Kết quả thực nghiệm trong luận văn này được đo trên máy AFM, Solver PRO, đặt tại Phòng thí nghiệm trọng điểm công nghệ Micro và Nano, Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc Gia Hà Nội.
2.2.2. Khảo sát hình thái bề mặt vật liệu bằng kính hiển vi điện tử quét SEM
Phương pháp kính hiển vi điện tử quét cho ảnh mẫu với độ phân giải cao. Hình 2.11 mô tả thiết bị SEM và các kết quả ảnh chụp SEM.
Nguyên lý hoạt động của thiết bị: Chùm điện tử sau khi đi qua hệ thống thấu kính hội tụ và các cuộn quét điện tử tới bắn vào bề mặt mẫu nghiên cứu. Khi các điện tử tới va chạm vào bề mặt mẫu làm phát ra các điện tử và sóng điện từ: điện tử tán xạ ngược, điện tử Auger, tia X đặc trưng, huỳnh quang catot. Trong đó, hiệu suất phát xạ của điện tử thứ cấp phụ thuộc vào hình thái bề mặt vật liệu tại vị trí phát xạ, phát xạ mạnh ở chỗ mặt mẫu lồi, yếu ở chỗ mặt mẫu lõm. Đầu thu được bố trí để thu chùm điện tử thứ cấp sẽ được khuyếch đại và hiển thị trên màn hình. Khi chùm điện tử tới quét trên bề mặt mẫu thì tín hiệu thu được từ các điện tử thứ cấp được đồng bộ và quét trên màn hình hiển thị, mỗi điểm trên mẫu tương ứng với điểm sáng trên màn hình hiển thị. Kết quả là trên màn hình hiển thị sẽ sáng mạnh và ngược lại, chỗ nào mẫu tín hiệu phát ra yếu thì
chỗ tương ứng trên màn hình sẽ sáng yếu. Như vậy, ảnh thu được phản ánh bề mặt của mẫu nghiên cứu.