BÁO cáo CHUYÊN đề đề tài các phương pháp đo áp suất

TRƯỜNG ĐẠI HỌC ĐIỆN Lực KHOA ĐIỀU KHIỂN & Tự ĐỘNG HÓA ĐỢI HỌC ĐIỆn Lực ELECTRIC POWER UNIVERSITY BÁO CÁO CHUYÊN ĐỀ Đề tài: Các phương pháp đo áp suất NGÀNH : Điều khiển & tự động hóa CHUYÊN NGÀNH : Tự động hóa & điều khiển thiết bị công nghiệp HỌC PHÂN : Kỹ thuật đo lường đại lượng khơng điện Giảng viên hướng dẫn : T.S.Đồn Diễm Vương Sinh viên thực : Trần Quang Huy - 19810430018 : Nguyễn Đăng Khoa - 19810430338 : Nguyễn Đức Khánh - 19810430185 : Đặng Vũ Minh Khoa -19810000261 Lớp : D14TDH&ĐKTBCN2 HÀ NỘI, 11/2021 MỤC LỤC LỜI CẢM ƠN DANH MỤC TÀI LIỆU THAM KHẢO DANH SÁCH CÁC BẢNG, HÌNH VẼ HÌNH 1.1: Mơ hình cảm biến đo HÌNH 1.2: Các loại sai số HÌNH 1.3: Đặc tính động cảm biến HÌNH 2.1: Cảm biến đo áp suất tuyệt đối HÌNH 2.2: Cảm biến đo áp suất tuơng đối HÌNH 2.3: Cảm biến đo đóng kín áp suất tuơng đối HÌNH 2.4: Cảm biến đo hiệu áp suất HÌNH 2.5: Cảm biến áp suất dịch thể HÌNH 2.6: Các phần tử cảm biến áp suất đàn hồi HÌNH 2.7: Cảm biến điện dung đo áp suất KAVLICO HÌNH 2.8: Nguyên lý cảm biến áp điện HÌNH 2.9: Cảm biến áp trở loại khuếch tán HÌNH 2.10: Vị trí áp trở đặt màng silicon HÌNH 2.11: Cảm biến chng HÌNH 2.12: Chuyển đơỉ điện cảm HÌNH 2.13: Biến áp vi sai LVDT HÌNH 2.14: Chuyển đổi sơ cấp đo áp suất với tín hiệu điện áp xoay chiều HÌNH 2.15: Chuyển đổi sơ cấp đo áp suất với tín hiệu dịng chiều HÌNH 2.16: Thiết bị cân lực đo áp suất HÌNH 2.17: Nguyên lý manometer HÌNH 2.18: Định chuẩn đo áp suất lớn LỜI CẢM ƠN Trong thời gian làm báo cáo chuyên đề, em nhận nhiều giúp đỡ, đóng góp ý kiến bảo nhiệt tình thầy bạn bè Em xin gửi lời cảm ơn chân thành đến cô Đồn Diễm Vương, giảng vên người tận tình hướng dẫn, bảo em suốt trình làm chuyên đề Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Em xin chân thành cảm ơn thầy cô giáo trường Đại học Điện Lực nói chung, thầy mơn khoa điều khiển tự động hóa nói riêng hướng dẫn cho em kiến thức cách trình bày nội dung báo cáo, giúp em có sở lý thuyết tạo điều kiện gúp đỡ em trình làm báo cáo chuyên đề Tuy vậy, với kinh nghiệm kiến thức thiếu sót nên báo cáo chun đề em cịn chưa hoàn thiện lắm, em mong sử dẫn chân thành thầy cô Cuối cùng, em xin chân thành cảm ơn thầy cô bạn bè tạo kiện, quan tâm, giúp đỡ em suốt q trình học tập hồn thành báo cáo Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 CHƯƠNG I: KHÁI NIỆM CƠ BẢN VỀ ĐO LƯỜNG VÀ CẢM BIẾN Khái niệm chung đo lường 1.1 Đo lường: đại lượng đánh giá định lượng đại lượng cần đo để có kết số đo với đơn vị 1.2 Tín hiệu đo: tín hiệu mang thơng tin giá trị đại lượng đo 1.3 Đại lượng đo: thơng số xác định q trình vật lí tín hiệu đo Do q trình vật lí có nhiều thơng số trường hợp cụ thể ta quan tâm đến thông số định, địa lượng vật lí Thơng thường đại lượng đo chia thành: + Đại lượng đo tiền định: đại lượng đo biết trước quy luật thay đổi theo thời gian + Đại lượng đo ngẫu nhiên: đại lượng đo thay đổi theo thời gian không theo quy luật định + Theo cách biến đổi, đại lượng đo chia thành đại lượng đo liên tục (Analog) đại lượng đo rời rạc (Digital), 1.4 Thiết bị đo: thiết bị kĩ thuật dùng để gia cơng tín hiệu mang thơng tin đo thành dạng tiện lợi cho người quan sát Thiết bị đo thể phương pháp đo khâu chức cụ thể Thiết bị đo chia thành nhiều loại tùy theo chức nó, thơng thường gồm có: mẫu, dụng cụ đo, cảm biến đo lường hệ thống thông tin đo lường 1.5 Đơn vị đo: giá trị đơn vị tiêu chuẩn đại lượng đo quốc tế quy định mà quốc gia phải tuân thủ Hệ thống đơn vị đo bao gồm hai nhóm: + Đơn vị bản: thể đơn vị chuẩn với độ xác cao mà Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 khoa học kĩ thuật đại thực + Đơn vị kéo theo: đơn vị có liên quan đến đơn vị thể qua biểu thức Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Khái niệm cảm biến 2.1 Cảm biến đo: thiết bị thu nhận giá trị đại lượng cần đo chuyển đổi sang dạng tín hiệu khác dựa tượng xảy lịng Cảm biến thiết bị khơng thể thiếu hệ thống thu thập liệu Hệ thống hệ thống hệ thống đo điều khiển Tuy nhiên nhiều trường hợp tín hiệu cảm biến đo chưa thể sử dụng để so sánh với tín hiệu đơn vị để xác định số đo mà phải chuyển đổi sang dạng tín hiệu khác thuận tiện cho việc truyền tín hiệu xử lí tín hiệu Phần tử thực chức gọi chuyển đổi đo chuẩn (transmitter) Một chuyển đổi đo chuẩn nhận tín hiệu đầu vào từ cảm biến cho đầu tín hiệu chuẩn để truyền xa thích hợp với đầu vào điều khiển Trong nhiều hệ thống đo đo áp suất, đo lưu lượng v.v cảm biến đo thường gắn liền với chuyển đổi đo tạo thành thiết bị hoàn chỉnh gọi chuyển đổi đo lường sơ cấp (transducer) Các chuyển đổi đo lường sơ cấp gắn với đối tượng đo có đầu dạng tín hiệu điện tín hiệu khí nén Phân loại cảm biến từ đơn giản đến phức tạp tùy vào mục đích, tiêu chí khác mà lựa chọn Ta phân loại cảm biến theo tính năng, theo vật liệu, theo nguyên lí chuyển đổi, theo phạm vi ứng dụng, theo tín hiệu khích thích Riêng phân loại theo tính chất nguồn điện phân thành hai loại: - Cảm biến thụ động (passive): không cần thêm nguồn lượng bên ngồi có đầu tín hiệu điện Ví dụ cặp nhiệt điện, điốt quang, cảm biến áp điện - Cảm biến tích cực (active): cần có nguồn bên ngồi (tín hiệu kích thích) Ví dụ cảm biến tích cực nhiệt điện trở bán dẫn (thermistor), điện trở lực căng 2.2 Các đặc trưng cảm biến 2.2.1 Hàm truyền Đặc điểm cảm biến đo mối liên hệ tín hiệu y với giá trị đại lượng cần đo x Mối liên hệ biểu diễn bảng số dạng công thức: y=f (x) Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất (1.1) Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Dựa vào mối liên hệ y x mà cảm biến đo phân thành hai loại: cảm biến đo tuyến tính cảm biến đo phi tuyến tính Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Các cảm biến đo tuyến tính có mối liện hệ y x mô tả dạng hàm tuyến tính: y = ax + b (1.2) Trong a, b số Các cảm biến đo mà mối liên hệ y x không mơ tả hàm tuyến tính liệt vào loại phi tuyến tính Trong thực tế, số nhỏ cảm biến tuyến tính Một số cảm biến phi tuyến đặc trưng hàm truyền sau: Hàm lôgarit hàm ngược : Với k số Cảm biến đo tuyến tính ưu việt cảm biến đo phi tuyến tính sử dụng cảm biến đo tuyến tính việc gia cơng số liệu đơn giản sử dụng cảm biến đo phi tuyến tính Vì thực tế có cảm biến đo tuyến tính phi tuyến tính sử dụng nên chọn cảm biến tuyến tính X _y — - -* f - -> Hình 1.1: Mơ hình cảm biến đo 2.2.2 Độ nhạy Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Một đặc điểm thứ hai cảm biến đo mà cần quan tâm độ nhạy cảm biến đo Độ nhạy cảm biến đo thay đổi giá trị tín hiệu cảm biến đo đại lượng cần đo thay đổi đơn vị Độ nhạy cảm biến đo thường kí hiệu £ Như cảm biến đo tuyến tính độ nhạy giá trị khơng đổi £ = a cịn đốivới cảm biến đo phi tuyến tính độ nhạy thay đổi Như cảm biến đo phi tuyến tính đặc tuyến cảm biến đo biểu diễn dạng hàm số liên tục y = f(x) độ nhạy đạo hàm hàm số £ = f(x) Trong trường hợp đặc tuyến cảm biến đo biểu diễn dạng bảng số độ nhạy xác định tỉ số biến thiên tín hiệu Ay so với biến thiên đại lượng cần đo Ax, nghĩa £ = Ay/Ax Trong thực tế sử dụng cảm biến đo có độ nhạy lớn ưu việt cảm biến đo có độ nhạy nhỏ Độ nhạy cảm biến đo lớn việc gia cơng số liệu đơn giản Yêu cầu độ nhạy cảm biến đại lượng đo lớn tốt, nhiên bên cạnh yêu cầu độ nhạy chuyển đổi với nhiễu phải thấp để hạn chế thấp ảnh hưởng nhiễu lên kết đo 2.2.3 Giới hạn đo Giới hạn đo thông số quan trọng cảm biến đo mà người sử dụng cần phải quan tâm Giới hạn đo giá trị giới hạn đại lượng cần đo mà cảm biến đo thu nhận chuyển đổi bảo đảm độ xác cần thiết không làm hư hỏng cảm biến đo Như chọn cảm biến đo cần bảo đảm giới hạn đo phải nhỏ giới hạn cảm biến đo Khi giá trị đại lượng cần đo vượt ngồi giới hạn cảm biến đo khơng bảo đảm độ xác phép đo xấu làm hỏng cảm biến đo 2.2.4 Sai số độ xác Cũng thiết bị đo khác, sai số đặc trưng quan trọng cảm biến đo Sai số cảm biến đo thường biểu diễn dạng hàm số mối liên hệ sai số tín hiệu với giá trị đại lượng cần đo Ayc = f(x) Sai số phụ cảm biến đo thường biểu biễn dạng Axp = f(AK), AK sai khác Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 10 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 thái cân tổng hợp lực tác động lên chng khơng Phương trình cân dịch thể P1- P2 = ph Trong đó: (3.15) p - tỷ trọng dịch thể; h - hiệu mức dịch thể chng ngồi chng; Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 27 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Phương trình cân chng: Gc = S (P1- P2) + C1 L Trong đó: (3.16) S - diện tích đáy chng L - độ biến dạng lị xo S Như độ dịch chun chng À = -7- (p i - P2) = K (P1 - P2) tỷ lệ với hiệu áp „ C1 KX ' X z suất chng ngồi chng Các phương pháp đo áp suất 4.1 Các chuyển đổi đo áp suất Khi sử dụng cảm biến đo áp suất phần tử biến dạng ống Buordon, màng rung, màng chắn capsule áp suất cần đo biến đổi thành dịch chuyên Đê chuyên đổi tín hiệu trung gian thành tín hiệu điện, người ta sử dụng chuyên đổi Theo cách chuyên đổi tín hiệu người ta chia chuyên đổi hai loại: - Bộ chuyên đổi chiếp áp điện kế chuyên đổi dịch chuyên phần tử biến dạng thành tín hiệu điện - Bộ biến đổi dịch chuyên phần tử biến dạng thành tín hiệu đo Các chuyên đổi thường dùng chuyên đổi cuộn cảm, biến áp visai, điện dung điện trở - Biến đổi ứng suất thành tín hiệu đo 4.1.1 Bộ biến đồi đo áp suất kiểu điện cảm Cấu tạo nguyên lý hoạt động: chuyên đổi điện cảm cuộn dây quấn lõi thép có khe hở khơng khí: Dưới tác động đại lượng đo Xv có thê tác động lên chuyên đổi theo cách sau: - Làm cho phần ứng di chuyên, khe hở không khí ỗ thay đổi làm thay đổi từ trở lõi thép điện cảm tổng trở chuyên đổi thay đổi - Làm cho tiết diện khe hở khơng khí thay đổi dẫn đến thay đổi điện cảm chuyên Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 28 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 đổi - Làm cho phần ứng di chuyên dẫn đến thay đổi tổn hao dòng điện xoáy làm cho điện cảm chuyên đổi thay đổi Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 29 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 W _ ^2 pS =— = W Điện cảm chuyển đơi: L Hình 2.12: Chuyển đổi điện cảm (bỏ qua điện trở cuộn dây từ trở lõi thép) Trong đó: W số vịng cuộn dây uS Rso=^r s từ trở khe hở khơng khí; ỗ: chiều dài khe hở khơng khí (3.17) g : độ từ thẩm khơng khí; s: tiết diện thực khe hở khơng khí Lượng thay đơi điện cảm có Xv tác động (với W = const ): JJ _ dL dL dL = —— ds + _ >LỈ = W2 Ạ As + W 2—^ S^ A0 0o Oo + A0)2 (3.18) với: S0 ,Ỗ0 : tiết diện khe hở ban đầu (khi chưa có đại lượng đo Xv tác động) Tông trở chuyển đôi: Z = aL = a W2 (3.19) Z = L Wo : hàm tuyến tính với tiết diện khe hở khơng khí s hàm phi tuyến (hypebol) với chiều dài khe hở khơng khí ỗ Lượng thay đơi tơng trở Z có Xv tác động là: Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 30 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 W2 ^0 7S - W2 _ ^°S° 75 (3.20) Ơ0 + AA)2 , 7Z = 0)\L = G) Các đặc tính bản: - Độ nhạy chuyển đổi tiết diện khe hở khơng khí s thay đổi (độ dài khe hở khơng khí ỗ = const): S = 77 = 7" Av (3.21) s L =W p giá trị điện cảm ban đầu chuyển đổi (khi Xv chưa tác động) - Độ nhạy chuyển đổi khe hở khơng khí ỗ thay đổi (tiết diện khe hở khơng khí s = const): Ss = 77 = — = f (7Ổ) Aổ Aò\ °0 + ) °0 (3.22) (1 Như độ nhạy phụ thuộc vào tỉ số Aỗ /ỗ tức phụ thuộc thay đổi tiết diện khe hở khơng khí Aỗ mà khơng phụ thuộc vào diện tích khe hở khơng khí Với chuyển đổi điện cảm dạng đơn Aỗ/ ỗ < 0,2; với chuyển đổi điện cảm mắc kiểu vi sai Aỗ /ỗ P2 nên áp lực tác động lên màng hộp lớn lực tác động lên màng hộp nước tràn từ màng hộp sang màng hộp làm cho hai màng hộp đồng thời biến dạng sinh lực đàn hồi chống lại tác động lực áp suất Khi lực đàn hồi cân với lực áp suất trình dịch chuyển nước dừng lại Độ biến dạng À màng hộp tỷ lệ với áp suất đo Lõiphe rít có vị trí xác định biên áp vi sai Như tín hiệu biến áp vi sai hàm phụ thuộc vào hiệu áp suất P1 - P2 Trong giới hạn làm việc đặc tính chuyển đổi đo hồn tồn tuyến tính Điều kiện chuẩn làm việc chuyển đổi đo 20 0C Khi nhiệt mơi trường thay đổi thể tích nước thay đổi làm cho màng hộp đàn hồi đồng thời biến dạng gây sai số đo Để giảm ảnh hưởng nhiệt độ lên chuyển đổi, chế tạo màng hộp mỏng màng hộp Vì thể tích nước thay đổi làm cho màng hộp biến dạng mà không làm cho màng hộp biến dạng, nghĩa độ biến dạng À không bị ảnh hưởng nhiệt độ khí b) Chuyển đổi sơ cấp đo áp suất có tín hiệu dịng điện chiều Hình 2.15: Chuyển đổi sơ cấp đo áp suất với tín hiệu dịng chiều Ngun lý cấu tạo chuyển đổi đo sơ cấp đo áp suất với tín hiệu dịng điện chiều Cảm biến đo màng đàn hồi 1, chuyển đổi đo hệ thống cân lực học lực điện từ Thanh đòn cân chịu tác động lực học truyền từ màng đàn hồi thơng qua địn thép đồng thời chịu tác động phản hồi lực điện từ thiết bị điện từ sinh Cấu tạo thiết bị điện từ gồm cuộn dây nam châm vĩnh cửu Khi có dịng điện chạy cuộn dây từ trường nam châm vĩnh cửu tác động lực hút lên cuộn dây Lực hút tỷ lệ với cường độ Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 35 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 dòng điện chạy cuộn dây biến áp vi sai có độ chuyển dịch nhỏ (xem mục chuyển đổi đo) Lõi sắt từ biến áp vi sai gắn liên động với đòn cân Chức biến áp vi sai để phát cân lực học lực điện từ Khối (dao động khuếch đại) DĐKĐ khối tạo dao động để sinh điện áp xoay chiều cấp cho cuộn sơ cấp biến áp vi sai khuếch đại chuyển đổi tín hiệu biến áp vi sai thành dịng điện chiều Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 36 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Nguyên lý hoạt động hệ thống sau: Khi có hiệu áp suất P - P2 tác động lên màng đàn hồi làm cho màng đàn hồi biến dạng sinh lực đàn hội chống lại tác động lực áp suất Khi lực đàn hồi cân với lực áp suất trình biến dạng kết thúc Sự biến dạng màng đàn hồi qua đòn thép tác động lên địn cân băng làm cho lệch khỏi vị trí cân Lõi sắt từ biến áp vi sai lệch khỏi vị trí cân làm xuất điện áp đầu Điện áp mạch khuếch đại khuếch đại lên làm thay đổi dòng điện chạy cuộn dây thiết bị điện từ dẫn đến lực điện từ thay đổi tác động ngược trở lại đòn cân nhằm mục đích đưa địn trở vị trí cân Khi đòn cân trở vị trí cân lõi sắt từ biến áp vi sai trở vị trí cân Điện áp biến áp vi sai không Toàn hệ thống đạt trạng thái cân Ta có phương trình cân lực: K1.À = K2.I (3.25) Trong K1 K2 hệ số tỷ lệ, À độ biến dạng màng đàn hồi, I cường đọ dịng điện chạy cn dây thiết bị điện từ dòng điện đầu chuyển đổi Như dòng điện đầu chuyên đổi sơ cấp đo áp suất tỷ lệ với hiệu áp suất đầu vào c, Thiết bị cân áp suất Nguyên lý: tín hiệu đo khuếch đại sau sử dụng để tạo lực F' cân lực lượng đo F tác động đến phần tử đàn hồi, khuếch đại qua khuếch đại thuật toán (KĐTT), giải điều chế cung cấp cho cấu truyền động Dòng điện qua dây cấu tín hiệu thiết bị đo Lực F' xác định bởi: F’ = B.I.l B: độ lớn (3.26) cảm ứng từ l: chiều dài I: dòng điện qua cuộn dây cấu chấp hành Khi cân bằng, F = F' Ps=a I a hệ số Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 37 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Hình 2.16: Thiết bị cân lực đo áp suất Đặc điểm cảm biến đo áp suất dựa cân lực là: Ưu điểm Hạn chế Sai số nhỏ (5.10-6 đến 2.10-4 FS) Khó chế tạo Sai số tuyến tính nhỏ (0.01% FS) Giá thành cao Độ xác cao (10-4FS) Nhạy với rung động Ổn định Bộ định chuẩn áp suất (manometer) gồm hai bình cố định di động nối với thơng qua ống Bình di động nâng lên khí xác tới độ cao mà khối lượng cột thủy ngân cân với áp suất sai lềch bình Độ phân giải đạt 10-2Pa, độ xác ± 10-2Pa Áp suất chân khơng sa sánh Hình 2.17: Ngun lý manometer Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 38 Kỹ thuật đo lường đại lượng không điện Lớp: D14TDH&DKTBCN2 Hình 2.18: Định chuẩn đo áp suất lớn Thiết bị bao gồm piston thẳng đứng xi lanh Vật có khối lượng m tác động lên piston Nếu phía chân khơng, giá trị áp suất p trì piston cân cho cơng thức sau: p=w (3.27) A-e Trong đó: g: trọng lực m: tổng khối lượng phần di động (piston vật) Ae: vùng tác động Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 39 KẾT LUẬN Qua tìm hiểu,học hỏi giúp em hiểu thêm tầm quan trọng thiết bị đo đời sống sản xuất.Thiết bị đo dụng cụ vô quan trọng để giúp đánh giá đo đạt đại lượng cách xác Thơng qua việc làm chuyên đề báo cáo này,giúp em học hỏi nhiều điều.Giúp em biết thêm phân loại thiết bị đo mà sử dụng nhiều lĩnh vực công nghệ theo nguyên lý hoạt động khác nhau,tùy thuộc vào nhiều yếu tố :nhiệt độ ,áp suất đặc tính vật liệu Từhoạt lý báo cáo chuyên đề hiểu rõcô đomang áp liệu suất: nguyên động, sống cấu tạo hàng bên ,cũng vai trị mà lạitừ ngày nguồn khác Sau thời gianem tìm hiểu,tham khảo tài nhiều nhau,cũng thành báo giúp đỡgiúp giảng viên hướng dẫn,em hoàn cáo hoàn chuyên thành đề em xin chân thành cảm ơn nhiệt tình giúp đỡ em báo cáo TÀI LIỆU THAM KHẢO Giáo trình cảm biến Phạm Quốc Phô, Nguyễn Đức Chiến, NXB Khoa học kĩ thuật, 2000 Phạm Thượng Hàn, Nguyễn Trọng Quế, Nguyễn Văn Hòa, Kỹ thuật đo lường đại lượng vật lý, NXB Giáo dục, 2003 Lê Văn Doanh, Phạm Thượng Hàn, Nguyễn Văn Hòa, Võ Thạch Sơn, Đào Văn Tân, Các cảm biến kỹ thuật đo lường điều khiển; NXB Khoa Học Kỹ Thuật, 2001 Các cảm biến kỹ thuật đo lường điều khiển Lê Văn Danh, Phạm Thượng Hàn, Nguyễn Văn Hòa, Võ Thạch Sơn, Đào Văn Tân, NXB Khoa học Kỹ thuật, 2001 Đo lường điều khiển máy tính Ngô Diên Tập, NXB Khoa học Kỹ thuật, 1999 ... áp suất đo áp suất chân khơng Hình 2.1 Cảm biến đo áp suất tuyệt đối Áp suất tương đối áp suất chênh lệch áp suất đo áp suất khí Nhóm 7: Các phương pháp đo áp suất 14 Kỹ thuật đo lường đại lượng... áp suất hai môi trường ý đến nhiều Áp suất toàn phần Pt giá trị áp suất tuyệt đối môi trường Nó có giá trị tổng áp suất dư Pd áp suất khí Pk: Áp suất tuyệt đối áp suất chênh lệch áp suất đo áp. .. thể thạch anh Phương pháp đo áp suất phân loại dựa dải áp suất cần đo: Áp suất trung bình từ 102Pa tới 108Pa Đây dải đo áp suất ứng dụng cơng nghiệp Nguyên lý đo biến đổi áp suất cần đo thành tín