THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
| Tiêu đề | Xác Định Các Thuộc Tính Plasma Ion Hóa Yếu Trong Va Chạm Electron Của Phân Tử Khí Tries Và Khả Năng Ứng Dụng Trong Công Nghệ Chế Tạo Vi Mạch |
|---|---|
| Tác giả | Phan Thị Tươi |
| Người hướng dẫn | PGS. TS Đỗ Anh Tuấn, PGS. TS Phạm Ngọc Thắng |
| Trường học | Trường Đại Học Sư Phạm Kỹ Thuật Hưng Yên |
| Chuyên ngành | Kỹ thuật điện tử |
| Thể loại | luận án tiến sĩ kỹ thuật |
| Năm xuất bản | 2022 |
| Thành phố | Hưng Yên |
| Định dạng | |
|---|---|
| Số trang | 233 |
| Dung lượng | 2,65 MB |
Nội dung
Ngày đăng: 11/05/2022, 05:26
TỪ KHÓA LIÊN QUAN
TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG
TÀI LIỆU LIÊN QUAN