đại học quốc gia Hà Nội 2/ The Materials Science Of Thin Film, M Ohring, Academic Press (1992) ISBN: 0-12-524990-x 3/ Thin Film Materials technology, K Wasa, William Andrew (Springer) 5/3/2021 v Bài 1: Mở đầu màng mỏng v Bài 2: Công nghệ chế tạo màng mỏng v Bài 3: Phương pháp kiểm tra tính chất màng mỏng v Bài 4: Tính chất ứng dụng màng mỏng 5/3/2021 v v v v Cấu trúc vật rắn Màng mỏng Các khái niệm màng mỏng Màng mỏng thực tế 5/3/2021 Dựa vào xếp nguyên tử v v v Tinh thể (Crystalline) Vơ định hình (Amorphous) Giả tinh thể (Quasicrystalline) 5/3/2021 Tinh thể (Crystalline) v v v v Sắp xếp trật tự, tuần hoàn Lặp lại Trật tự xa Đơn tinh thể, đa tinh thể Tinh thể muối ăn (Nguốn: Wikipedia.org) 5/3/2021 Mạng Bravais (7 nhóm, 14 loại) 1/ Cubic (lập phương): 5/3/2021 2/ Tetragonal (tứ giác): 5/3/2021 3/ Orthorhombic (trực thoi): 5/3/2021 4/ Rhombohedral (tam giác): 5/ Hexagonal (lục giác): 5/3/2021 10 PP đo gián tiếp (Ex-situ measurement) 5/3/2021 252 PP phản xạ tia X (X-ray reflectivity XRR) - Ghi lại phổ giao thoa sóng tia X phản xạ mặt - Cho phép xác định: khối lượng riêng, độ dày độ nhám lớp màng - Độ xác 0.1nm 5/3/2021 253 PP Profilometer - Cơ học: 10nm - Quang học: 0.5nm - AFM: 0.1nm 5/3/2021 254 PP Ellipsometry - Đo thay đổi độ phân cực ánh sáng phản xạ film - Chiều dày, độ nhám, chiết suất 5/3/2021 255 Tích chất màng mỏng - Cấu trúc lượng - Điện tử bị giảm giữ theo chiều giới hạn 5/3/2021 - Chỉ tự chuyển hai chiều 256 Hiệu ứng bề mặt - Surface area to volume ratio 5/3/2021 257 Surface plasmon GaAs film 5/3/2021 258 Màng mỏng kim loại 5/3/2021 259 Màng mỏng bán dẫn CdS 5/3/2021 260 Màng mỏng bán dẫn Ge 5/3/2021 261 Thuộc tính từ - Spin-transport properties NiFe/Cu/NiFe Fe/Cr multilayer 5/3/2021 262 Surface/interface magnetism 5/3/2021 263 Thuộc tính Màng Cu-Cr 5/3/2021 264 Thuộc tính 5/3/2021 265 Thuộc tính nhạy khí 5/3/2021 266