Phương pháp phún xạ

Bài giảng phương pháp phún xạ

CÁC PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ Lê Trấn NGƯỜI TRÌNH BÀY: Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Địa chỉ bạn đã tải: http://mientayvn.com/Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu/Semina%20tren%20lop/seminar.html Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Nơi bạn có thể thảo luận: http://myyagy.com/mientay/ Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dịch tài liệu trực tuyến miễn phí: http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Dự án dịch học liệu mở: http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.html Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Liên hệ với người quản lí trang web: Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.com Gmail: frbwrthes@gmail.com Trong phún xạ, năng lượng được chuyển từ ion tới đến nguyên tử target, Tại sao sử dụng phương pháp phún xạ? Phún xạ có độ đồng điều trên diện tích lớn Dễ kiểm soát thành phần hợp chất Bề mặt target được rửa trước khi lắng đọng màng, nhằm tẩy các tạp chất bẩn trên bề mặt Hạn chế: quá trình lắng đọng ở chân không trung bình có thể làm tăng tạp hơn quá trình bốc bay. Phún xạ phá vở liên kết giữa các nguyên tử, bứt những nguyên tử ra khỏi target Điều khiển nguồn ion Khí trơ được chuyển thành plasma để hoạt động như nguồn ion Điều khiển nguồn ion plasma bằng cách cung cấp năng lượng cho chùm ion Target: Có độ nguyên chất cao là cần thiết Kích thước phải lớn hơn kích thước của đế để màng có độ đồng đều cao Nước làm nguội phía sau target Điều kiện cần cho phún xạ Chúng ta cần gì? Chúng ta cần gì?  Chúng ta cần Chúng ta cần  Môi trường của hạt ion hóa (Plasma) Môi trường của hạt ion hóa (Plasma)  tạo ra plasma tạo ra plasma  gia tốc ion và điện tử gia tốc ion và điện tử  plasma là trạng thái thứ 4 của vật chất plasma là trạng thái thứ 4 của vật chất  Chứa các ion di chuyển tự do Chứa các ion di chuyển tự do  Cả hạt mang điện âm và dương Cả hạt mang điện âm và dương  Các nguyên tử ở trạng thái kích thích, năng lượng của chúng ở trạng thái cao, bán bền  Hạt nhân (do các phân tử bò đứt liên kết)  plasma có được khi năng lượng đủ cao plasma có được khi năng lượng đủ cao  Hạt năng lượng cao sử dụng trong phún xạ được sản sinh bởi phóng điện  p thế cao dc ngang qua khí loảng gây ra phóng điện Sản sinh plasma Cái gì là cơ chế chuyển khí cách điện thành môi trường dẫn điện? Phóng điện Bứt những nguyên tử bề mặt nhiều nhất trong khi giảm tối đa những ion cấy vào target Dẫn điện trong môi trường khí  Những vùng dẫn điện khác nhau trong môi trường khí  Hai vùng quan trọng  phóng điện Townsend  Phóng điện phát sáng Phóng điện Townsend  Điện tử phân tán từ cathode được gia tốc hướng đến anode  Điện tử có năng lượng đủ, va chạm với các nguyên tử khí trung hòa (A)  Khoảng cách giữa hai điện cực phải đủ lớn cho phép điện tử duy trì đủ năng lượng  Cathode phải đủ rộng để ngăn cản sự mất mát điện tử  Chuyển đổi khí trung hòa thành ion dương (A + )  Hai điện tử được giải phóng e - + A  2e - + A +  Các hạt mang điện được nhân lên theo cấp số nhân  Quá trình này được gọi là phóng điện Townsend  i 0 là dòng ban đầu  Mối liên hệ này liên quan đến dòng điện tích tăng đột biến do sản sinh điện tử thứ cấp  α đặc trưng cho xác suất ion hóa mỗi đơn vò chiều dài, phụ thuộc áp suất, điện trường và năng lượng ion hóa  γ đặc trưng cho bức xạ điện tử thứ cấp  Thác lũ xảy ra khi mẫu số làzero d 0 d e i i [1 (e 1)] α α = − γ − Mối liên hệTownsend . điện được duy trì.  Dòng này phụ thuộc tuyến tính vào độ mạnh của nguồn phún xa, dòng bão hòa khi các hạt mang điện đều đạt đến các điện cực.ï  C – E: