... Biến thiên điện trở đầu đo bándẫn xác định công thức tương tự đầu đo kim loại: Đối với đầu đo bán dẫn, biến thiên điện trở suất tác dụng ứng lực có dạng: Trong p hệ số áp điện trở, s ứng lực ... Cảmbiếnáptrở silic nhóm III (như Ga, In) vào đế silic loại N Chuyển tiếp đế vùng khuếch tán tạo nên điot phân cực ngược (vùng P âm vùng N) điện trởcảmbiến cách biệt với đế silic Biến ... bằng: Giới hạn mỏi Biến dạng nhiều lần làm tăng điện trở đầu đo hiệu ứng mỏi, hiệu ứng lớn biên độ biến dạng lớn 4/5 Cảmbiếnáptrở silic Giới hạn mỏi xác định số chu kỳ biến dạng N với biên...
... chức 2.2.1 Cảmbiến Do MQ135 loại cảmbiến hoạt động dựa nguyên lý cảmbiếnbán dẫn, có tính dễ sử dụng, giá thành rẻ, nên em chọn cảmbiến 11 Cấu tạo cảmbiến MQ135 Hình 2.2 Hình ảnh cảmbiến MQ135 ... để dẫn điện, tức thay đổi độ dẫn điện chất bándẫn Độ dẫn điện chất bándẫn ơ-xít kim loại nguồn tín hiệu c Các yếu tố ảnh hưởng tới cảmbiếnbándẫn Có yếu tố ảnh hưởng đến đặc tính cảmbiến ... MQ135 cảmbiến khí hãng Hanwei Sensor Đài Loan sản xuất,được sử dụng để kiểm soát chất lượng khơng khí tòa nhà, văn phòng, loại cảmbiến dựa nguyên lý độ dẫn điện (cảm biếnbán dẫn) Vật liệu cảm biến...
... thiệu cảmbiến nhiệt độ Giới thiệu cảmbiến nhiệt điện trởbándẫn NTC-NHIỆT ĐIỆN TRỞBÁNDẪN ÂM PTC- NHIỆT ĐIỆN TRỞBÁNDẪN DƯƠNG Ưu nhược điểm nhiệt điện trởbándẫn Giới thiệu tổng quan cảmbiến ... điện trở kim loại •Nhiệt ngẫu Phần tử cảmbiếnbándẫn • Nhiệt trởbándẫn (thermo-diode, thermo-transistor); vi mạch cảmbiến nhiệt IC Giới thiệu cảmbiến nhiệt điện trởbándẫn Nhiêt điện trở ... kết cấu dạng đĩa Giới thiệu cảmbiến nhiệt điện trởbándẫn Cấu tạo cảmbiến nhiệt điện trởbándẫn Hình dạng thermistor Giới thiệu cảmbiến nhiệt điện trởbándẫn Phân loại Các thermistor phân...
... để áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảmbiếnáp suất phải áp ứng cách tốt cho trường hợp cụ thể Chính cảmbiếnáp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảmbiếnáp ... Cuối tìm hiểu loại cảmbiếnáp suất khác sử dụng công nghệ MEMS Chương 2: Thiết kế mô cảmbiếnáp suất áp điện trở Trên sở dùng phương pháp giải tích Mơ đặc tính học màng cảmbiến dùng phần mềm ... cứu chế tạo cảmbiến sở hiệu ứng áp trở, Luận án Tiến Sĩ Vật Lý, Trường Đại Học Bách Khoa, Hà Nội [2] Chu Mạnh Hoàng (2007), Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảmbiếnáp suất kiểu áptrở kích thước...
... tĩnh cảmbiếnáp suất dùng biến đổi cảm ứng: (20.21) Để đo độ tự cảm L người ta dùng cầu đo xoay chiều mạch cộng hưởng LC B ộ biến đổi kiểu biếnáp vi sai Bộ biến đổi áp suất kiểu biếnáp vi ... tử biến dạng thành tín hiệu đo Các chuyển đổi loại thường dùng là: cuộn cảm, biếnáp vi sai, điện dung, điện trở - Biến đổi ứng suất thành tín hiệu đo Các chuyển đổi phần tử áp điệnhoặc áptrở ... (20.22) Đối với phần tử biến đổi chuẩn có điện trở cửa R1 R2 điện ápbiến đổi xác định công thức: (20.23) Giá trị hỗ cảm Mra phụ thuộc độ dịch chuyển lõi thép: Trong Mmax hỗ cảm lớn cuộn sơ cấp cuộn...
... bất lợi loại cảmbiến sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt cảmbiếnáp suất áp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảmbiếnáp suất áp điện [5] • Cảmbiếnáp suất áptrởCảmbiếnáp suất loại áptrở sản phẩm ... trình chế tạo cảmbiếnáp suất kiểu tụ 1.4 Mặt cắt cảmbiếnáp suất cộng hưởng 1.5 Mặt cắt cảmbiếnáp suất áp điện 1.6 Mặt cắt mơ hình cảmbiếnáp suất áptrở 1.7 Cấu trúc cảmbiếnáp suất kiệu ... vậy, cảmbiếnáp suất có giá trị thương mại to lớn Cảmbiếnáp suất phân thành bốn loại sau: (1) cảmbiếnáp suất kiểu tụ (capacitive), (2) cảmbiếnáp suất cộng hưởng, (3) cảmbiếnáp suất áp...
... để áp ứng nhu cầu đa dạng đòi hỏi cảmbiếnáp suất phải áp ứng cách tốt cho trƣờng hợp cụ thể Chính cảmbiếnáp suất kiểu áp trở, áp ứng phần độ nhạy khả đo áp suất phạm vi rộng Cảmbiếnáp ... 1.3.3 Cảmbiếnáp suất kiểu tụ điện 1.3.4 Cảmbiếnáp suất cộng hưởng 1.3.5 Các kỹ thuật MEMS cảmbiếnáp suất khác Chương 2: THIẾT KẾ VÀ MÔ PHỎNG CẢMBIẾNÁP SUẤT KIỂU ÁPTRỞ ... LUẬN 4.1 Chế tạo cảmbiếnáp suất áptrở 4.2 Đặc tính cảmbiếnáp suất áptrở 4.2.1 Đặc tính áp ứng 4.2.2 Sự phụ thuộc nhiệt độ vào đặc tính 4.2.3 Cảmbiến nguồn cung...
... HỮU TƯỚC I CẢMBIẾNÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN Cảmbiếnáp suất điện áp có nguyên tắc hoạt động dựa tượng thay đổi hay xuất phân cực điện khi số chất điện môi bị biến dạng tác dụng lực Bộ cảmbiến gồm ... dụng lực lên cảmbiến màng PVDF chịu ứng suất hình thành điện tích bề mặt Lớp mặt Màng PVDF F Lớp đế Cảmbiếnáp suất điện áp Điện tích thay đổi tạo nên biến thiên điện ápBiên độ điện áp tỉ lệ với ... lệ với lực tác động vào cảmbiếnCảmbiếnáp điện dùng để đo lực biến thiên(đến 10KN), đo áp suất 1000 ms-1 (100N/mm2) gia tốc (tới 1kg) dải tần từ 0,5100kHz Ưu điểm cảmbiến loại cấu trúc đơn...
... điện trởcảmbiến màng góc mỏng ln có giá trị cao cảmbiến màng phẳng Tại áp suất atm, độ lệch cầu điện trởcảmbiến màng góc mỏng 85,4 mV, cảmbiến màng phẳng đạt 73,8 mV (ứng với điện áp nguồn ... trúc cảmbiến có dạng sau: Trên cảmbiếnáp suất dạng màng vuông, thay cho màng phẳng đều, màng cảmbiến có góc mỏng sử dụng Các áp điện trở đặt vị trí trung điểm cạnh màng Bốn áp điện trở mắc ... để cấy áp điện trở hiệu ứng áptrở lớn làm đường dẫn điện trở qua màng [5] Vì áp điện trở có kích thước cấy vùng có phân bố ứng suất khác vị trí khác nhau, nên thay đổi giá trị áp điện trở thay...
... 25 Hình 2.6 Cảmbiếnáp suất kết nối dùng điện trở 50 cầu Wheatstone 26 Hình 2.7 Cấu trúc cảmbiếnáp suất 59 27 Hình 2.8 Mơ hình phần tử hữu hạn cuả cảmbiếnáp suất áp 60 điện trở 28 Hình 2.9 ... tải cảmbiếnáp suất áp 61 điện trở 29 Hình 2.10 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảmbiến 62 áp suất với L = 500 µm, H = 10 µm, P = 100 KPa 30 Hình 2.11 Kết tính tốn phần tử hữu hạn cảmbiến 63 áp ... ngang cách bố trí sensor áp suất 35 cụ thể vi khối 14 Hình 1.14 Vị trí điện trở màng Boss 36 15 Hình 1.15 Cảmbiếnáp suất áptrở liên kết hợp 38 16 Hình 1.16 Cảmbiếnáp suất vi bề mặt với a)...
... mạng cảmbiến không dây CHƯƠNG TỔNG QUAN VỀ MẠNG CẢMBIẾN KHÔNG DÂY 1.1 Giới thiệu mạng cảmbiến không dây Mạng cảmbiến không dây (Wireless Sensor Network) bao gồm tập hợp thiết bị cảmbiến ... phần node cảmbiến minh họa hình 1.2 Bộ cảmbiến thường thường gồm hai đơn vị thành phần thiết bị cảmbiến (Sensor) chuyển đổi tương tự/số (ADC) Các tín hiệu tương tự có từ cảmbiến sở cảmbiến tượng ... triển cảmbiến truyền thống mạng cảmbiến không chấp nhận Như vậy, giá thành node cảmbiến cần phải giữ mức thấp Hiện nay, chi phí sản xuất node cảmbiến phải thấp 1Dollar mạng thực Các node cảm biến...
... 2.b) Cảmbiếnáp suất vi sai (hình 2.c) Hình Các loại cảmbiếnáp suất kiểu màng a) Cảmbiếnáp suất tuyệt đối b) Cảmbiếnáp suất tương đối c) Cảmbiếnáp suất vi sai 70 Nói chung, ba loại cảmbiến ... tuyến tính điện áp lối theo áp suất đặt vào Việc sử dụng cảm biến, vị trí, vai tròcảmbiến khảo sát kỹ Hình áp ứng Điện áp – áp suất cảmbiến MPX10 75 Vi cảmbiếnáp suất MPX50 Cảmbiến MPX50 ví ... ứng áptrở sử dụng phổ biến Nguyên lý hoạt động phương pháp chế tạo vi cảmbiếnáp suất kiểu màng hiệu ứng áp điện trở trình bày tiếp sau 1.1.4 Vi cảmbiếnáp suất kiểu áptrở Trên sở hiệu ứng áp...
... lường xác, robotic, ) Nhiều cảmbiến thiết kế có lối điện áp nhỏ, việc để phát sai lệch đo điện áp khó khăn Do ý tưởng thiết kế hệ đo lường có độ nhạy cao cho cảmbiến quan trọng, ý tưởng hệ ... 3.1.3 Khối biến đổi DAC 3.1.3.1 Hoạt động DAC tính chất Hình 3.6 Ví dụ biến đổi DA bít Mục đích biến đổi DA, nêu, biến đổi tín hiệu nhị phân n bít thành dòng hay áp tương ứng Hình 3.6 ví dụ biến đổi ... pháp mạch R-2R DAC với thang điện trở R-2R khắc phục số nhược điểm DAC điện trở trọng lượng Mạch gồm hai điện trở R 2R mắc theo hình thang với nhiều khố điện (mỗi khố điện cho bít) nguồn điện áp...
... thông sử dụng cảmbiến từ trở dị hướng Tín hiệu thu từ cảmbiến điện áp Khi từ trường xung quanh cảmbiến không thay đổi, điện áp lối không đổi (background) Điện áp lối từ cảmbiến thay đổi từ ... thiết bị nhận biết phương tiện giao thông dựa cảmbiến từ trở dị hướng 10 Chương Cảmbiến từ trở dị hướng 2.1 Cơ vật liệu từ Để hiểu cảmbiến từ trở, trước hết cần có số khái niệm vật liệu từ ... giới hạn cho phép cảmbiến (vượt ngồi vùng làm việc tuyến tính cảm biến) , vector từ hố khơng trở lại trạng thái ban đầu từ trường ổn định trở lại Vì làm giảm hẳn độ cảm nhận cảmbiến từ trường thay...
... mạng cảmbiến không dây CHƯƠNG TỔNG QUAN VỀ MẠNG CẢMBIẾN KHÔNG DÂY 1.1 Giới thiệu mạng cảmbiến không dây Mạng cảmbiến không dây (Wireless Sensor Network) bao gồm tập hợp thiết bị cảmbiến ... phần node cảmbiến minh họa hình 1.2 Bộ cảmbiến thường thường gồm hai đơn vị thành phần thiết bị cảmbiến (Sensor) chuyển đổi tương tự/số (ADC) Các tín hiệu tương tự có từ cảmbiến sở cảmbiến tượng ... triển cảmbiến truyền thống mạng cảmbiến khơng chấp nhận Như vậy, giá thành node cảmbiến cần phải giữ mức thấp Hiện nay, chi phí sản xuất node cảmbiến phải thấp 1Dollar mạng thực Các node cảm biến...
... cường tuổi thọ cho cảmbiến Khi áp dụng cách, thu giá trị đọc mà không làm ảnh hưởng tới màng ngăn cảmbiến Màng ngăn (Diaphragm seal) – màng ngăn lắp phía cảmbiến để truyền áp suất mà không cho ... nhập vào cảmbiến Khi sử dụng, cảmbiến phải nạp đầy chất trơ, thường đầu silicon để truyền áp suất toàn hệ thống Bộ bảo vệ áp (overpressure protector) – van lò xo tự đóng trường hợp áp suất lớn ... nghiệm công nghệ cảmbiến định” “Chuẩn trước loại điện dung, có nhiều cơng nghệ cảmbiến chúng tối ưu hóa cho phạm vi đo cụ thể Khả vi xử lý đầu phát thông minh bù cho điểm yếu cảmbiến cho phép...
... màng Cảmbiếnáp suất loại cảmbiến thường dùng cơng nghiệp Trong y tế cảmbiếnáp suất thường sử dụng để đo áp suất động mạch tĩnh mạch Ưu điểm lớn độ nhạy Cụ thể dải điện áp thấp, độ nhạy cảmbiến ... dạng kích thước áp điện trở, vị trí áp điện trở phần tử nhạy Cấu trúc cảmbiếnáp suất sử dụng thiết bị hình Cảmbiến chế tạo đế Silic loại n có định hướng bề mặt {100}, phương pháp ăn mòn điện ... 2 CẢMBIẾNÁP SUẤT VI CƠ ĐIỆN TỬ 2.1 Cấu hình nguyên lý hoạt động cảmbiếnáp suất Trên sở hiệu ứng áptrở vật liệu silicon, nhiều loại vi cảmbiến chấp hành phát triển...