Mặt Trời phát ra tia cực tím UVA, UVB và UVC, nhưng bởi vì sự hấp thụ
của tầng ozone khí quyển. Do đó, có đến 99% tia cực tím đến được mặt đất chỉ
còn là vùng UVA. Bản thân tầng ozone được tạo ra nhờ phản ứng hóa học có sự
tham gia của tia UVC.
Đèn thuỷ ngân áp suất thấp có cấu tạo giống với đèn huỳnh quang nhưng nó không tráng một lớp huỳnh quang để chuyển tia UV thành ánh sáng nhìn thấy
được. Bước sóng chính phát ra từđèn thuỷ ngân áp suất thấp là 254 nm (UVC). Tuy nhiên, tuỳ vào việc tráng thêm lớp huỳnh quang nào mà nó có thể tạo ra UVB, UVA hay ánh sáng nhìn thấy được. Đèn thuỷ ngân áp suất thấp được dùng rộng rãi trong việc khử trùng môi trường, khử trùng nước sinh hoạt, khử trùng dụng cụ y tế,… Tuy nhiên, đèn này chứa thuỷ ngân nên chúng ta phải chú trọng qui trình xử lý nó khi bóng bị hỏng để đảm bảo không ảnh hưởng đến môi trường.
Ngày nay, người ta chú trọng đến một diode phát ra bước sóng cực tím nhưng tiêu thụ năng lượng thấp và tuổi thọ cao. Đó là UV LED là một cấu trúc của LED nhưng có thêm các lớp GaN 295H[16] đặc biệt trong vùng phát xạđể có thể
phát ra ánh sáng trong dải bước sóng cực tím. Hiện tại, bước sóng của UVLED bị
giới hạn ở bước sóng 365nm. Hiệu suất phát xạ của UVLED ở bước sóng 365nm trung bình là 5-8% và 392nm là 20%. UVLED được ứng dụng trong kỹ thuật in số và ngày nay đang được nghiên cứu ứng dụng trong các thiết bị khử trùng, do
những đặc tính nổi bật về hiệu suất phát xạ cao, tiêu thụ công suất thấp, kích thước nhỏ, không chứa thuỷ ngân, tuổi thọ cao,...
Hình 2. 7:Ảnh chụp bề mặt của UVLED ký hiệu SB1100 với bước sóng 365nm, dòng tối đa là 700mA, sử dụng điện thế 5V.
UV diode laser và tia cực tím laser trạng thái rắn có thể được sản xuất để
phát ra ánh sáng trong dải tia cực tím. Bước sóng có sẵn bao gồm 262, 266, 349, 351, 355 và 375 nm. Nó có thể phát ra tia UV bằng cách ứng dụng chuyển đổi tần số, giảm tần số laser, hoặc từ Ce: LiSAF tinh thể. Ngoài ra còn một số nguồn phát tia UV khác ít phổ biến như: nguồn phát dùng đèn hồ quang thạch anh, hay
đèn phát tia UV dựa trên hiện tượng phóng điện qua khí trơ,…