Các bước chế tạo mẫu: Bước 1: Phún xạ Bước 2: Ủ mẫu
Sau khi thực hiện đồng phún xạ hai bia TNO và bia Ag xong màng thu được ở dạng vơ định hình sau đó được đem ủ chân khơng ở nhiệt độ 350oC trong 30 phút thì màng kết tinh ở dạng anatase.
2.2.2 Thực hành chế tạo mẫu Phún xạ Phún xạ
Bước 1: Làm sạch đế kính thủy tinh Corning, gá để mẫu
Các tấm kính corning có kích thước 5x5 cm được đặt vào giá đỡ và được tiến hành rửa theo quy trình sau: lần lượt rung siêu âm trong vòng 15 phút với mỗi dung dịch aceton, ethanol.Sau đó ngâm piranha (H2SO4: H2O2= 3:1) rửa kim loại chất hữu cơ trong vòng 4 giờ, xả tràn với nước rồi rung lại 1 lần nữa với lần lượt aceton- rửa chất hữu cơ, ethanol- rửa aceton thời gian mỗi lượt rung là 15 phút. Cuối cùng đế được xả nước, xì khơ và đem dùng.
Hình 2.5: Các dung dịch rửa đế: aceton, ethanol, axit H2SO4, H2O2 và máy rung siêu âm.
Gá mẫu được đánh sạch bằng giấy nhám, sau đó rửa sạch bằng nước DI, và đem đi xì khơ bằng khí Nitơ
Bước 2: Chuẩn bị bia và lắp bia vào súng phún.
Chuẩn bị bia TNO và bia Ag. Các bia có đường kính 2 inch và có độ tinh khiết khoảng 99,95% (Hình 2.6a và Hình 2.6b).
Tiếp theo lắp bia vào súng phún: Bia TNO được lắp vào súng RF2 và bia Ag được lắp vào súng RF1
(a) (b) (c)
Hình 2.6: Bia TNO (a) được lắp vào súng RF2, bia Ag (b) được lắp vào súng RF1 trong buồng phún xạ (c).
Bước 3: Lắp đế vào buồng phún.
Sau quá trình làm sạch mặt đế, các đế được lắp giữ cố định chắc chắn trên gá mẫu, sau đó được đưa vào buồng phún xạ và thiết lập khoảng cách từ bia tới đế là 6 cm theo như hình ảnh Hình 2.7 (Chú ý khi lắp đế kính, hạn chế diện tích đế kính bị che):