Cần máy ñứng (Gantry Stand): ñược thiết kế ñể chịu tải, nâng ñỡ cần máy, mặt khác có thể chứa: máy phát sóng, súng điện tử, ống dẫn sóng gia tốc.
Magnetron) và bộ ñiều chế xung. Magnetron và Klystron: là các nguồn phát vi sóng hoạt động dưới dạng xung ngắn cỡ một vài µs. Cả hai được lắp thêm bộ ñiều chỉnh tần số tự ñộng AFC (Automatic Frequency Control) để có thể duy trì dao ñộng với tần số tối ưu.
Súng ñiện tử: là thiết bị phát ra electron, nó gồm có hai loại chính là loại hai cực và loại ba cực. Cơ chế cung cấp nhiệt cho catốt của súng ñiện tử, điện tử được phát ra theo q trình bức xạ nhiệt.
Cần máy (Gantry): chứa hệ thống gia tốc electron, ñầu máy ñiều trị. Cần máy
ñược gắn vào cần máy đứng và có thể quay được quanh trục vng góc với nó.
Hệ thống gia tốc electron: gia tốc chùm electron tới năng lượng cao nhờ vi
sóng.
ðầu máy điều trị: cấu tạo gồm bộ lái hướng chùm tia,cặp lá tán xạ khi dùng
với chùm electron, bia tia-X; Ống chuẩn trực thường ñược cấu tạo bởi hai cặp ngàm để tạo dạng chùm bức xạ theo hình chữ nhật; các khối che chắn để tạo hình dạng trường chiếu thích hợp; các bộ lọc phẳng dùng để là phẳng chùm bức xạ tạo ra tính đồng nhất; bộ phận kiểm sốt liều lượng. Ngồi ra đầu máy điều trị cịn có thể thêm vào một số thiết bị ñể thay ñổi cường ñộ chùm bức xạ như: dụng cụ bù trừ mô, lọc nêm, ống chuẩn trực nhiều lá. Hình 2.2 mơ tả đơn giản mơ hình đầu máy gia tốc xạ trị của hãng Siemens.