1.6.2.1.Vật liệu nano 1-D ZnO (Các thanh, dây nano, ống nano, và sợi nano)
Các cấu trúc nano ZnO 1-D, cho thanh nano, các ống nano, dây nano, và các sợi nano, đã đƣợc nghiên cứu cho các ứng dụng cảm biến khí do tỷ lệ diện tích bề mặt với khối lƣợng cao và khả năng nhiệm giam giữ điện tử hai chiều. Có nhiều phƣơng pháp tổng hợp vật liệu ZnO 1-D nhƣ: thanh nano bằng phƣơng pháp thủy nhiệt[36], phƣơng pháp lắng đọng hóa học[37]; dây nano bằng phƣơng pháp lắng đọng từ pha hơi[21][22]; sợi nano bằng phƣơng pháp quay điện sau đó thủy nhiệt[23].
Hình1.12 Ảnh hiển vi SEM của thanh nano ZnO tăng trƣởng với: a ,90℃, nhìn từ trên xuống; b, 90℃, nhìn theo phƣơng ngang; c,100℃, nhìn từ trên xuống; d, 100℃,
nhìn theo phƣơng ngang; e, 110℃, nhìn từ trên xuống; f, 110℃, nhìn theo phƣơng ngang. [83]
1.6.2.2.Chấm lượng tử và hạt nano ZnO
Một cách tiếp cận khác để tăng cƣờng các tính chất cảm biến khí là giảm kích thƣớc hạt và tăng tỷ lệ diện tính bề mặt trên kích thƣớc vật liệu. Kích thƣớc hạt nano ZnO chỉ vài nanomet, tạo thành. Hạt nano ZnO chấm lƣợng tử đã đƣợc báo cáo trong các tài liệu đƣợc chế tạo bằng phƣơng pháp sol-gelcó thể kiểm soát tốc độ tăng trƣởng và kích thƣớc của hạt [27][28]. Thu đƣợc chấm lƣợng tử với kích thƣớc tinh thể trung bình của dãy 2,5-4.5 nm bằng một phƣơng pháp sol-gel đơn giản ở nhiệt độ phòng.
1.6.2.3.Cấu trúc màng mỏng và tâm nano ZnO
Lớp cấu trúc nanohai chiều xốp nhạy khí với tỷ lệ diện tích bề mặt trên khối lƣợng tƣơng đối lớn cung cấp phản ứng cảm biến với hiệu suất cao và nhanh chóng. Độ xốp của bề mặt ảnh hƣởng trực tiếp đếntốc độ khuếch tán khí, tốc độhấp phụô xy và khí phân tích[29]. Zhang và cộng sự [30] đã sử
dụng khí phƣơng pháp phun ZnO plasma trên tấm nhôm có điện cực Au / Pt từ bột ZnO thƣơng mại có sẵn. Nhiệt độ ủ có tác dụng rõ rệt đến đặc tính của của màng mỏng ZnO[84], nhƣ Hình 1.13
CHƢƠNG 2: THỰC NGHIỆM CHẾ TẠO VÀ PHƢƠNG PH P KHẢO SÁT MẪU