Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 35 trang
THÔNG TIN TÀI LIỆU
Thông tin cơ bản
Định dạng
Số trang
35
Dung lượng
2,13 MB
Nội dung
ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI
TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN
KHOA VẬT LÝ
LUẬN VĂN THẠC SỸ
Đề tài:
MỘT SỐTÍNHCHẤTĐẶCBIỆTCỦALASERDIODECÔNG
SUẤT CAOVỚICẤUTRÚCMẢNGỞCHẾĐỘXUNG NGẮN
Học viên : Nguyễn Mạnh Thắng
Cán bộ hướng dẫn: PGS.TSKH Vũ Văn Lực
Chuyên ngành: Quang Lượng Tử
HÀ NỘI - 2007
3
MỤC LỤC
Trang
MỞ ĐẦU 1
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ LASERDIODECÔNGSUẤT
CAO. 3
1.1 KHÁI NIỆM LASERDIODECÔNGSUẤT CAO
1.2 MỘTSỐCẤUTRÚCLASERDIODECÔNGSUẤTCAO 4
1.2.1 LASER MA TRẬN (MATRIX) 4
1.2.2 LASER BUỒNG CỘNG HƯỞNG RỘNG LOC 5
1.2.3 LASERDIODE DẠNG MẢNG (THANH) 6
1.3 CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO LASERDIODE DẠNG MẢNG 7
1.3.1 SỬ LÝ CỬASỔ TIẾP XÚC 7
1.3.2 CẤY GHÉP ION 8
1.3.3 SỬ LÝ LỚP CÁCH ĐIỆN 9
1.3.4 SỬ LÝ CẤUTRÚC MESA 11
1.3.5 PHỦ KIM LOẠI 12
1.3.6 TỔ HỢP LASERMẢNGCÔNGSUẤTCAO 13
1.3.7 KỸ THUẬT PHỦ MẶT GƯƠNG 14
1.3.7.1 NGUYÊN TẮC
1.3.7.2 THỤ ĐỘNG HOÁ MẶT TÁCH CHIP LASER
1.4 CÁC THÔNG SỐĐẶC TRƯNG CHẤT LƯỢNG CHÙM TIA 15
1.4.1 THÔNG SỐ KHUẾCH ĐẠI HẠT TẢI CẢM ỨNG
VÀ CHIẾT SUẤT KHÚC XẠ 15
1.4.2 MẬT ĐỘCÔNGSUẤT BÃO HOÀ 16
1.4.3 ĐỘ SÁNG, TỶ SỐ STREHL VÀ THÔNG SỐ
2
M
17
1.4.3.1 ĐỘ SÁNG 17
1.4.3.2 TỶ SỐ STREHL 18
1.4.3.3 THÔNG SỐ
2
M
18
1.5 MỘTSỐTÍNHCHẤTĐẶCBIỆTCỦALASERDIODE 19
CÔNGSUẤT CAO
1.5.1 ĐẶC TRƯNG CÔNGSUẤT PHỤ THUỘC VÀO DÒNG BƠM 19
1.5.2 SỰ PHỤ THUỘC DÒNG NGƯỠNG VÀO NHIỆT ĐỘ 20
1.5.3 SỰ UỐN CONG ĐƯỜNG ĐẶC TRƯNG (P-I) DO NHIỆT 20
1.5.4 HOẠT ĐỘNG ĐA MỐT 21
1.5.5 SỰ PHÁ HUỶ PHẨM CHẤT QUANG HỌC 22
1.5.6 TUỔI THỌ CỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAO 22
4
CHƯƠNG 2: KỸ THUẬT THỰC NGHIỆM
2.1 CHẾ TẠO NGUỒN PHÁT XUNG NGẮN, DÒNG CAO ĐỂ NUÔI CHO
LASER DIODECÔNGSUẤT CAO
2.2 CÁC CHIP LASERDIODECÔNGSUẤTCAO SỬ DỤNG TRONG
NGHIÊN CỨU
2.3 ĐẦU THU PHOTODIODE.
2.4 HỆ THÍ NGHIỆM KHẢO SÁT ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ LÊN
ĐẶC TRƯNG CÔNGSUẤT P-I CỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAOỞ
CHẾ ĐỘ XUNG.
2.5 HỆ THÍ NGHIỆM KHẢO SÁT SỰ UỐN CONGĐẶC TRỪN CÔNG
SUẤT GÂY RA DO NHIỆT
2.6 HỆ THÍ NGHIỆM ĐO P-I CỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAO SỬ
DỤNG MÁY PHÁT XUNG DÒNG CAO, ĐỘ RỘNG XUNG NGẮN
CHƯƠNG 3: KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN
TÀI LIỆU THAM KHẢO
5
MỞ ĐẦU
Lasers được viết tắt từ những chữ cái đầu trong tiếng Anh (Light Amplification
by Stimulated Emission of Radiation), đó là sự khuếch đại bức xạ cưỡng bức ánh sáng
để tạo ra chùm tia có cường độ lớn, có tính định hướng cao. Lasers là một trong những
phát minh mangtính đột phá của thế kỷ 20, phát minh kỳ diệu này không những làm
nức lòng các nhà khoa học mà còn kích thích sự quan tâm tìm hiểu của nhiều người
trong kỷ nguyên công nghệ cao. Kể từ khi ra đời lần đầu tiên (Laser rubi) năm 1960 do
Maiman phát minh, đến nay rất nhiều loại laser đã được nghiên cứu, phát triển và đưa
vào ứng dụng thực tiễn trong các lĩnh vực khoa học, đời sống như y học, thông tin
quang sợi, điều khiển và đo xa laser, đo cắt chính xác công nghiệp v.v
Cùng với sự ra đời nhiều loại laser khác, laserdiode bán dẫn được Robert Hall
công bố lần đầu tiên năm 1962. Nó sử dụng liên kết p-n trong bán dẫn GaAs, phát ở
chế độ mode xung tại nhiệt độ rất thấp
K
0
77
, bước sóng ra đỉnh 842 nm, độ rộng phổ
cỡ 1.5nm, mật độ dòng bơm ngưỡng tới
2
/85000 cmAJ
th
≈
, có tần số lớn hơn gấp 109
lần tần số radio và gấp 105 lần tần sốcủa vi sóng. Đến đầu năm 1963 thì các loại laser
bán dẫn đã được cải tiến hơn bằng cách sử dụng một lớp bán dẫn kẹp giữa hai lớp bán
dẫn vỏ, gọi là bán dẫn cấutrúc dị thể, lớp bán dẫn ở giữa có độ rộng vùng cấm khác
với độ rộng vùng cấm của hai lớp vỏ. Loại laser này được chia làm hai loại: chuyển
tiếp dị thể đơn và chuyển tiếp dị thể kép, tuỳ thuộc vào miền tích cực được bao quanh
bởi một hay hai loại lớp vỏ. Vớicấutrúc dị thể, hằng sốmạngcủa lớp tích cực và lớp
vỏ phải bằng nhau hoặc khác nhau không đáng kể (có cấutrúc tương tự nhau).
Trên cơ sở vật liệu bán dẫn GaAs cấutrúc dị thể, đến những năm 1969 thì
Charles Kao và Geoger Hockhan chế tạo được laser bán dẫn có hoạt động trong chếđộ
xung tại nhiệt độ phòng, mật độ dòng bơm ngưỡng đã giảm xuống
2
/8000 cmAJ
th
≈
,
giá trị dòng ngưỡng này giảm xuống chỉ còn
2
/600.1 cmA
vào năm 1970 và đến năm
1975 thì chỉ còn cỡ
2
/500 cmA
. Để giảm mật độ dòng ngưỡng xuống giá trị trên, người
ta chế tạo laser có vật liệu lớp tích cực AlGaAs vớiđộ dày
m
µ
1.0~
có cấutrúc dị thể
kép. Sự khác nhau về độ rộng vùng cấm giữa lớp tích cực và các lớp vỏ giúp cho việc
giam giữ tốt hơn các mốt quang học, hoạt động như một dẫn sóng điện môi. Nhưng
chính sự giam giữ này làm giảm đáng kể hao tổn nội, gây ra sự mở rộng mốt trong các
vùng lân cận.
Một trong những mục tiêu quan trọng củalaserdiodeđó là nâng caocôngsuất
laser ra đồng thời giảm độ rộng xung nhỏ nhất có thể nhằm nâng caochất lượng chùm
tia và ứng dụng sâu hơn trong cuộc sống cũng như khoa học. Mục tiêu này luôn luôn
được duy trì và mở rộng phát triển kể từ khi nó ra đời.
Vậy tại sao chúng ta cần phải chế tạo laserdiodecôngsuất cao?
Đầu những năm 1990 đánh dấu bước đột phá trong công nghệ laser bán dẫn khi
lần đầu tiên chế tạo thành công các thanh laser kích thước
cmcm 06.01
×
phát ra công
suất trên 20W, thời gian sống cỡ 10.000 giờ, mở ra khả năng ứng dụng to lớn trong
khoa học ứng dụng. Quá trình tiếp theo chủ yếu tập chung vào việc cải tiến laser bán
dẫn trên cơ sở nền GaAs, tạo ra nền có mật độ phản xạ thấp bằng các quá trình epitaxy
của các lớp AlGaInAs và GaInAsP trên nền GaAs. Các lợi thế củalaser bán dẫn công
suất cao: Sovớivới đèn bơm hoặc khí tích điện cho việc tạo ra ánh sáng kết hợp, như
kích thức nhỏ gọn, hiệu suất chuyển đổi điện quang cao hơn, nguồn cấp và làm lạnh
đơn giản, độ tin cậy cao hơn. Kích thước nhỏ gọn nên chiếm ưu thế hơn sovớilaser
rắn và laser khí do sự cồng kềnh và bất tiện. Dòng bơm ngưỡng thấp (chỉ cỡ vài trăm
6
mA), dải sóng ứng dụng rộng, dễ điều chế, hoạt động từ chếđộxung tần số thấp đến
cao, cả chếđộxung và chếđộ liên tục. Nó là thiết bị không thể thiếu trong thông tin
cáp quang, cho phép truyền thông tin đi khoảng cách rất lớn với tốc độ siêu cao. Mặt
khác, laserdiode đóng vai trò như chiếc chìa khoá mở ra rất nhiều ứng dụng, từ những
sản phẩm thông thường phục vụ cho mục đích dân sự đến những ứng dụng cho mục
đích quân sự. Đối vớimộtsố ứng dụng thông thường củalaserdiode như: máy scan,
máy in, bút chỉ laser, đầu đọc đĩa compact và trong thông tin cáp quang thì côngsuất
chỉ cỡ vài mW. Nhưng đối vớimột loạt ứng dụng khác thì côngsuất cần tới cỡ từ vài
Watts tới hàng ngàn Watts tuỳ theo ứng dụng như: đo xa laser phát hiện khoảng cách
mục tiêu, nguồn chiếu sáng trong ống nhòm nhìn đêm, trong y tế (châm cứu, cắt khối
u, thẩm mỹ, trị ung thư…), xác định xon khí, lỏng trong khí quyển.v.v
Trong luận văn này chúng tôi sẽ tiến hành nghiên cứu mộtsốtínhchất đặt biệt
của laserdiodecôngsuấtcaovớicấutrúcmảngởchếđộxung ngắn.
7
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ LASERDIODECÔNGSUẤTCAO
1.1 KHÁI NIỆM LASERDIODECÔNGSUẤT CAO
Đã hơn 40 năm kể từ khi laser bán dẫn phun ra đời, rất nhiều nghiên cứu đã
được thực hiện nhằm nâng caocôngsuất và mở rộng vùng bước sóng phát. Với lợi thế
nhỏ gọn, hiệu suấtcao và thời gian sống lớn, laserdiode có khả năng thay thế phần lớn
các laser khác trong ứng dụng khoa học và trở thành cầu nối giữa các hệ điện tử và
thông tin liên lạc. Phần lớn các ứng dụng đều nhằm duy trì côngsuất ra và chất lượng
chùm tia theo thời gian. Trong chương này chúng ta sẽ xem xét mộtsốcấutrúclaser
diode côngsuấtcao và công nghệ sử dụng cho việc chế tạo laserdiodecôngsuấtcao
laser dạng mảng (thanh). Sau đó là nghiên cứu mộtsố thông sốđặc trưng cho chất
lượng chùm tia laser ra và những thông số ảnh hưởng đến côngsuất phát.
Trong thực tế không có qui định rõ ràng giữa laserdiode thường và laserdiode
công suất cao, nó phụ thuộc vào loại laser và ứng dụng cho mục đích gì mà nó được
thiết kế cho phù hợp. Nói chung, đối với các loại laser tần số đơn, laser đơn mốt liên
tục có côngsuất 50mW trở lên và các laser đa mốt dải rộng, mảnglaser có tần số
50mW trở lên thì được gọi là laserdiodecôngsuất cao. Mặc dù các laserdiode có thể
phát ra côngsuất đỉnh lên tới vài kW ởchếđộ xung, nhưng năng lượng xung bị giới
hạn nhỏ hơn rất nhiều sovới các loại laser rắn khác do thời gian sống của hạt tải diode
ngắn (cỡ vài ns). Để hiểu được sự cần thiết phải chế tạo laserdiodecôngsuấtcao
chúng ta hãy đưa ra những lợi ích mà laser bán dẫn côngsuấtcaomang lại khi sử dụng
chúng trong ứng dụng thực tiễn [17]:
• Hiệu suất chuyển đổi điện quang của các đèn trong khoảng trên dưới 50% [1]
mang lại tiêu chuẩn đầu tiên cho laserdiodecôngsuất cao. Trong khi hiện nay
nếu sử sụng laserdiode thì hiệu hiệu suất lên đến trên 60% [2].
• Thời gian sống đặc trưng của các đèn khoảng 1000 giờ nhỏ hơn thời gian sống
của laserdiodecôngsuấtcao hơn 10.000 giờ.
• Côngsuất quang học của các đèn bơm cho các hệ laserdiodecôngsuấtcao cần
tới cỡ vài kW. Để thực hiện mộtcôngsuất tương tự với các laserdiode thì
chúng ta chỉ cần sử dụng khoảng 100 thanh diodecôngsuất cao.
• Laserdiodecôngsuấtcao được sử dụng làm nguồn bơm cho hệ laser rắn cho
hiệu suất rất cao vì bước sóng bơm củalaserdiode có thể phù hợp chính xác
với bước sóng hấp thụ củatinh thể được kích thích. Còn nếu sử dụng các loại
đèn bơm thì do phụ thuộc vào các dịch chuyển điện tử của các nguyên tử kích
thích nên các bước sóng này chỉ phụ thuộc bản chất, các giá trị cố định khí bơm
vào, vì thế các dịch chuyển có thể tốt hoặc không tốt, mang lại hiệu suất kém
hơn rất nhiều.
• Vấn đề mangtính cạnh tranh quyết định là giá cả của toàn bộ hệ thống máy
phát laser. Đối với các hệ laserdiodecôngsuấtcao thì vấn đề này chủ yếu được
xác định bới giá của các laserdiode thành phần (laser diode thông thường). Vì
thế, các nỗ lực chủ yếu được tập chung vào công nghệ bán dẫn tái chế, chính vì
vậy laserdiodecôngsuấtcao được xem như là công nghệ đơn giản nhất, dẫn
đến giá cả cạnh tranh hơn sovới các loại laser khác.
8
1.2 MỘTSỐCẤUTRÚCLASERDIODECÔNGSUẤT CAO
1.2.1 LASER MA TRẬN (MATRIX)
Khái niệm
Laser ma trận là một trong những cấutrúc được sử dụng hiệu quả trong việc
nâng caocôngsuấtcủalaser diode. Cấutrúccủalaser ma trận được bố trí bao gồm
nhiều lớp tích cực nằm sát nhau, mỗi lớp tích cực này bức xạ riêng rẽ và tạo thành mối
quan hệ về pha giữa chúng. Cụ thể là hợp pha hoặc ngược pha, nếu hợp pha thì công
suất ra tổng hợp được tăng cường và kết hợp, còn nếu ngược pha thì côngsuất ra bị
triệt tiêu. Kết quả tạo thành chùm bức xạ hẹp, có tính kết hợp cao. Cấutrúclaser ma
trận được nghiên cứu nhiều hiện nay sử dụng hệ vật liệu InGaAsP.
Cấu trúclaser ma trận được chia thành hai nhóm: laser ma trận chỉ số khuếch
đại và laser chỉ số chiết suất yếu (cấu trúc dẫn sóng), sự khác nhau của hai loại là do
mode công tua dọc theo mặt phẳng chuyển tiếp được xác định bằng chỉ số khuếch đại
và chỉ số chiết suất yếu. Hình 1.1 minh hoạ hai cấutrúclaser ma trận trên:
lớp điện môi
λ ~1.3µm (InGaAsP)
λ ~1.3µm (InGaAsP)
(lớp tích cực)
đế
a/
λ ~1.3µm (InGaAsP)
(lớp tích cực)
λ ~1.03µm (InGaAsP)
b/
Hình 1.1: Sơđồcấutrúclaser ma trận trên cơ sở vật liệu InGaAsP
a/ Cấutrúclaserdiode ma trận chỉ số khuếch đại.
b/ Cấutrúclaserdiode ma trận chỉ số chiết suất yếu.
Trong đólaser ma trận chỉ số khuếch đại là mộtlaser dải điện môi, các khe điện môi
(SiO
2
) và không gian giữa các tâm được chọn sao có sự chồng chập của các mốt dao
động từ các bức xạ lân cận. Laser ma trận chỉ số chiết suất yếu có thể sử dụng cấutrúc
dẫn sóng ở đỉnh. Các hướng không gian giữa các bức xạ được khuếch đại lọc lựa
thông qua sự chồng chập của các mốt dao động. Sự chồng chập này chứng tỏ sự liên
9
n-InP
p-InP
p-InP
n-InP
p-InP
kết cần thiết cho chặn pha. Đối vớilaser ma trận InGaAsP phát trong vùng 1.3µm hoạt
động ởchếđộxung có thể cho côngsuất ra tới 800mW.
1.2.2 LASER BUỒNG CỘNG HƯỞNG RỘNG LOC
(LARGE OPTICAL CAVITY)
Khái niệm
Hiểu một cách đơn giản nhất, để có được côngsuấtcao hơn, ta có thể tăng thể tích
của buồng cộng hưởng hay tăng chiều dài vùng hoạt chất (tức là tăng chiều dài khuếch
đại), dẫn đến tăng mật độ photon đi ra, tức là côngsuất bức xạ tăng. Laser buồng cộng
hưởng rộng dựa trên cấutrúc dị thể kép gồm ba lớp “chuẩn” p-p-n (hình 1.2), có hai
kiểu cấutrúc là cấutrúc đối xứng và cấutrúc phản xứng, trong đócấutrúc phản xứng
dễ tạo được laser đơn mốt dọc hơn là cấutrúc đối xứng. Laser LOC bao gồm cấutrúc
dị thể vùi và cấutrúc dị thể kép, trong đócấutrúc dị thể kép cho côngsuất quang ra
cao hơn (cỡ 100mW ởchếđộ liên tục).
p
p (lớp tích cực)
n
Hình 1.2: Cấutrúc dị thể kép 3 lớp “chuẩn”
Trong cấutrúc này, ở vùng lân cận của lớp tích cực thì sự tái hợp và cộng
hưởng xảy ra độc lập, các mốt ngang lan truyền qua lớp bán dẫn loại n sẽ ít mất mát
hơn. Đối với loại buồng cộng hưởng này, nếu chế tạo buồng cộng hưởng lớn hơn vùng
tái hợp thì kích thước vết sáng đầu ra lớn hơn, đồng thời côngsuất lối ra cũng giảm.
Laser LOC có hai đặc điểm lưu ý là: nồng độ hạt tải dò giữa lớp tích cực và ống dẫn
(vỏ) lớn hơn sovớicấutrúc dị thể chuẩn và có sự suy giảm chiết suất trong vùng tái
hợp do mật độ tập chung hạt tải cao gây mất ổn định kích thước vết sáng ra.
Cấutrúc đầu tiên [3] áp dụng khái niệm buồng cộng hưởng rộng (LOC) với dẫn
sóng mở rộng cho bước sóng 808nm, cấutrúc này sử dụng lõi ống dẫn sóng có bề dày
1.2µm bao gồm
AsGaAl
4.06.0
và một lớp vỏ với hợp chấtcủa
AsGaAl
4.06.0
(hình 1.3).
Một cấutrúc dẫn sóng tối ưu cho laserdiodecôngsuấtcao LOC cần thoả mãn yêu
cầu sau [17]:
- Khả năng giam hãm cao để giảm dòng ngưỡng
- Bề rộng trường gần phải đủ lớn để giảm tải trọng bề mặt
- Bề rộng trường gần phải đủ nhỏ để giảm bề dày tổng cộngcủa các lớp ghép, tức
là trở nhiệt và trở hệ thống.
- Bề rộng trường gần phải đủ lớn để độ phân kỳ theo chiều dọc nhỏ.
- Mất mát tán xạ thấp.
- Mất mát do hấp thụ hạt tải tự do nhỏ.
- Mức pha tạp cao để giảm trở hệ thống.
- Hàng dào chắn hạt tải đủ cao để giam hãm điện tử tốt hơn
- Hàng dào giữa các lớp khác nhau đủ nhỏ để đạt thế qua diode thấp
GaAs (lớp tiếp giáp)
10
AsGaAl
3.07.0
( vỏ) 1500nm
AsGaAl
35.065.0
(dẫn sóng) 500nm
Cấutrúc giếng lượng tử
(InGaAsP,GaAsP,InGaAlAs)
AsGaAl
35.065.0
(dẫn sóng) 500nm
AsGaAl
3.07.0
( vỏ) 1500nm
GaAs (đế)
Hình 1.3: Sơđồ các lớp dọc liên tiếp của chip laserdiodevớicấutrúc dẫn sóng LOC
AlGaAs.
1.2.3 LASERDIODE DẠNG MẢNG (THANH)
Khái niệm
Laser mảng (hoặc thanh) là sự tổ hợp của nhiều laser riêng biệt, đặc điểm quan
trọng củalaser dạng thanh côngsuấtcao là các ống đẫn sóng được đặt song song với
nhau hoặc các ống dẫn được nối kề nhau như (hình vẽ 1.4). Sự liên quan về pha giữa
các mốt ghép nối có ảnh hưởng quyết định đối vớicôngsuất ra và là điều kiện quan
trọng của linh kiện trong hệ thông tin quang.
Hình 1.4: Cấutrúccủalaserdiodemảngcôngsuất cao
Trong laser thanh, để hạn chếsốmốt người ta đưa ra giải pháp bằng cách sử
dụng mô hình cặp thanh hình chữ Y như hình 1.5.
Nguyên lý hoạt động củacấutrúc được mô tả trên hình vẽ 1.5b. Các mốt từ hai
nhánh có chung một gốc hình chữ Y sẽ cộng pha với nhau theo mối quan hệ như sau:
hai thành phần cùng pha sẽ được tăng cường, đồng thời tạo ra mốtcôngsuấtcao hơn
như hình b1, còn hai thành phần ngược pha sẽ bị triệt tiêu và côngsuất mất đi như
hình b2. Côngsuất nhận được từ laserdiode dạng thanh là rất lớn, côngsuất ra có thể
lên tới trên 70W, tuy nhiên lúc đó thời gian sống sẽ ngắn hơn khi laser hoạt động ở
công suất thấp.
11
pha vào
pha ra
1 2
a/ b/
Hình 1.5: a/ Cặp mảng dạng chữ Y.
b/Mô hình cho nguyên lý hoạt động củalaser dạngthanh.
1.3 CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO LASERDIODE DẠNG MẢNG
Có ba vấn đề cần giải quyết liên quan đến công nghệ chế tạo laserdiodecôngsuấtcao
dạng mảng [17]:
Thứ nhất đó là thiết kế buồng cộng hưởng quang học cho dẫn sóng . Đối với
dẫn sóng dọc được tạo bởi cấutrúc expitaxial, còn dẫn sóng bên đạt được bằng kỹ
thuật khắc mòn mesa (kỹ thuật khắc dốc) trong trường hợp dẫn sóng chiết suất, hoặc
bằng phương pháp hình học tiếp xúc trong trường hợp laserdiode dẫn sóng khuếch
đại.
Thứ hai là các gương phải được tạo ra để buồng cộng hưởng được xác định.
Đối với các laserdiodecôngsuấtcao thì nó được chế tạo chủ yếu bằng cách tách các
mặt tinh thể và phủ lớp chống phản xạ cho một mặt gương (mặt không phát laser). Quá
trình gia công tương tự như công nghệ chế tạo thiết bị bán dẫn và cũng là yếu tố then
chốt cho các laserdiode phát bề mặt.
Thứ ba là quá trình sử lý phải thực sự bảo đảm: tiếp xúc điện của nguồn cấp, số
chíp laserdiode điều khiển lớn, đồng thời tiêu tán nhiệt độ phải nhanh. Cấutrúc và quá
trình phủ kim loại tiếp xúc sao cho năng lượng điện bơm vào phải đạt hiệu suấtlaser ra
tối đa nhất, loại bỏ một cách hiệu quả nhiệt lượng hao phí do chip laserdiode là các
thiết bị rất nhỏ nên ảnh hưởng nhiệt của chúng là rất lớn.
1.3.1 SỬ LÝ CỬASỔ TIẾP XÚC
Cấu trúclaserdiode ống dẫn khuếch đại đơn giản nhất dựa trên việc phun dòng
điện bị giới hạn bên. Điều này được thực hiện thông qua cửasổ tiếp xúc trên bề mặt
bán dẫn bằng các lớp expitaxial, cửasổ tiếp xúc này có tác dụng ngăn cản dòng điện
lan tỏa trên bề mặt tiếp xúc. Dựa vào cửasổ tiếp xúc này, dòng điện được phun vào
bên trong vùng hoạt chất. Ngoài vùng cửasổ tiếp xúc này thì bề mặt bán dẫn phải
được cách điện hoàn toàn.
12
[...]... luận ở chương 3 Ảnh chụp bằng máy ảnh Cannon hệ thí nghiệm: Hình 2.10: Ảnh chụp sơđồ thí nghiệm khảo sát ảnh hưởng của nhiệt độ lên đặc trưng côngsuất P-I củalaserdiodecôngsuấtcaoởchếđộxung 2.5 HỆ THÍ NGHIỆM ĐO P-I CỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAO SỬ DỤNG MÁY PHÁT XUNG DÒNG CAO, ĐỘ RỘNG XUNGNGẮN Hệ thí nghiệm đo sự phụ thuộc côngsuất bức xạ laser vào dòng bơm ởchếđộxung ngắn, dòng cao tại... sát mộtsố tính chấtđặcbiệtcủa laser diodecôngsuất cao, chúng tôi sử dụng một số thiết bị sau: • Máy phát xungxung ngắn, dòng cao tự nghiên cứu và thử nghiệm để nuôi cho laserdiodecôngsuấtcao và máy phát xungdo Phòng laser bán dẫn chế tạo sẵn • Các chip laserdiodecôngsuấtcao sử dụng trong nghiên cứu • Đầu thu photodiode để thu bức xạ laser và chuyển thành tín hiệu điện đưa vào dao động... xung ngắn, dòng cao tại nhiệt độ T = 26 0 C Máy phát xungngắn (1) Chip laserdiodecôngsuấtcao (2) Kênh Y Dao động ký Kênh X KIKUSUI Đầu thu photodiode PIN (3) (4) Hình 2.11: Sơđồ khối khảo sát đặc trưng côngsuất P-I ởchếđộxung ngắn, dòng cao Hình 2.12: Ảnh chụp sơđồ khảo sát côngsuất bức xạ laserdiodecôngsuấtcao phụ thuộc dòng bơm ởchếđộxung ngắn, dòng cao Trong hệ thí nghiệm này chúng... phẩm chất quang học không thuận nghịch 1.5.6 TUỔI THỌ CỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAOMột trong những hạn chếcủalaser bán dẫn côngsuấtcao là tuổi thọ, nó có mối quan hệ mật thiết vớicôngsuất ra quang học Chẳng hạn, mộtlaserdiode có thể cho côngsuất rất cao nhưng lại tắt lịm trong vài giờ sau đó, nhưng nếu côngsuất ra thấp hơn thì thời gian sống có thể lên tới vài nghìn giờ Thời gian sống của laser. .. được sử dụng để đặc trưng cho các tính chùm laser như: sự biến dạng, hoạt động đa mốt và tính kết hợp không gian theo một số đơn giản 1.5 MỘTSỐTÍNHCHẤTĐẶCBIỆTCỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAOLaser bán dẫn khác với các hệ laser khác, thay vì mật độ nghịch đảo là điều kiện cần thiết để tiến đến ngưỡng laser, mà bơm dòng điện vào trong vùng hoạt chất Trái ngược vớilaser rắn, laser màu và laser khí sử... và thử nghiệm thành công máy phát xung ngắn, dòng cao để nuôi cho laserdiodecôngsuấtcao Lý do ta phải sử dụng nguồn nuôi này là vì đối vớilaserdiodecôngsuấtcao có ngưỡng phát lớn hơn rất nhiều laserdiode thường (cỡ hàng trăm mA) nên cần dòng nuôi cao, đồng thời độ rộng xung nhỏ và tần số lặp lại thưa (nghỉ nhiều, làm việc ít) để bảo đảm chip laserdiodecôngsuấtcao hoạt động tốt nhất (Pin... kênh X của dao động ký thông qua trở tải RT ( RT1 hoặc RT2 ) P =κ UX RT (2.2) Trong đó: P là côngsuất quang thu được UX là điện áp rơi trên trở tải RT κ là hệ số đặc trưng cho các loại đầu thu photodiode (trường hợp này κ=1 ) 33 2.4 HỆ THÍ NGHIỆM KHẢO SÁT ẢNH HƯỞNG CỦA NHIỆT ĐỘ LÊN ĐẶC TRƯNG CÔNGSUẤT P-I CỦALASERDIODECÔNGSUẤTCAOỞCHẾĐỘXUNG Trong chương 1 chúng ta đã khảo sát một cách định tính. .. màu và laser khí sử dụng nguồn bơm quang học như đèn plash hoặc các loại laser khác Côngsuất ra củalaser được đặc trưng bởi đường cong P-I phụ thuộc dòng nuôi Sau đây chúng tôi đưa ra một sốđặc trưng côngsuất ra củalaser bán dẫn côngsuấtcao [16]: 1.5.1 ĐẶC TRƯNG CÔNGSUẤT PHỤ THUỘC VÀO DÒNG BƠM Đặc trưng côngsuất phát laserdiode phụ thuộc vào dòng bơm được cho như sau (Yariv, 1985): Pout ... số phản xạ hai gương (mặt tách) của buồng cộng hưởng Ith : Mật độ dòng ngưỡng laser 24 α : Hệ số mất mát η i : Hiệu suất lượng tử nội ( số hạt tải được tái hợp trên tổng số hạt tải được phun vào) Như vậy tại dòng ngưỡng cố định và mất mát không đáng kể thì côngsuấtlaser thay đổi gần như tuyến tính theo hàm số bậc nhất Đây cũng là đặctính chung củalaserdiode nói chung và laserdiodecôngsuất cao. .. độ lên đặc trưng P-I củalaserdiodecôngsuấtcaoởchếđộxung Trong hệ đo này chúng tôi sử dụng máy phát xung vuông (1) chế tạo sẵn tại Phòng laser bán dẫn có tần số thay đổi 9.9 kHz, cho hoạt động ở hai mức có độ rộng xung lần lượt là 1µs và 5µs, dòng xung vuông thay đổi từ 0 tới 3 (A) Máy phát xung cấp cho laserdiodecôngsuấtcao (2) hoạt động Chip laser (2) được đặt trên tấm dẫn nhiệt cách . cứu một số tính chất đặt biệt
của laser diode công suất cao với cấu trúc mảng ở chế độ xung ngắn.
7
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ LASER DIODE CÔNG SUẤT CAO. VẬT LÝ
LUẬN VĂN THẠC SỸ
Đề tài:
MỘT SỐ TÍNH CHẤT ĐẶC BIỆT CỦA LASER DIODE CÔNG
SUẤT CAO VỚI CẤU TRÚC MẢNG Ở CHẾ ĐỘ XUNG NGẮN
Học viên : Nguyễn Mạnh Thắng