[4]
Bảng 2. 2. Thông tin chi tiết về quá trình tạo điện cực cho màng sắt điện [4]
2.2. Các phương pháp khảo sát hình thái, cấu trúc và tính chất của vật liệu
Trong phần này, luận văn trình bày các thiết bị và phương pháp khảo sát hình thái, cấu trúc, vi cấu của vật liệu cũng như đo đạc các tính chất của các màng sắt điện BNKT và BNKT-xBFO sau khi đã chế tạo thành công.
2.2.1. Khảo sát hình thái bề mặt vật liệu bằng kính hiển vi lực nguyên tử AFM
Kính hiển vi lực nguyên tử (AFM - Atomic force microscope) là một thiết bị quan sát cấu trúc vi mô bề mặt của vật rắn dựa trên nguyên tắc xác định lực tương tác nguyên tử giữa một đầu mũi dò nhọn với bề mặt của mẫu, có thể quan sát ở độ phân giải nm.
Bộ phận chính của AFM là một mũi nhọn được gắn trên một thanh rung (cantilever). Mũi nhọn thường được làm bằng Si hoặc SiN và kích thước của đầu mũi nhọn là một nguyên tử. Khi mũi nhọn quét gần bề mặt mẫu vật, sẽ xuất hiện lực Van Der Waals giữa các nguyên tử tại bề mặt mẫu và nguyên tử tại đầu mũi nhọn (lực nguyên tử) làm rung thanh cantilever. Lực này phụ thuộc vào khoảng cách giữa đầu mũi dò và bề mặt của mẫu. Dao động của thanh rung do lực tương tác được ghi lại nhờ một tia laser chiếu qua bề mặt của
thanh rung, dao động của thanh rung làm thay đổi góc lệch của tia lase và được detector ghi lại [4].Việc ghi lại lực tương tác trong quá trình thanh rung quét trên bề mặt sẽ cho hình ảnh hình thái bề mặt của mẫu vật như hình 2.10 ảnh thiết bị và kết quả thu được từ máy AFM.