... Ar) ở nhiều mức độ khác - Khảosát ảnh hưởng yếu tố nhiệt độ để nâng cao chất lượng của màng - Bước đầu chế tạo tiếp xúc dị thể p-ZnO/n-Si và khảosát đường đặc trưng I-V để ... văn này, tiếp tục thực chế tạo màng ZnO:(In,N) bán bẫn loại p phương pháp phún xạ magnetron DC Khảosát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng ... nhiễu xạ tia X của các mẫu T128, T121, T124B, T127, T126, T119 57 Hình 4.10 Kích thước của hạt thay đổi theo tỷ lệ pha tạp In 57 Hình 4.11 Phổ truyền qua của mẫu T128, T121, T124B,...