Phƣơng pháp chụp 3D

Một phần của tài liệu Nghiên cứu hình thái học vật liệu, linh kiện nanô bằng công nghệ ảnh nổi 3D trên kính hiển vi điện tử quét ( 3D Stereo Sem Imaging) (Trang 41)

Như chúng ta đã biết về nguyên lý ảnh nổi 3D, để có được hình ảnh nổi thì trước tiên phải tiến hành chụp ít nhất một cặp ảnh (một đối tượng được chụp ở hai góc độ khác nhau), hoặc chụp khoảng 30 ảnh liên tiếp, mỗi ảnh cách nhau một góc φ rất nhỏ nếu muốn in ra ảnh autostereo. Đây là công đoạn đóng vai trò hết sức quan trọng và là một trong những yếu tố quyết định đến chất lượng cũng

như hiệu ứng nổi của hình ảnh 3D. Căn cứ theo hình thái của mẫu cần chụp, có thể tạm chia ra 2 phương pháp chụp 3D, đó là phương pháp quay trục T và phương pháp quay trục R.

Trong quá trình nghiên cứu, các mẫu thử nghiệm là các nanô tinh thể ZnO nuôi bằng phương pháp lắng đọng pha hơi đã được chế tạo từ trước. Bằng cả hai phương pháp, mẫu thử nghiệm đã được chụp chuỗi 20 ảnh, mỗi ảnh cách nhau từ 0,2o

đến 0,6o. Chuỗi ảnh này được ghi lại trên máy vi tính dưới dạng kỹ thuật số với độ phân giải cao nhất. Sau đó dùng phần mềm Adobe Photoshop để tạo các ảnh tổ hợp anaglyph khác nhau, dùng kính phân màu Red-Cyan để quan sát và nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số lên độ sâu của ảnh. Khi tiến hành chụp ta cần chú ý tới các yếu tố sau:

 Góc quay của trục T (tilt) hoặc R (rotation).  Khoảng cách làm việc từ thấu kính tới mẫu WD.

Phƣơng pháp quay trục T

Phương pháp này đơn giản dễ thực hiện, đòi hỏi độ sâu hội tụ DOF vừa phải, phù hợp cho các mẫu vật có các lớp cấu trúc nằm song song với mặt phẳng đế và có hình thái không quá phức tạp.

Hình 2.16. Phương pháp quay trục T. Các trục X, Y, Z và R cố định, chỉ quay trục T.

Cách chụp như sau: các tham số làm việc như R (rotation) = 0.0; T (tilt) = 0.0; X = 25.0; Y = 25.0 và Z = 8.0, được thiết lập trước khi đưa mẫu vào buồng mẫu, mặt phẳng mẫu được đặt vuông góc với chùm tia điện tử tới bằng cách đặt T = 0.0 (0o). Sử dụng các bộ vi chỉnh dịch chuyển tịnh tiến X, Y, Z, bộ dịch

chuyển góc nghiêng T và góc quay R điều chỉnh các thông số X, Y, Z, T và R phù hợp để tìm ra đối tượng trung tâm mà tại vị trí đó đối tượng này không bị dịch chuyển khi xoay trục T. Sau đó tiến hành chụp chuỗi 20 ảnh liên tiếp, sau mỗi lần chụp T dịch 0,2o

hoặc 0,4o, chuỗi ảnh này được lưu vào ổ đĩa máy tính với kiểu định dạng JPEG hoặc BMP, TIFF…

Phƣơng pháp quay trục R

Các bước chuẩn bị tương tự phương pháp quay trục T, nhưng mẫu được đặt nghiêng 135o so với chùm tia điện tử tới bằng cách điều chỉnh trục T (trục T nghiêng 45o so với mặt phẳng ngang). Sau đó điều chỉnh các thông số X, Y, Z, T và R phù hợp để tìm ra điểm bất động trên mẫu, sao cho khi quay trục R điểm bất động sẽ đứng yên còn các đối tượng khác sẽ quay quanh điểm bất động. Do điểm bất động này là duy nhất nên rất khó để xác định. Sau đó tiến hành chụp chuỗi 20 ảnh liên tiếp, mỗi lần chụp R dịch 0,2o

hoặc 0,4o, chuỗi ảnh này được lưu vào ổ đĩa máy tính với kiểu định dạng JPEG hoặc BMP, TIFF…

Hình 2.17. Phương pháp quay trục R. Các trục X, Y, Z và T cố định, chỉ quay trục R.

Phương pháp này đòi hỏi độ sâu hội tụ DOF rất cao do yêu cầu của bản thân công nghệ 3D và do mẫu được đặt nghiêng 135o

khi tiến hành chụp. Tuy nhiên phương pháp này lại cho ảnh có độ sâu trường nhìn rất cao và mang lại nhiều thông tin về hình thái, rất thích hợp cho các mẫu vật có hình thù phức tạp, có các cấu trúc dạng que, dạng ống mọc vuông góc với mặt phẳng đế hay mọc không theo các hướng nhất định.

Một phần của tài liệu Nghiên cứu hình thái học vật liệu, linh kiện nanô bằng công nghệ ảnh nổi 3D trên kính hiển vi điện tử quét ( 3D Stereo Sem Imaging) (Trang 41)