Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 165 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Ngày đăng: 10/05/2022, 21:56
Xem thêm:
HÌNH ẢNH LIÊN QUAN
Hình 11
Hệ thống phóng điện phát sáng một chiều (Trang 21)
Hình 16
Các bước tạo một mạch tích hợp [43,87] (Trang 27)
Hình 17
Lắng đọng hơi hoá học tăng cường plasma trong hệ thống PECVD [85] (Trang 30)
Hình 110
Sự lắng đọng không phù hợp của SiO2 dùng SiH4/O2 [94] (Trang 33)
c
2 Lựa chọn các hình dạng (Trang 34)
Hình 113
Plasma cảm ứng; Nhiệt độ electron được hiển thị dưới dạng biểu đồ lát cắt và mật độ dòng điện gây ra trong plasma được hiển thị dưới dạng các dòng (Trang 36)
Hình 115
Bộtiết diện va chạm của các electrontrong phân tử O2 [37] (Trang 46)
Hình 116
Bộtiết diện va chạm của các electrontrong nguyên tử Ar [57, 82] (Trang 47)
Hình 117
Bộtiết diện va chạm của các electrontrong nguyên tử Kr [44] (Trang 48)
Hình 118
Bộtiết diện va chạm của các electrontrong nguyên tử Xe [73, 92] (Trang 49)
Hình 119
Bộtiết diện va chạm của các electrontrong nguyên tử He [77, 92] (Trang 50)
Hình 21
Hàm phân bố Maxwellian và Druyvesteyn [14] (Trang 57)
Hình 23
Hàm phân phối đo ở môi trường áp suất (0,32 Torr) [14] (Trang 58)
Hình 22
Hàm phân phối đo ở áp suất thấp (1,3m Torr) [14] (Trang 58)
Hình 25
Lưu đồ thuật toán áp dụng phương pháp Monte Carlo (Trang 68)
Hình 33
Hệ số ion hóa cho phân tử khí TRIES nguyên chất (Trang 79)
Hình 3
5a) Vận tốc dịch chuyển electron của hỗn hợp khí TRIES-O2 (Trang 82)
Hình 3
5b) Vận tốc dịch chuyển electron của hỗn hợp khí TRIES-Ar (Trang 83)
Hình 3
5c) Vận tốc dịch chuyển electron của hỗn hợp khí TRIES-Kr (Trang 84)
Hình 3
5d) Vận tốc dịch chuyển electron của hỗn hợp khí TRIES-Xe (Trang 85)
Hình 3
6d) Hệ số khuếch tándọc NDL của hỗn hợp khí TRIES-Xe (Trang 91)
Hình 3
6e) Hệ số khuếch tándọc NDL của hỗn hợp khí TRIES-He (Trang 92)
Hình 3
7a) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh độngelectron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES-O2 (Trang 94)
Hình 3
7c) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh độngelectron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES – Kr (Trang 96)
Hình 3
7d) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh độngelectron (DL/µ) của hỗn hợp khí TRIES-Xe (Trang 97)
Hình 3
8a) Hệ số ion hóa của hỗn hợp khí TRIES-O2 (Trang 100)
Hình 3
8b) Hệ số ion hóa của hỗn hợp khí TRIES-Ar (Trang 101)
Hình 3
8d) Hệ số ion hóa của hỗn hợp khí TRIES-Xe (Trang 103)
Hình 3
8e) Hệ số ion hóa của hỗn hợp khí TRIES-He (Trang 104)
Hình 3
8g) Hệ số ion hóa của hỗn hợp khí TRIES-Ne (Trang 105)