... Do tính đặc thù cũng nh khả năng đặc biệt của công nghệ vi cơ, công nghệ này đã đợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nh trong công nghiệp, ... quân sự, Trong những năm gần đây, với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học, công nghệ vi cơ đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc ... đợc cũng khác nhau và phụ thuộc vào lực tác dụng. Trên hình 3 và 4 biểu diễn một số kết quả của các phép đo này. Dáng điệu của các đờng đặc trng cho thấy, trong phạm vi nhỏ của lực tác dụng,...