Plasma là nguồn năng lượng mới được sử dụng trong phép phân tích quang phổ phát xạ nguyên tử khoảng 10 năm lại đây; song lại được sử dụng rộng rãi và có hiệu quả cao vì nó có những đặc điểm sau đây:
- Nguồn năng lượng này có nhiệt độ cao. Thông thường tnm của plasma có thể đạt được nhiệt độ từ 5000 – 10000oC nên hóa hơi và nguyên tử hóa được hết mọi trạng thái của vật liệu mẫu với hiệu suất cao. Với plasma này, mọi nguyên tố kim loại đều bị kích thích để tạo ra phổ phát xạ của nó. Các hợp chất bền nhiệt cũng bị hóa hơi và phân li thành nguyên tử tự do, nhưng trong nguồn năng lượng này phổ phát xạ của Ion là chủ yếu.
- ICP (Inductivity Coupled Plasma) là nguồn năng lượng kích thích phổ phát xạ đảm bảo cho phép phân tích có độ nhạy rất cao. Nói chung có thể đạt từ n.10-4: n.106% (0,l - 5) ngưng đối với hầu hết các nguyên tố. Tất nhiên độ nhạy của phép phân tích ở đây phụ thuộc nhiều vào công suất của máy phát cao tần HF tạo ra plasma ICP.
- ICP là nguồn kích thích phổ không những có độ nhạy cao, mà còn có độ ổn định cao. Nó hơn hẳn hồ quang và tia điện. Vì thế phép phân tích dùng nguồn năng lượng này cho sai số rất nhỏ; nói chung là nhỏ hơn 10% ở trong vùng nồng độ từ n.10-3- n.10-5%.
- Tuy có nhiệt độ cao nhưng sự kích thích phổ phát xạ trong nguồn năng lượng này lại rất êm dịu. Nó tương tự như sự kích thích phổ trong ngọn lửa
đèn khí. Chính vì thế mà phương pháp phân tích đạt độ ổn định cao và sai số nhỏ.
- Với nguồn năng lượng này, người ta có thể định lượng được đồng thời nhiều nguyên tố một lúc, nên tốc độ phân tích rất cao (từ 40 - 120 mẫu/giờ). Mặt khác, khi dùng nguồn năng lượng ICP, vùng tuyến tính của phương pháp định lượng là rất rộng (từ 1 - 10000 lần).
- Đặc điểm cuối cùng là rất ít xuất hiện ảnh hưởng của chất nền (matrix effect). Đó là điểm hơn hẳn các nguồn năng lượng cổ điển đã nêu.
Chính do những đặc điểm và ưu việt của nguồn năng lượng ICP như thế, nên nó đã nhanh chóng được ứng dụng rộng rãi và thay thế cho nguồn năng lượng cổ điển: tia điện và hồ quang. Tất nhiên, trang bị để tạo ra nguồn năng lượng này đắt hơn. Nhưng trong điều kiện ngày nay và do tính chất ưu việt của nó nên các phòng phân tích quang phổ phát xạ đều được trang bị loại nguồn năng lượng này.