Hình 3.38 và bảng 3.22 là phổ ựồ EDX và kết quả xác ựịnh hàm lượng các nguyên tố trên lớp bề mặt của ựiện cực tái tạo ựược nung tại 400 oC với số lượng lớp phủ khác nhaụ
6 lớp
15 lớp
20 lớp
Hình 3.38. Phổ EDX của ựiện cực ựược tái chế với số lớp phủ khác nhau Bảng 3.22. Thành phần các nguyên tố trên bề mặt ựiện cực
nung tại 400 oC với số lượng các lớp phủ khác nhau
Ti O Ru Mn Số lớp % TL %NT %TL %NT %TL %NT %TL %NT 6 4,71 5,46 8,52 29,53 49,11 26,96 37,67 38,05 12 0,82 0,92 10,88 36,55 53,38 28,38 34,92 34,16 15 0,60 0,71 9,90 34,69 57,39 31,84 32,11 32,77 20 - - 3,94 15,59 50,00 31,33 46,06 53,09
Kết quả thu ựược từ hình 3.38 và bảng 3.22 cho thấy ở nhiệt ựộ nung 400 oC lượng titan ựược phát hiện trên mặt giảm dần khi số lượng lớp phủ tăng, thậm chắ bằng không tại 20 lớp phủ. Lượng ôxy tương ựối ổn ựịnh ựến 15 lớp phủ nhưng cũng giảm khi tăng ựến 20 lớp phủ. Ngược lại lượng ruteni ban ựầu tăng từ 6 ựến 15 lớp phủ nhưng sau ựó cũng lại giảm khi tăng ựến 20 lớp phủ. Phổ và thành phần Mn ựều có giá trị tương ựối cao và biến ựộng giảm khi tăng ựến 15 lớp phủ sau ựó lại tăng. Sự diễn biến của những kết quả trên chứng tỏ rằng sự tạo thành các ôxit trên bề mặt sẽ chủ yếu ưu tiên cho ruteni và mangan hơn cho titan.
Như vậy ựể thu ựược hỗn hợp các ôxit trên bề mặt ựiện cực thì số lượng lớp phủ nên ắt hơn 15 lớp, vừa ựảm bảo thành phần xúc tác ruteni ựủ lớn, vừa có ựiều kiện hình thành TiO2 tạo mối liên kết Ti/TiO2-RuO2-MnO2 ựảm bảo ựủ ựộ bền cơ lý cho lớp phủ trên ựiện cực.
Lượng Mn có thể tăng khi tăng số lượng lớp phủ, song ựể ựảm bảo khả năng xúc tác của RuO2, nên phải giữ ở giá trị thắch hợp.