So sánh hoạt động của các mẫu

Một phần của tài liệu (LUẬN văn THẠC sĩ) khảo sát ảnh hưởng của chất pha tạp lên tính chọn lọc khí của màng mỏng zno dùng để chế tạo cảm biến khí 60 38 50output file (Trang 60 - 62)

3.1. Khảo sát tính nhạy khí của các mẫu ZnO với các loại tạp chất khác nhau (Co,

3.1.1.4. So sánh hoạt động của các mẫu

Để tìm hiểu xem mẫu ZnO : Co ưu tiên lọc lựa khí nào nhất trong 3 loại khí acetone, ethanol và 2- propanol, chúng tôi đã chọn ra các mẫu cho độ nhạy tốt nhất so với từng loại khí và so sánh với nhau.

(a) (b)

Hình 3.11 Đồ thị so sánh độ nhạy giữa 3 khí của các mẫu ZnO : Co b)300ppm, c)500ppm.

Hình 3.12 Đồ thị so sánh thời gian đáp ứng và hồi phục giữa 3 khí của các mẫu ZnO:Co

Từ đồ thị hình 3.11, ta thấy tại nhiệt độ 1500C, độ nhạy khí rượu 2-propanol ln cao hơn độ nhạy 2 khí cịn lại ở cả 2 lưu lượng khí qua mẫu là 300ppm và 500ppm. Trong khoảng nhiệt độ lớn hơn, độ nhạy khí aceton ln cao hơn độ nhạy 2 khí rượu.

Độ nhạy khí aceton và khí rượu ethanol đạt giá trị cao nhất tại 2500

C. Độ nhạy khí rượu 2-propanol đạt giá trị cao nhất tại 1500

So sánh thời gian đáp ứng và hồi phục, ta nhận thấy ứng với mỗi loại khí qua mẫu khác nhau, thời gian đáp ứng của các mẫu không thay đổi nhiều nhưng thời gian hồi phục có sự khác biệt. Điều này chứng tỏ ứng với mỗi loại khí, khả năng giải hấp ra khỏi màng là khác nhau. Tuy vậy, điều chúng tôi quan tâm lại là thời gian đáp ứng vì đại lượng này đặc trưng cho tốc độ phản ứng của khí trên bề mặt bán dẫn.

Dựa vào kết quả so sánh này, chúng tôi nhận thấy, mẫu ZnO : Co chỉ cho thấy tác dụng lọc lựa theo nhiệt độ (ở 1500C dị khí 2-propanol, ở 2000C dị khí ethanol và acetone), khơng cho thấy khả năng lọc lựa theo loại khí. Do đó, có thể kết luận việc pha tạp Coban không đáp ứng được yêu cầu đặt ra của luận văn.

Một phần của tài liệu (LUẬN văn THẠC sĩ) khảo sát ảnh hưởng của chất pha tạp lên tính chọn lọc khí của màng mỏng zno dùng để chế tạo cảm biến khí 60 38 50output file (Trang 60 - 62)

Tải bản đầy đủ (PDF)

(137 trang)