Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon

57 20 0
Nghiên cứu chế tạo và ứng dụng cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc nano silicon

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

Ngày đăng: 08/07/2021, 09:48

Mục lục

  • MỤC LỤC

  • DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT

  • DANH MỤC HÌNH VẼ

  • Phần mở đầu

  • CHƯƠNG 1: Tổng quan

  • I. Lịch sử phát triển cảm biến sinh học (biosensor)

  • II. Cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc của sợi nano (nanowire based biosensors).

  • CHƯƠNG 2: QUI TRÌNH DEA VÀ CÁC KĨ THUẬT DÙNG ĐỂ CHẾ TẠO SỢI NANO SILICON

  • I. Qui trình Deposition and Etching under Angle (DEA) để chế tạo sợi nano silicon

  • II. Các kĩ thuật cơ bản sử dụng trong qui trình DEA

  • II.1. Công nghệ quang khắc

  • II.2. Công nghệ ăn mòn thẳng đứng

  • II.3. Kỹ thuật tạo màng mỏng kim loại dị hướng

  •  Phương pháp bốc bay nhiệt

  •  Phủ bậc thang

  •  Bốc bay chùm tia điện tử

  • II.4. Kỹ thuật ăn mòn dị hướng màng kim loại

  • CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO SỢI NANO SILICON BẰNG PHƯƠNG PHÁP DEA VÀ KẾT QUẢ CHẾ TẠO

  • I. Chế tạo sợi bằng Qui trình DEA

  • II. Kết quả chế tạo

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan