Đang tải... (xem toàn văn)
Thông tin tài liệu
Ngày đăng: 08/07/2021, 09:48
Xem thêm:
Mục lục
MỤC LỤC
DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT
DANH MỤC HÌNH VẼ
Phần mở đầu
CHƯƠNG 1: Tổng quan
I. Lịch sử phát triển cảm biến sinh học (biosensor)
II. Cảm biến sinh học dựa trên cấu trúc của sợi nano (nanowire based biosensors).
CHƯƠNG 2: QUI TRÌNH DEA VÀ CÁC KĨ THUẬT DÙNG ĐỂ CHẾ TẠO SỢI NANO SILICON
I. Qui trình Deposition and Etching under Angle (DEA) để chế tạo sợi nano silicon
II. Các kĩ thuật cơ bản sử dụng trong qui trình DEA
II.1. Công nghệ quang khắc
II.2. Công nghệ ăn mòn thẳng đứng
II.3. Kỹ thuật tạo màng mỏng kim loại dị hướng
Phương pháp bốc bay nhiệt
Phủ bậc thang
Bốc bay chùm tia điện tử
II.4. Kỹ thuật ăn mòn dị hướng màng kim loại
CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO SỢI NANO SILICON BẰNG PHƯƠNG PHÁP DEA VÀ KẾT QUẢ CHẾ TẠO
I. Chế tạo sợi bằng Qui trình DEA
II. Kết quả chế tạo
Tài liệu cùng người dùng
Tài liệu liên quan