Kỹ thuật phân tích mẫu

Một phần của tài liệu (LUẬN văn THẠC sĩ) khảo sát ảnh hưởng của chất pha tạp lên tính chọn lọc khí của màng mỏng zno dùng để chế tạo cảm biến khí 60 38 50output file (Trang 50 - 53)

2.4.1. Xác định cấu trúc màng

Để khảo sát cấu trúc, màng được đem chụp phổ nhiễu xạ tia X trên thiết bị Kristalloflex, Siemens, Đức, bước sóng 1.5406 Ao

tại phịng Thạch Học – Viện dầu khí Việt Nam.

Hình 2.8. Máy đo nhiễu xạ tia X Siemens Diffraktometer

2.4.2 Phân tích kích thước hạt bằng TEM

Ảnh TEM của bột ZnO (lấy từ màng) được chụp tại trường Đại học Bách Khoa, thành phố Hồ Chí Minh.

2.4.3 Khảo sát hình thái bề mặt màng bằng FE - SEM

Bề mặt màng được chụp FESEM trên thiết bị S – 4800, Hitachi, Nhật tại Viện Khoa Học Vật Liệu Hà Nội.

Hình 2.9. Thiết bị khảo sát bầ mặt bằng FE SEM

2.4.4. Đo độ nhạy khí của màng

2.4.4.1. Xác định điện trở bề mặt màng

Màng được đặt trên bếp nâng nhiệt, 2 mũi dò được đặt tiếp xúc với màng tại vị trí điện cực, đồng hồ đo điện trở (giai đo 2000MΩ, 200MΩ, 40 MΩ) nối vào 2 mũi dò sẽ hiển thị kết quả điện trở bề mặt màng.

2.4.4.2. Đo độ nhạy khí của màng

Để đo độ nhạy khí của màng chúng tơi tiến hành các bước như sau:

 Ban đầu xác định giá trị điện trở Rair của màng khi đặt trong khơng khí ở nhiệt độ cần đo.

 Ethanol lỏng được tiêm vào buồng bằng một micro pipette, rơi xuống một tấm inox được nâng nhiệt từ 500

C đến 800

C (hình 2.10) và bị hóa hơi ngay lập tức. Sau một thời gian (60 giây) để cho hơi ethanol khuếch tán toàn buồng ta lấy giá trị điện trở Rgas. Thể tích khí tiêm vào (Vi) thì được tính tốn theo nồng độ c(ppm) của khí theo cơng thức sau :

ρ = khối lượng riêng của rượu M = khối lượng mol ethanol (mol/l) Vvol = thể tích rượu đưa vào buồng (l) P0 = áp suất buồng ( atm )

R = 0.082 (l*atm/mol*K) V0 = thể tích buồng ( l ) T = nhiệt độ buồng (K)

Hình 2.10 Hệ đo độ nhạy khí

1- buồng đo, 2- lưu lượng kế, 3- đồng hồ đo trở, 4- bộ điều chỉnh và hiển thị nhiệt độ của mẫu, 5- bộ hiển thị nhiệt độ của tấm Inox, 6- pipet micro; 7- bình chứa

khí cần dị, 8- cửa buồng, 9-quạt hút

Độ nhạy khí của màng được tính theo cơng thức :

Với Ra, Rgas = điện trở của màng khi đặt trong khơng khí và mơi trường khí cần dị ở nhiệt độ cần đo (MΩ)

Chương 3 KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN

Một phần của tài liệu (LUẬN văn THẠC sĩ) khảo sát ảnh hưởng của chất pha tạp lên tính chọn lọc khí của màng mỏng zno dùng để chế tạo cảm biến khí 60 38 50output file (Trang 50 - 53)

Tải bản đầy đủ (PDF)

(137 trang)