Hỡnh 2.10: nguyờn lý đo độ dịch chuyển trong đầu đo
Hỡnh 2.11: cảm biến chủđộng
Là loại khụng dẫn động bằng mụtơ, khụng cú cơ cấu khoỏ, kết cấu hệ thốngvỏ
bao ngoài khụng phức tạp, khụng bị ảnh hưởng bởi lực điện trường và khụng bị hỏng húc do điện. Đo đú loại cảmbiến này cú kết cấu đơn giản vàgọn nhẹ.
Cơ cấu lũ xo hộp được thiết kế đặc biệt, cú thể đặt gọn trong thõn đầu đo với đường kớnh ∅50mm. Do vậy lực quan tớnh khi đo rất nhỏ, kết cấu động học cứng vững, lực đ.n hồi của lũ xo nhỏ, giảm được chấn động từ 3 chiều.
Nghiên cứu ph-ơng pháp nâng cao độ chính xác phép đo trên máy đo toạ độ ba chiều
Đối với đầu đo loại này, khi sử dụng để quột thỡ độ dịch chuyển của đầu mũi đo nhỏ: giả sử tốc độ đo là 300mm/s thỡ độ lệch cú thể được giữ trong phạm vi là
100 àm.
Cụng nghệ đo lường quang học cho phộp đầu đọc số cú khả năng đọc đượcđộ phõn giải trờn lưới tới 0.02àm.
Độ chớnh xỏc của đầu đọc được xỏc định bởi độ thẳng của cỏc đường trờn lưới cỏch tử và được hiệu chỉnh bằng độ vuụng gúc của cỏc tấm lưới cỏch tử với nhau
chứ khụng phụ thuộc vào thiết kế cơ khớ của đầu đo.
* cảm biến chủ động: là loại mà cú cỏc động cơ gắn bờn trong để tạo ra lực tiếp xỳc, cỏc động cơ này vừa đúng vai trũ tạo lực tiếp xỳc, vừa điều chỉnh lực đú. Độlệch của mũi dũ khỏc nhau nhưng lực đo thay đổi rất ớt (cú thể điều chỉnh được giảilực)
Đối với đầu đo loại này, khi sử dụng để quột thỡ độ dịch chuyển của đầu mũi đo sẽ lớn hơn, vỡ nú cần để giữ cho lực tiếp xỳc đều trong quỏ trỡnh quột. Hướng đo phụ thuộc vào sự điều chỉnh lực tiếp xỳc để đảm bảo giảm tối đa độ cong mũi đo do lực tỡ của đầu đo lờn mặt vật đo.
Do vậy, loại cảm biến chủ động này cú kết cấu phức tạp hơn.