Vì các năng lượng liên kết là đặc trưng cho mợt ngun tố, nên XPS có thể được sử dụng để phân tích thành phần của các mẫu. Hầu hết tất cả các quang điện tử được sử dụng trong XPS đều có đợng năng trong khoảng 0.2 đến 1.5 keV [89].
1.3.6 Phương pháp hiển vi điện tử truyền qua (TEM), kính hiển vi điện tử quét phân giải cao (FE-SEM)
Kính hiển vi điện tử là mợt kỹ thuật khá đơn giản có thể được sử dụng để xác định kích thước và hình dạng của các hạt vật liệu. Đối với kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM) dịng điện tử đâm xun qua mẫu có đợ dày mỏng. Hình ảnh được tạo thành từ sự tương tác của điện tử đi xun qua mẫu đo, hình ảnh này được phóng đại và tập trung lên-mợt thiết bị nhận ảnh như-là màn-hình huỳnh quang (fluorescent screen) hay lớp phim [89].
ViệcIphát-các-chùm điện tử trong SEM cũng-giống như-việc-tạo ra chùm-điện tử trong kính hiển vi điện tử truyền qua TEM. Tuy nhiên, việc gia tốc điện tử trong SEM
27
lại nhỏIhơn nhiều so với TEM. Phương pháp này choIbiết cácIthơng tin về hình thái của bề mặt và kích thước hạt [89].
1.3.7 Phương pháp phổ tán sắc năng lượng tia X (EDX)
Một kỹ thuật phânItích dùng để phân tích nguyên tốIcủa mẫu rắn dựa vàoIviệc ghi lại phổ tia X phátIra từ mẫu doItương tác vớiIchùmIđiện tử có năng lượng cao được gọi là phổ tánIsắc năng lượngItia X (thường được gọi là EDS, EDX hay XEDS) (từ đây gọi là phổ EDX). Mỗi ngun tố hốIhọc có mợt cấu trúcIngun tử xác định tạo ra các phổItia X đặcItrưngIriêng biệt cho ngun tố đó. Để kíchIthích bức xạ đặcItrưng tia X từ mẫu, mợtIdịng năngIlượngIcao của các hạt tích điệnInhư điện tửIhay photon, hay chùm tia X được chiếu vào mẫu cần phân tích (Hình 2.6) [88, 89].