NGHIÊN cứu một số yếu tố CHÍNH ẢNH HƯỞNG đến sự HÌNH THÀNH lớp THẤM n BẰNG PHƯƠNG PHÁP THẤM n PLASMA XUNG

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI HOÀNG VĨNH GIANG NGHIÊN CỨU MỘT SỐ YẾU TỐ CHÍNH ẢNH HƯỞNG ĐẾN SỰ HÌNH THÀNH LỚP THẤM N BẰNG PHƯƠNG PHÁP THẤM N PLASMA XUNG LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Hà Nội – 2015 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI HOÀNG VĨNH GIANG NGHIÊN CỨU MỘT SỐ YẾU TỐ CHÍNH ẢNH HƯỞNG ĐẾN SỰ HÌNH THÀNH LỚP THẤM N BẰNG PHƯƠNG PHÁP THẤM N PLASMA XUNG Chuyên ngành : Kim loại học Mã số : 62440129 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS.TS Nguyễn Văn Tư Hà Nội – 2015 LỜI CÁM ƠN Tôi xin chân thành cám ơn PGS TS Nguyễn Văn Tư người Thầy tận tình hướng dẫn, động viên, góp ý giúp tơi suốt q trình thực luận án Tơi xin chân thành cảm ơn tồn thể Bộ mơn Vật liệu học, Xử lý nhiệt Bề mặt, nhiệt tình giúp đỡ tôi, xin cám ơn Viện Khoa học Kỹ thuật Vật liệu, Viện Đào tạo sau đại học tạo điều kiện thuận lợi cho tơi q trình thực luận án Xin cám ơn ơn đồng nghiệp, lãnh đạo Viện Công Nghệ tạo điều kiện thuận lợi để thực luận án Và xin cám ơn bạn bè, gia đình ln động viên khích lệ tơi suốt q trình thực luận án Hà Nội, ngày 23 tháng 10 năm 2015 Nghiên cứu sinh Hoàng Vĩnh Giang LỜI CAM ĐOAN Tơi xin cam đoan: Luận án cơng trình nghiên cứu cá nhân, thực hướng dẫn khoa học PGS.TS Nguyễn Văn Tư Các số liệu, kết luận nghiên cứu trình bày luận án trung thực chưa cơng bố hình thức Tơi xin chịu trách nhiệm nghiên cứu NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS.TS Nguyễn Văn Tư Hà Nội, ngày 23 tháng 10 năm 2015 NGHIÊN CỨU SINH Hoàng Vĩnh Giang MỤC LỤC Hà Nội, ngày 23 tháng 10 năm 2015 iii Nghiên cứu sinh iii Hoàng Vĩnh Giang iii LỜI CAM ĐOAN iv Tôi xin cam đoan: Luận án cơng trình nghiên cứu cá nhân, thực hướng dẫn khoa học PGS.TS Nguyễn Văn Tư iv Các số liệu, kết luận nghiên cứu trình bày luận án trung thực chưa công bố hình thức iv Tơi xin chịu trách nhiệm nghiên cứu iv Hà Nội, ngày 23 tháng 10 năm 2015 iv NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC iv PGS.TS Nguyễn Văn Tư iv NGHIÊN CỨU SINH iv Hoàng Vĩnh Giang iv MỤC LỤC i DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ TỪ VIẾT TẮT iv DANH MỤC CÁC BẢNG v DANH MỤC CÁC HÌNH vi GIỚI THIỆU LUẬN ÁN CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN 1.1 Plasma sử dụng công nghệ thấm nitơ plasma 1.1.1 Khái niệm plasma 1.1.2 Plasma phóng điện phát sáng 1.1.3 Đặc tính N2-H2 plasma q trình thấm nitơ plasma 1.1.3.1 Plasma N2-H2 sử dụng thấm nitơ plasma 1.1.3.2 Cấu trúc ion vùng catốt 10 1.1.4 Một số tượng xảy trình thấm nitơ plasma 11 1.1.4.1 Hiện tượng khuếch đại plasma 11 1.1.4.2 Hiện tượng hồ quang 13 1.2 Công nghệ thấm nitơ plasma 14 1.2.1 Lịch sử phát triển 14 1.2.1.1 Công nghệ thấm Nitơ plasma 14 1.2.1.2 Thấm nitơ sau phóng điện (PDN) 15 1.2.1.3 Thấm nitơ chủ động ASPN 16 1.2.2 Nguyên lý công nghệ thấm Nitơ plasma 16 1.2.2.1 Các tương tác trình thấm 16 1.2.2.2 Cơ chế thấm nitơ plasma 17 1.2.3 Quá trình hình thành lớp thấm nitơ plasma 20 1.2.3.1 Quá trình vận chuyển N từ mơi trường thấm đến bề mặt vật thấm 20 1.2.3.2 Quá trình vận chuyển nitơ từ bề mặt vào bên vật thấm 23 1.2.4 Các thơng số cơng nghệ thấm nitơ plasma 26 1.2.4.1 Chu trình thấm nitơ plasma 26 1.2.4.2 Các thơng số cơng nghệ 27 1.3 Tình nghiên cứu thấm nitơ plasma cho thép SKD61 31 1.3.1 Trên giới 31 1.3.2 Tình hình nghiên cứu Việt Nam 34 1.4 Kết luận 34 Chương 2: THIẾT BỊ VÀ PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 36 2.1 Thiết bị 36 i 2.2 Thiết bị đo kiểm tra 37 2.3 Vật liệu sử dụng nghiên cứu 39 2.3.1 Thành phần hóa học thép phương pháp chuẩn bị mẫu 39 2.3.2 Các loại vật liệu phụ 40 2.4 Phương pháp nghiên cứu thực nghiệm 40 2.4.1 Nghiên cứu ảnh hưởng thơng số cơng nghệ đến hình thành đặc tính lớp thấm 40 2.4.1.1 Sơ đồ thực nghiêm tổng quát 40 2.4.1.2 Các thơng số cơng nghệ 41 2.4.1.3 Bố trí xếp mẫu thí nghiệm 42 2.4.1.4 Quy hoạch thực nghiệm phương pháp Taguchi 42 2.4.1.5 Phương pháp xác định chiều sâu lớp thấm, chiều dày lớp trắng 44 2.4.2 Nghiên cứu ảnh hưởng số thông số công nghệ đến chiều dày plasma hình thành khuếch đại plasma 45 2.4.2.1 Thực nghiệm trình hình thành khuếch đại plasma đo chiều dày plasma 45 2.4.2.2.Thí nghiệm khuếch đại plasma ống rổng có đường kính khác 47 2.4.2.3 Xây dựng phương trình tính toán chiều dày plasma 47 Chương 3: KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU VÀ GIẢI THÍCH 49 3.1 Ảnh hưởng thơng số cơng nghệ đến hình thành lớp thấm 49 3.1.1 Ảnh hưởng thông số công nghệ đến cấu trúc lớp thấm 49 3.1.2 Ảnh hưởng thông số công nghệ đến chiều dày lớp trắng 58 3.2 Ảnh hưởng thông số công nghệ lên chiều sâu lớp thấm 64 3.2.1 Đánh giá ảnh hưởng thông số lên chiều sâu lớp thấm 64 3.2.2 Ảnh hưởng nhiệt độ thời gian đến chiều sâu lớp thấm 67 3.2.3 Xây dựng phương trình thực nghiệm tính tốn chiều sâu lớp thấm 72 Trong khoảng nghiên cứu, thành phần áp suất không ảnh hưởng đến chiều sâu lớp thấm 77 3.3 Ảnh hưởng thông số công nghệ lên phân bố độ cứng lớp thấm 77 3.3.1 Ảnh hưởng thông số công nghệ lên độ cứng tối đa 78 3.3.2 Ảnh hưởng thông số công nghệ lên lớp cứng d900 79 3.4 Kiểm nghiệm kết thực nghiệm Taguchi 80 3.5 Ảnh hưởng số thơng số cơng nghệ đến khuếch đại plasma trình thấm N plasma 85 3.5.1 Điều kiện hình thành khuếch đại plasma 85 3.5.1.1 Khuếch đại plasma cố định khoảng cách catot thay đổi áp suất 85 3.5.1.2 Khuếch đại điều kiện khoảng cách áp suất khác 87 3.5.2 Ảnh hưởng thơng số cơng nghệ đến chiều dày plasma 88 Các thơng số liên quan đến hình thành lớp thấm phân tích phần bao gồm thành phần, áp suất khí thấm, nhiệt độ thời gian thấm Liên quan đến khuếch đại plasma, thời gian loại trừ, cịn lại thơng số Khuếch đại plasma liên quan mật thiết đến chiều dày plasma, ảnh hưởng thơng số lên chiều dày plasma nghiên cứu tiếp Tuy nhiên thực tế tiến hành thấm nitơ, khơng có nhiều lựa chọn cho nhiệt độ thành phần khí thấm nhiệt độ gần xác định vật liệu thấm, thành phần khí thấm lựa chọn dựa vào yêu cầu tổ chức lớp thấm Cịn lại áp suất thơng số cơng nghệ lựa chọn, tùy thuộc vào kích thước hình học xếp vật thấm lị, thông số nghiên cứu kỹ Mặc dầu vậy, để có ii nhìn tổng qt tương khuếch đại plasma, nghiên cứu ảnh hưởng thành phần khí nhiệt độ đến chiều dày plasma 89 3.5.2.1 Ảnh hưởng áp suất đến chiều dày plasma 89 3.5.2.2 Ảnh hưởng thành phần khí nhiệt độ đến chiều dày plasma 90 3.5.3 Ứng dụng kết thực nghiệm khuếch đại plasma thực tế 91 3.5.3.2 Xây dựng vùng hình thành khuếch đại plasma tương quan với chiều dày plasma, áp suất khoảng cách catôt 93 3.5.3.3 Ứng dụng tượng khuếch đại plasma thấm hợp kim Ti 95 3.5.4 Kết luận 96 KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG NGHIÊN CỨU TIẾP 97 NHỮNG ĐÓNG GÓP MỚI CỦA LUẬN ÁN 99 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 100 TÀI LIỆU THAM KHẢO 101 PHỤ LỤC 107 iii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU VÀ TỪ VIẾT TẮT Danh mục chữ viết tắt Cr Nguyên tố Crôm C Nguyên tố Các – bon Ni Nguyên tố Niken Mo Nguyên tố Mô-lip-đen V Nguyên tố Va-na-đi Fe Nguyên tố Sắt N Nguyên tố Nitơ NH3 Nguyên tố amơniắc N2 Khí Nitơ H2 Khí Hyđrơ Ar Khí Acgơng R Hằng số khí lý tưởng Feα(C,N) Dung dịch rắn hóa tan C N sắt α DCPN Phương pháp DCPN (Direc current plasma nitriding) ASPN Phương pháp ASPN (Active screen plasma nitriding) PDN Phương pháp PDN (Post discharged nitriding) PPN Phương pháp PPN (Pulsed plasma nitriding) EDX Phổ phân tán tia X theo lượng (Energy dispersive spectroscopy) SEM Hiển vi điện tử quét (Scanning electron microsope) XRD Nhiễu xạ tia X OES Quang phổ phát xạ quang học (Optical emission spectrometter) Các ký hiệu (aN) Hoạt độ nitơ môi trường thấm α Pha ferit γ Pha austenit γ’ Nitơrit sắt (Fe4N) ε Nitơrit sắt (Fe2-3N) HV0,1 Độ cứng tế vi tải trọng 100g HV0,3 Độ cứng tế vi tải trọng 300g D Hệ số khuếch tán Q Năng lượng hoạt hóa T Nhiệt độ V Thể tích o C Đơn vị nhiệt độ (tính theo độ Celcius) o K Đơn vị nhiệt độ (tính theo độ Kelvin) Ko Hằng số tốc độ thấm cực đại Q = K Hằng số tốc độ thấm Khd Hằng số tốc độ thấm hiệu dụng Ktb Hằng số tốc độ thấm toàn khd Hệ số nhiệt độ thấm hiệu dụng ktb Hệ số nhiệt độ thấm toàn k Hệ số nhiệt độ thấm dhd Chiều sâu lớp thấp hiệu dụng dtb Chiều sâu lớp thấm tồn SN Tỉ số tín hiệu tiếng ồn iv DANH MỤC CÁC BẢNG Bảng 1.1 Ảnh hưởng số thông số công nghệ lên mật độ dòng [96] Bảng 1.2 Phân bố % ion đến catôt, áp suất 800 Pa [93] 10 Bảng 1.3: Ảnh hưởng số thông số công nghệ thấm đến lớp thấm [105] 28 Bảng 1.4 Ảnh hưởng thành phần khí thấm đến thành phần lớp trắng [11, 69] 30 Bảng 1.5 Tổng hợp số kết nghiên cứu giới 33 Bảng 2.1: Thành phần mẫu thép thí nghiệm 39 Bảng 2.2 Điện áp sử dụng thấm áp suất nhiệt độ khác 42 Bảng 2.3 Quy hoạch thực nghiệm Taguchi L9 43 Bảng 2.4 Điện áp áp suất khác 46 Bảng 3.1 Kết thực nghiệm xác định chiều dày lớp trắng 59 Bảng 3.2 Giá trị tỷ số SN mức ảnh hưởng thông số đến chiều dày lớp trắng 59 Bảng 3.3 Xếp hạng mối liên quan chiều dày lớp trắng thông số 60 Bảng 3.4 Chiều dày lớp trắng với thành phần khí thấm khác 200 Pa 400 Pa 62 Bảng 3.5 Chiều dày lớp trắng với thành phần khí thấm khác 600Pa 63 Bảng 3.6 Kết thực nghiệm xác định chiều sâu lớp thấm 64 Bảng 3.7 Tỷ SN xếp hạng mức độ ảnh hưởng thơng số lên chiều sâu tồn 65 Bảng 3.8 Tỷ số SN mức độ ảnh hưởng thông số lên chiều sâu lớp thấm hiệu dụng 65 Bảng 3.9 Chiều sâu lớp thấm toàn dtb1 với thành phần khí thấm mức (30%N2) 68 Bảng 3.10 Chiều sâu lớp thấm toàn dtb2 với thành phần khí thấm mức (20%N2) 68 Bảng 3.11 Chiều sâu lớp thấm toàn dtb3 với thành phần khí thấm mức 3(10%N2) 69 Bảng 3.12 Chiều sâu lớp thấm hiệu dụng dhd với thành phần khí thấm mức 1(30%N2) 70 Bảng 3.13 Chiều sâu lớp thấm hiệu dụng khd với thành phần khí thấm mức (20%N2) 71 Bảng 3.14 Chiều sâu lớp thấm hiệu dụng khd3 với thành phần khí thấm mức (10%N2) 72 Bảng 3.15 Tổng hợp hệ số nhiệt độ thấm toàn điều kiện thấm khác 72 Bảng 3.16 Tổng hợp hệ số nhiệt độ thấm hiệu dụng điều kiện thấm khác 73 Bảng 3.17 Giá trị ktb Ktb phụ thuộc vào nhiệt độ với chiều sâu tồn 74 Bảng 3.18 Tính tốn giá trị số Kotb 75 Bảng 3.19 Quan hệ khd,Khd thuộc vào nhiệt độ với chiều sâu hiệu dụng 76 Bảng 3.20 Tính tốn giá trị số Kohd 76 Bảng 3.21 Kết đo độ cứng tế vi lớp thấm HV0.1 78 Bảng 3.22 Kết thực nghiệm xác định độ cứng tối đa 78 Bảng 3.23 Tỷ số SN xếp hạng ảnh hưởng thông số lên độ cứng tối đa 79 Bảng 3.24 Kết xác định chiều sâu lớp cứng d900 79 Bảng 3.25 Tỷ số SN xếp hạng ảnh hưởng lên chiều sâu lớp cứng d900 80 Bảng 3.26 Dự đoán chiều dày lớp trắng 81 Bảng 3.27 Ảnh hưởng đường kính lỗ rỗng áp suất bắt đầu (Pbđ) áp suất kết thúc (Pkt) khuếch đại plasm 87 Bảng 3.28 Ảnh hưởng áp suất tới chiều dày plasma áp suất p (nhiệt độ 520 oC, khí 75 % H2 + 25 % N2) 89 Bảng 3.29 Ảnh hưởng thành phần khí nhiệt độ đến chiều dày plasma (p = 250 Pa) 90 Bảng 3.30 Kết chiều dày plasma 1/p (nhiệt độ 520 oC, khí 75 % H2 + 25 % N2) 92 v DANH MỤC CÁC HÌNH Hình 1.1 Quan hệ điện áp dịng (đường cong Paschen) [11, 27] Hình 1.2 Cấu trúc phân bố điện áp plasma [89] Hình 1.3 Quan hệ điện áp với áp suất sử dụng thấm nitơ plasma [107] Hình 1.4 Quan hệ điện – dòng với áp suất khác [36] Hình 1.5 Các khả xảy thấm Nitơ plasma [36] 12 Hình 1.6 Vùng khuếch đại plasma với áp suất kích thước khe hở [69] 12 Hình 1.7 Mơ tả phóng điện hồ quang [36] 13 Hình 1.8 Sơ đồ nguyên lý thấm Nitơ plasma(DCPN, PPN) [73] 14 Hình 1.9 Sơ đồ nguyên lý thấm nitơ sau phóng điện PDN [73] 15 Hình 1.10 Sơ đồ nguyên lý ASPN [73] 16 Hình 1.11 Các tương tác trình thấm nitơ plasma [83] 17 Hình 1.12 Cơ chế thấm theo mơ hình Kolbel [11, 27, 93] 19 Hình 1.13 Các vận chuyển nitơ vào bề mặt lớp thấm [36] 19 Hình 1.14 Sơ đồ mơ tả hình thành lớp thấm nitơ plasma [106] 22 Hình 1.15 Sơ đồ hình thành lớp thấm [33] 23 Hình 1.16 Giản đồ pha Fe-N [53] 23 Hình 1.17 Ảnh hưởng số nguyên tố hợp kim đến độ cứng lớp thấm [53] 25 Hình 1.18 Ảnh hưởng nguyên tố hợp kim đến chiều sâu lớp thấm [539] 25 Hình 1.19 Ảnh hưởng trình nhiệt luyện đến độ cứng chiều sâu lớp thấm (thấm nitơ plasma520oC/8h, thép En29B) [53] 26 Hình 1.20 Quy trình thấm nitơ plasma điển hình 27 Hình 1.21: Chiều dày lớp trắng, 530oC, thép 3%Cr-Mo-V 29 Hình 2.1: Thiết bị NITRION PN60 hiển thị chế độ thí nghiệm 36 Hình 2.2 Lị tơi chân khơng Treater M 36 Hình 2.3 Can nhiệt loại K đo nhiệt độ 37 Hình 2.4 Hệ thống thiết bị đo lưu lượng khí bao gồm Mass Flow Controller MK 37 Hình 2.5 Thiết bị đo áp suất 37 Hình 2.6 Kính hiển vi quang học NIKON (a) máy đo độ cứng tế vi FM-700e (b) 38 Hình 2.7 Máy quang phổ phát xạ nguyên tử ARL3460 38 Hình 2.8.Thiết bị nhiễu xạ tia X (D5005) 38 Hình 2.9 Hiển vi điện tử quét (SEM) 39 Hình 2.10 Các mẫu thí nghiệm 40 Hình 2.11 Sơ đồ thực nghiệm ảnh hưởng thơng số đến hình thành lớp thấm 41 Hình 2.12 Bố trí mẫu thí nghiệm buồng lị 42 Hình 2.13 Sơ đồ thí nghiệm khuếch đại plasma 45 Hình 2.14 Khuếch đại plasma với mẫu cách cố định 45 Hình 2.15 Xác định chiều dày plasma dc 47 Hình 2.16 Sắp xếp mẫu buồng thấm 47 Hình 3.1 Tổ chức nitơ plasma lên thép SKD61 49 Hình 3.2 Nhiễu xạ tia X mẫu M3 (30%N2 +70%H2/600Pa/550oC/9h) 50 Hình 3.3 Nhiễu xạ tia X mẫu M3 góc hẹp 1º GXRD mẫu M 50 Hình 3.4 Nhiễu xạ tia X góc hẹp 5º mẫu M3 51 Hình 3.5 Ảnh SEM mẫu M3 51 Hình 3.6 Điểm phân tích số mẫu M3( hình 3.5) 52 Hình 3.7 Điểm phân tích số mẫu M3( hình 3.5) 52 Hình 3.8 Điểm phân tích số mẫu M3(hình 3.5) 52 Hình 3.9 Điểm phân tích số mẫu M3 (hình 3.5) 53 Hình 3.10 Ảnh SEM mẫu M3 (lớp khuếch tán) 53 vi DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ CỦA LUẬN ÁN Hồng Vĩnh Giang, Nguyễn Văn Tư, Ngơ Bảo Trung (2013), Kiểm sốt số thơng nghệ để loại trừ khuếch đại plasma thấm N plasma, Tạp chí Cơ Khí số 10, trang 10-14 Hoang Vinh Giang, Nguyen Van Tư, Ngo Bao Trung (2014), Avoiding the hollow cathode formation and the optimising loading make plasma nitriding more attractive technology, ISEPD 2014,Part B, page 203-206 Hoàng Vĩnh Giang, Nguyễn Văn Tư (2014), Khảo sát ảnh hưởng số thơng số cơng nghệ đến đặc tính lớp thấm nitơ plasma thép SKD61 thiết bị Nitrion, Tạp chí Khoa học công nghệ Kim loại số 57, trang 32-37 Nguyễn Phi Trung, Nguyễn Tiến Tài, Hồng Vĩnh Giang, Ngơ Bảo Trung, Hoàng Anh Tuấn (2015), Nghiên cứu chế tạo xử lý nhiệt luyện hợp kim đúc bền nóng mác B5, Tạp chí Cơ Khí số 5, trang 90-96 100 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] Hoàng Minh Thuận (2012), Nghiên cứu lựa chọn số thông số công nghệ thấm N plasma cho thép 40CrMo, Luận án tiến sĩ trường Đại học nơng nghiệp Hà Nội [2] Hồng Vĩnh Giang, Hoàng Minh Thuận, Nguyễn Văn Chương, Đào Quang Kế, Hoàng Văn Châu, Lục Vân Thương (2010), Nghiên cứu ứng dụng công nghệ thấm nitơ plasma để thấm số khuôn kim loại, Báo cáo tổng hợp kết khoa học cơng nghệ đề tài mã số KC.02.14/06-10 [3] Hồng Vĩnh Giang, Lục Vân Thương, (2010), Thấm nitơ plasma cho thép dụng cụ bền nóng SKD61, Tạp chí Cơ khí Việt Nam số 01 + 02 (tháng năm 2010), pp 57-59 [4] Hoàng Vĩnh Giang, Lục Vân Thương, Hoàng Minh Thuận (2010), Ứng dụng công nghệ thấm nitơ plasma cho số chi tiết máy chế tạo từ hợp kim crơm, Tạp chí Cơ khí Việt Nam số 05, pp 15-17 [5] Lục Vân Thương (2007), Nghiên cứu ứng dụng thấm N plasma nhiệt độ thấp cho số chi tiết máy, Đề tài cấp Bộ Công Thương 2007 [6] Nguyễn Phi Trung, Nguyễn Tiến Tài, Hoàng Vĩnh Giang, Ngơ Bảo Trung, Hồng Anh Tuấn (2015), Nghiên cứu chế tạo xử lý nhiệt hợp kim đúc bền nóng mác B5, Tạp chí Cơ khí Việt Nam số 05 (tháng 5/2015), pp 90-95 [7] Nguyễn Văn Hiển, Lê Thị Chiều (2007), Tạo lớp thấm C-N với pha hoá bền phân tán cho thép dụng cụ SKD61 SKD11 mơi trường lỏng nhiệt độ thấp, Tạp chí khoa học công nghệ kim loại số 10, 2/2007 [8] Nguyễn Văn Tư (1999), Xử lý bề mặt, Trường Đại học Bách khoa Hà Nội [9] Nguyễn Văn Tư, Lê Thị Chiều (2007), Vai trò nhiệt luyện thấm N đến tuổi thọ khuôn đùn ép nhôm SKD61, Tạp chí khoa học cơng nghệ số 2/2007 [10] PGS TS Lê Văn Hiếu (2010), Các phương pháp chẩn đoán plasma, Trường Đại học khoa học tự nhiên Hồ Chí Minh Tài liệu tiếng nước ngồi [11] Alois Holemar (1989), Inotova nitridace V Praxi, SNTL Praha [12] A Margulis, J Jolly (1989), Spectroscopic diagnostic of the plasma in the cathode region of a nitrogen glow discharge, Revue Phys Appl 24(1989), pp 323-329 [13] Andrea Szilagyine Biro (2013), Trends of nitriding processes, Production processes and systems, Vol (2013), no 1, pp 57-66 [14] Annemie Bogaerts, Erik Neyts, Renaat Gijbels, Joost van der Mullen (2002), Gas discharge plasmas and their applications, Spectrochimica Acta Part B 57 (2002), pp 609-658 [15] Annemie Bogaerts, Renaat Gijbels (1998), Fundamental aspects and applications of glow discharge spectrometric techniques, Spectrochimica Acta Part B 53, pp 1-42 [16] A R Franco Jr, C E Pinedo, A P Tschiptschin (2006), Influence of the plasma prenitriding surface treatment on wear and adhesion of PVD/TIN coating for the hot work tool steel AISI H13, pp 457-463, 7th Tooling conference [17] A Ricard (1989), Discharges in N2 flowing gas for steel surface nitriding, Revue Phys Appl 24, pp 251-256 [18] A Ricard (1997), The production of active plasma species for surface treatments, J Phys D: Appl Phys 30, pp 2261-2269 [19] A Sololowska, J Rudnicki, P Beer, L Maldzinski, J Tacikowski, J Baszkiewicz (2001), Nitrogen transport mechanism in low temperature ion nitriding, Surface and coatings technology 142-144 (2001), pp 1040-1045 [20] A Szasz, D J Fabian, A Hendry, Z Szaszne-Csih (1989), Nitriding of stainless steel in an rf plasma, Journal applied physics 66 (11), December 1989, pp 5598-5601 101 [21] B Ganguli (2011), High density plasma beam source for nitriding, Indian Journal of Pure & Applied Phyisics Vol 49, November 2011, pp 759 -764 [22] Bojan Podgornik, Jozef Vizintin (2003), Wear resistance of plasma and pulse plasma nitrided gears, www.geartechnology.com Gear technology March/April 2003 [23] Brian Chapman (1980), Glow Discharge Processes sputtering and plasma etching, A Wiley-interscience Publication John Wiley & Son, New York [24] Carlos E Pinedo, Waldemar A Monteiro (2004), On the kinetics of plasma nitriding a martensitic stainless steel type AISI 420, Surface and coatings technology 179 (2004), pp 119-123 [25] C X Li, T Bell, H Dong (2002), A study of active screen plasma nitriding, Surface Engineering, vol 18, no 3, pp 174–181 [26] C Zhao, C X Li, H Dong, T Bell (2006), Study on the active screen plasma nitriding and its nitriding mechanism, Surface & Coatings Technology 201 (2006), pp 2320-2325 [27] David Pye (2003), Practical Nitriding and Ferritic Nitrocarburizing, Google book 2003, ASM International [28] David Pye (2009), The power of pulsed plasma ion nitriding, Heat Treating Progress, July/August 2009, pp 37-40 [29] DIN 50190 Hardness depth of heat-treated parts; determination of the effective depth of hardening after nitriding [30] E A Ochoa, D Wisnivesky, T Minea, M Ganciu, C Tauziede, P Chapon, F Alvarez (2009), Microstructure and properties of the compound layer obtained by pulsed plasma nitriding in steel gears, Surface & coatings technology 203 (2009), pp 14571461 [31] E J Miola, S D de Souza, M Olzon-Dionysion, D Spinelli, C A dos Santos (1999), Nitriding of H12 tool steel by direct-current and pulsed plasma, Surface and coatings technology 116-119 (1999), pp 347-351 [32] E J Miola, S D de Souza, M Olzon-Dionysion, D Spinelli, M R F Soares, M A Z Vasconcellos, C A dos Santos (1998), Near-surface composition and microhardness profile of plasma nitrided H12 tool steel, Materials science and engineering A256, pp 60-68 [33] E J Mittemejije (2013), Fundamentals of Nitriding and Nitrocarburizing, ASM Handbook, Vol 4A, Steel Heat Treating Fundamentals and Processes, pp 620-646 [34] Elisangela Aparecida dos Santos de Almeida, Juslio César Giubilei Milan, César Edil da Costa (2015), Acquired Properties Comparison of Solid Nitriding, Gas Nitriding and Plasma Nitriding in Tool Steels, Materials Research 2015; 18(1), pp 27-35 [35] E Rolinski, Alex Konieczny, G Sharp (2007), Influence of Nitriding Mechnisms on Surface roughness of Plasma and Gas Nitrided/Nitrocarburized Gray Cast Iron, Heat Treating Progress, pp 39 – 46 [36] Edward Rolinski (2009), Electrical discharge in gases and principles of ion nitriding, First edition, Advanced heat treat corp [37] F Montalvo, E Velasco, A Canales (2012), Improving Microstructure of AISI H13 Extruding Dies Using Ion Nitriding, Light Metals 2012, pp 481 – 485 [38] Francis William Aston (1907), Expiriments on the Lengths of the Cathode Dark Space with Varying Current Densities and Pressures in Different Gases, rspa.royalsocietypublishing.org, 14th Oct, 2013 [39] Fukuhisa Matsuda, Kazukiro Nakata, Takashi Makishi (1987), Rapid plasma nitriding process by means of hollow cathode glow discharge, Transactions of JWRI, Vol 16, No 1, pp 139-144 102 [40] George E Totten, Hong Liang (2003), Surface Modification and Mechanisms, Marcel Dekker, Inc, USA [41] G Kugler, R Turk, T Vecko-Pirtovsek, M Tercelj (2006), Wear beahaviour of nitrided microstructures of AISI H13 dies for hot extrusion of aluminium, Metalurgija 45 (2006) 1, pp 21-29 [42] Handan Baycik (2009), The study of phase structures and surface hardness values of ion nitrided AISI H13 steel under various temperatures, Technology, 12(2), 2009, pp.79-86 [43] H Paschkea, M Webber, G Braeuer, F Yilkiran, B-A Behrens, H Brand (2013), Optimized plasma nitriding processes for efficient wear reduction of forging dies, Metal Matters, issue 29, 2013 [44] H Paschkea, M Webber, G Braeuer (2010), Influence of different plasma nitriding treatment on wear and crack behavior of forging tools evaluated by Rockwell indentation on scratch tests, Surface and Coating Technology Vol 205 Issue 5, pp 1465 – 1469 [45] Insup Lee, Ikmin Park (2006), The effect of processing temperature and time on the surface properties of plasma-radical nitrided SKD61 steel, Journal of ceramic processing research, Vol 7, No 2, pp 132-135 [46] James M O’Brien, O’Brien (1991), Plasma (Ion) Nitriding, ASM Handbook Vol.4 Heat Treating, 1991, pp 944 – 995 [47] J Bernal, A Medina, L Béjar, S Rangel, A Juanico (2011), A diffusion model for coefficient identification during growth of nitrides, International journal of mathematical models and methods in applied sciences, Issue 2, Vol.5 [48] J C Díaz-Guillén, A Campa Castilla, S I Pérez-Aguilar, E E Granda- Gutiérrez, A Garza-Gomez, J Candelas-Ramírez, R Méndez-Méndez (2009), Effect of duty cycle on surface properties of AISI 4340 using a pulsed plasma nitriding process, Superficies y Vacío 22(1), 2009, pp 1- [49] J C Diaz-Guillen, G Vargas-Guitierrez, E E Granda-Guiterrez, J.S ZamarripaPina, S.I Perez-Aguilar, J Candelas-Ramirez, L Alvarez-Contreas (2013), Surface properties of Fe4N compounds layer on AISI 4340 steel modified by pulsed plasma nitriding, Journal of Materials Science & Technology 2013 29 (3), pp 287-290 [50] Jerzy Cieslik, Philipe Jacquet, Brahim Tlili, Hubert Mulin (2011), Decrease of compound layer thickness obtained in plasma nitriding of allloyed steels by diffusion stage, Journal of Materials science and engineering A (2011), pp 974-980 [51] Jose Solis Romero, Joaquin Oseguera Pena (2010), Tribological behaviour of a plasma nitrided H13 tool steel, Memorias del XVI congreso internacional annual de la somim 22 [52] J Walkowicz, J Staskiewicz, K Szafirowicz, D Jakrzewski, G Grzesiak, M Stepniak (2012), Optimization of the ASPN process to bright nitriding of woodworking tools using the Taguchi approach, Jounal of Materials Engineering and Perfomance [53] K-E Thelning (1984), Steel and its heat treatment, second edition, Butterwoths, 1984 [54] K Rusnak, J Vicek (1993), Emission spectroscopy of the plasma in the cathode region of N2-H2 abnormal glow discharges for steel surface nitriding, J Phys D: Appl Phys 26: pp 585-589 [55] Kyun Taek Cho, Kyun Song, Sang Ho Oh, Young-Kook Lee, Won Beom Lee (2013), Surface hardening of shot peened H13 steel by enhanced nitrogen diffusion, Surface & Coatings Technology 232 (2013), pp 912 – 919 103 [56] K Taherkhani, F Mahboubi (2013), Investigation Nitride layers and Properties Surfaces on pulsed Nitrided Hot Working Steel AISI H13, Iranian Journal of Materials Science & Engineering Vol 10, Number 2, June 2013 [57] Kusmic, Lecture No.1-No.4 [58] Kyung Sub Jung (2011), Nitriding of iron-based ternary alloys: Fe-Cr-Ti and FeCr-Al, PhD Thesis, Stuttgart University [59] L F Zagonel, C A Figueroa, R Droppa Jr, F Alvarez (2006), Influence of the process temperature on the steel microstructure and hardening in pulsed plasma nitriding, Surface & coatings technology 201 (2006), pp 452-457 [60] L F Zagonel , E J Mittemeijer, F Alvarez, (2009), The microstructure of tool steel after low temperature ion nitriding, Materials science and technology, Vol 25, No 6, pp 726-732(7) [61] L F Zagonel, J Bettini, R L O Basso, P Paredez, H Pinto, C M Lepienski, F Alvarez (2012), Nanosized precipitates in H13 tool steel low temperature plasma nitriding, Surface and Coatings Technology 2012, Vol.207, pp 72 – 78 [62] M A Hassouba, E A Mehanna (2009), Electrical Characteristics of (N2-H2) Gas Mixture DC Glow Discharge, International Journal of Physical Sciences Vol.4 (11), pp 713-721 [63] M B Karamis (1992), Some effects of the plasma nitriding process on layer properties, Thin Solid Films, 217 (1992), pp 38-47 [64] Mehmet Capa, Muzaffer Tamer, Turgut Gulmez, Cengiz Tahir Bodur (2000), Life Enhancement of Hot -Forging Dies by Plasma Nitriding, Turkish Journal of Engineering & Environmental Sciences 24 (2000), pp 111-117 [65] Michael A Lieberman, Allan J Lichtenberg (2005), Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (2005), second edition, John Wiley & Sons, Inc., Hoboken, New Jersey [66] M U Devi (1999), Wear behaviour of plasma nitritd tool steels, Surface and Coating Technology 116-119 (1999) [67] M V Leite, C A Figueroa, S Corujeira Gallo, A C Rovani, R L O Basso, P R Mei, I J R Baumvol, A Sinatora (2010), Wear mechanism and microstructure of pulsed plasma nitrided AISI H13 tool steel, Wear 269, pp 466-472 [68] M Zlatanovic, N Popovic, Z Bogdanov, S Zlatanovic (2003), Pulsed plasmaoxidation of nitride steel samples, Surface and coatings technology 174-175 (2003), pp 1220-1224 [69] NITRION GmbH, Nitrierbetriebe Bayer, Plasma nitriding in Comparison with Gas Nitriding, Technical Report #209 [70] O Belahssen, A Chala, S Benramache, B Djamel, Ch Foued (2014), Effect of gas mixture H2-N2 on microstructure and microhardness of steel 32CDV13 nitrided by plasma, International journal of engineering transactions A: basics vol 27, No (2014), pp 621-624 [71] Okba Belahssen, Abdellouahed Chala (2012), Microstructure of low alloyed steel 32CDV13 nitrided by plasma, International journal of scicence and engineering investigation, Vol 1, issue 11, 2012 [72] Patama Visuttipitukul, Chuleeeporn Paa-rai, Kuwahara Hideyuki (2006), Effect of decarburization on microstructure of DC-plasma nitride H13 tool steel, Journal of metals, Materials and minerals, Vol 16, No 2, pp 1-6 [73] Paul Hubbard (2007), Characterisation of a Commercial Active Screen Plasma Nitriding System [74] Plasma nitriding of tool steels, www.eltropuls.de 104 [75] Pokorny Zdenek, Kadlec Jarromir, Hruby Vojtech, Joska Zdenek, Tran Dung Quang (2011), Mechanical properties of steels after plasma nitriding process, Journal of Materials Science and Engineering A (2011), pp 42-45 [76] P Panjan, R Kirn, M Sokovic (2012), Improvement of dies casting tools with duplex treatment, Conference Proceedings, 11th International Scientific Conference, Achievements in Mechanical & Materials Engineering AMME 2012 [77] Ravindra Kumar, Ram Prakash, J Alphonsa, Jalaj Jain, A Pareek, P A Rayjada, P M Raole, S Mukherjee (2012), Impact of forging conditions on plasma nitride hotforging dies and punches, Journal of Materials Science Research, Vol 1, No [78] R E Schacherl (2004), Growth Kinetics and Microstructure of Gaseous Nitrided Iron Chromium Alloys, Dissertation an der Universitat Stuttart [79] R E Schacherl, P.C.J Graat, and Mittemeijer (2004), The Nitiding Kinetics of IonChromium Alloys; The Role of Excess Nitrogen: Experiments and Modelling, Metallurgical and Materials Transaction A Volume 35A, pp 3387 -3398 [80] S Ben Slima (2012), Ion and Gas Nitriding Applied to Steel Tool for Hot Work X38CrMoV5 Nitriding Type: Impact on the Wear resistance, Materials Sciences and Applications, 2012, 3, pp 640 – 644 [81] S Janosi, Z Kolozsvary, A Kis (2004), Controlled Hollow Cathode Effect: New Possibilities For Heating Low-Pressure Farnace, Metal Science and Treatment Vol.46 No 7-8, pp 310-316 [82] S Kama (2012), Application of Taguchi Methode in Indian Industry, International Journal of Emerging Technology and Advanced Engineering, Vol.2 (11), 2012, pp 387-391 [83] S Parascandola (2001), Nitrogen transport during ion nitriding of austenitic stainless steel [84] S Phadke (1989), Quality Engineering Using Robust Design, PTR Printice – Hall, Inc, 1989 [85] S R Hosseini, F Ashrafizadeh (2008), Evaluation of Nitrogen Diffusion in Plasma Nitrided Iron by Various Characterization Techniques, International Journal of ISSI, Vol.5 No.2, pp 29-35 [86] S R Hosseini, F Ashrafizadeh, A Kermanpur (2010), Calculation and experimentation of the compound layer thickness in gas and plasma nitriding of ion, Iranian journal of science & technology, transaction B: engineering, Vol 34, No B5, pp 553-566 [87] S S Akhar, A F M Arif, Bekir Sami Yilbas (2009), Evaluation of gas nitriding process with in-process variation of nitriding potential for AISI H13 tool steel, The international Journal of advanced manufacturing technology [88] Sai Ramudu Meka (2011), Nitriding of iron-based binary and ternary alloys: microstructural development during nitride precipitation, PhD Thesis, University Stuttgart [89] Santiago Corujeira Gallo (2009), Active screen plasma surface engineering of austenitic stainless steel for enhanced tribological and corrosion properties, A thesis submitted to the University of Birmingham [90] Santosh S Hosmani (2006), Nitriding of Iron-based Alloys: the Role of Excess Nitrogen, PhD Thesis, University Stuttgart [91] Sandro D Oliveira (2007), Simultaneous plasma nitriding and ageing treatments of precipitation hardenable plastic mould steel, Materials and Design 28, pp 1714 – 1718 105 [92] Shengli Ma, Kewei Xu, Wanqi Jie (2005), Plasma nitrided and TiCN coated AISI H13 steel by pulsed dc PECVD and its application for hot-working dies, Surface & coating technology 191, pp 201-205 [93] Tadeusz Burakowski (1999), Surface Engineering Of Metals: Principles, Equipments, Technologies, CRC Press LLC, USA [94] Tasuhiko Aizawa, Hideyuki Kuwahar (2003), Plasma nitriding as an environmentally benign surface structuring process, Materials Transactions Vol 44, No.7, pp 1303 -1310 [95] U Huchel, S Stramke, J Crokrem, Plused Plasma Nitriding of Tools, www.eltropuls.de [96] U Huchel, S Stramke, Plused Plasma Nitriding of Sintered Parts – Production Experiences, www.pulsplamanitrien.de [97] U Huchel (2000), Short Description of Pulsed Plasma Nitriding, www.pulsplamanitrien.de [98] V.I Dimitrov, J D’Haan, G Knuyt, C Quasyhaegens, L M Stals (1996), A diffusion model of metal surface modification during plasma nitriding, App Phys A 63, pp 475-480 [99] V.I Dimitrov, J D’Haen, G Knuyt, C Quaeyhaegens, L M Stals (1999), Modeling of nitride layer formation during plasma nitriding of iron, Computational materials science 15 (1999), pp 22-34 [100] Visuttipitukul P , Paa-rai C , Kuwahara H , (2006), Characterization of plasma nitrided AISI H13 tool steel, Acta Metallurgica Slovaca, 12, 2006, 3, pp 264-274 [101] Vivek Joshi, Amit Srivasta, Rajiv Shivpuri, Edward Rolinski (2003), Investigating ion nitriding for the reduction of dissolution and soldering in diecasting shot sleeves, Surface and Coating technology 163-164 (2003), pp 668-673 [102] W Rembges, W Oppel (1993), Process control of plasma nitriding and plasma nitrocarburizing in industry, Surface and Coatings Technology 59 (1993), pp 129134 [103] X Lifang, Y Mufu (1989), Mathematical Models of Nitrogen Concentration Profile of Ion Nitrided Layers and Computer Simulation, Acta Metallurgica Sinica (English edition), Series B, Vol.2, No 1, pp 18-26 [104] Yoshiyuki Funaki, Kyouji Itou, Mikio Fujioka, Ryouchi Urao (2002), Plasma bright nitriding of tool steel, Journal-Surface finishing society of Japan, Vol 53, No 11, pp 765-770 [105] Y Sun, T Bell (1991), Plasma surface engineering of low alloy steel, Materials Science and Engineering A224, pp 419-434 [106] Y Sun, T Bell (1997), A numerical model of plasma nitriding of low alloy steels, Materials Science and Engineering A224, pp 33-47 [107] Yasuo Takahashi, Katsunori Inoue, Yan Li, Isao Kawaguchi (1993), Glow Plasma Behaviour in Nitriding Process, Transactions of JWRI, Vol 22, No 1, pp 13-19 106 PHỤ LỤC Phụ lục 1: Kết phân tích hiển vi điện tử quét SEM Mẫu Mo 107 Phân line scan mẫu M7 108 3.Mẫu M3 109 110 111 Phụ lục 2: Kết phân tích X-Ray Mẫu Mo VNU-HN-SIEMENS D5005- Mau thep SKD61 - 500 Lin (Cps) d=2.0310 400 300 200 d=1.4369 100 10 20 30 40 50 60 70 2-Theta - Scale File: Thanh-Thep SKD61-0.raw - Type: 2Th/Th locked - Start: 10.000 ° - End: 70.000 ° - Step: 0.030 ° - Step time: 1.0 s - Temp.: 25.0 °C (Room) - Anode: Cu - Creation: 09/01/15 16:42:46 06-0696 (*) - Iron, syn - Fe - Y: 51.51 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 06-0694 (*) - Chromium, syn - Cr - Y: 50.00 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 Mẫu M3 VNU-HN-SIEMENS D5005- Mau thep SKD61 - 150 140 130 120 50 40 d=1.5929 60 d=1.9049 d=2.1890 70 d=2.0905 80 d=2.3321 Lin (Cps) 90 d=1.8061 d=2.0592 110 100 30 20 10 10 20 30 40 50 60 70 2-Theta - Scale File: Thanh-Thep SKD61-3.raw - Type: 2Th/Th locked - Start: 10.000 ° - End: 70.000 ° - Step: 0.030 ° - Step time: 1.0 s - Temp.: 25.0 °C (Room) - Anode: Cu - Creation: 09/01/15 17:17:06 02-1100 (D) - Iron Nitride - Fe3N - Y: 5.45 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 03-1179 (D) - Iron Nitride - FeN - Y: 5.00 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 03-0955 (D) - Iron Nitride - Fe4.4N - Y: 5.00 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 31-0619 (Q) - Iron austenite - (Fe,C) - Y: 7.64 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 112 3.Mẫu M5 d=2.0294 VNU-HN-SIEMENS D5005- Mau thep SKD61 - Lin (Cps) 300 200 d=1.4369 d=1.8003 d=2.0765 100 10 20 30 40 50 60 70 2-Theta - Scale File: Thanh-Thep SKD61-5.raw - Type: 2Th/Th locked - Start: 10.000 ° - End: 70.000 ° - Step: 0.030 ° - Step time: 1.0 s - Temp.: 25.0 °C (Room) - Anode: Cu - Creation: 09/01/15 17:51:21 06-0696 (*) - Iron, syn - Fe - Y: 32.73 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 06-0694 (*) - Chromium, syn - Cr - Y: 49.09 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 31-0619 (Q) - Iron austenite - (Fe,C) - Y: 7.64 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 4.Mẫu M7 VNU-HN-SIEMENS D5005- Mau thep SKD61 - 150 140 130 d=1.8052 120 110 d=2.0646 90 80 70 60 d=1.3525 d=1.5975 30 d=1.9020 40 d=2.1978 50 d=2.3461 Lin (Cps) 100 20 10 10 20 30 40 50 60 70 2-Theta - Scale File: Thanh-Thep SKD61-7.raw - Type: 2Th/Th locked - Start: 10.000 ° - End: 70.000 ° - Step: 0.030 ° - Step time: 1.0 s - Temp.: 25.0 °C (Room) - Anode: Cu - Creation: 09/01/15 18:26:27 02-1100 (D) - Iron Nitride - Fe3N - Y: 5.45 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 03-1179 (D) - Iron Nitride - FeN - Y: 5.00 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 03-0955 (D) - Iron Nitride - Fe4.4N - Y: 5.00 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 31-0619 (Q) - Iron austenite - (Fe,C) - Y: 20.00 % - d x by: 1.000 - WL: 1.54056 113 Phụ lục 4: Đo chiều dày lớp trắng chiều sâu lớp thấm 114 ... TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ N? ??I HOÀNG VĨNH GIANG NGHI? ?N CỨU MỘT SỐ YẾU TỐ CHÍNH ẢNH HƯỞNG Đ? ?N SỰ HÌNH THÀNH LỚP THẤM N BẰNG PHƯƠNG PHÁP THẤM N PLASMA XUNG Chuy? ?n ngành : Kim loại học Mã số :... [102] Như thấy nhiệt độ, thời gian, thành ph? ?n khí thấm thơng số cơng nghệ ảnh hưởng đ? ?n đặc tính lớp thấm Ngồi thơng số áp suất khí thấm ảnh hưởng l? ?n đ? ?n hình thành trì plasma n? ?n có ảnh hưởng đ? ?n. .. thông số công nghệ thấm ảnh hưởng l? ?n ảnh hưởng đ? ?n hành vi thấm chất lượng lớp thấm Các thơng số cơng nghệ ảnh hưởng đ? ?n trinh thấm đặc tính lớp thấm nhiệt độ thấm, thành ph? ?n môi trường thấm, thời