Bài thuyết trình Ảnh hưởng của độ dày lên cấu trúc và tính chất quang, tính chất điện của màng Zn tập trung tìm hiểu về sơ đồ nhiễu xạ của màng ZnO, bề mặt hình học của màng Zn, tính chất quang của của màng Zn, tính điện năng của màng Zn và một số nội dung khác.
ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY LÊN CẤU TRÚC VÀ TÍNH CHẤT QUANG, TÍNH CHẤT ĐIỆN CỦA MÀNG ZnO HV: VÕ THỊ NGỌC THỦY KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN Sơ đồ nhiễu xạ màng ZnO độ dày 260nm màng ưu tiên phát triển theo hướng (002), định hướng theo trục c Các màng đa tinh thể định hướng ngẫu nhiên (do xử lý nhiệt precusor khác nhau) Fig X-ray diffractograms of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii) 165 nm, (iv) 180 nm, (v) 260 nm, (vi) 300 nm, (vii) 400 nm and (viii) 600 nm Bề mặt hình học màng ZnO kích thước hạt trở nên đồng lớn độ dày màng tăng lên Fig FESEM micrographs of ZnO films with thickness: (i) 55 nm, (ii) 90 nm, (iii) 180 nm, (iv) 260 nm, (v) 300 nm, (vi) 400 nm and (vii) 600 nm Fig The plot of strain e zz (%) along c-axis and FWHM of (0 2) peak for ZnO films with various thickness Khi ứng suất màng nhỏ tính chất tinh thể màng trỏ nên tốt zz cấu trúc màng tốt màng độ dày 260 nm Tính quang của màng Tính chất quang trở nên tốt độ dày khoảng 165-300nm Độ dày 300nm trạng thái kích thích phổ hấp thu trở nên rộng biến hoàn toàn màng dày 600nm Tất màng mà có bờ hấp thu thẳng vùng UV 400nm Tính điện của màng ứng suất tăng điện trở suất tăng Myong cộng cho thấy bề dày tăng, màng xốp hơn, hấp thu oxi nhiều hơn,nồng độ hạt tải giảm điện trở suất tăng tăng bề dày KẾT LUẬN Các tính chất cấu trúc, tính quang, tính điện thấy chúng phụ thuộc vào bề dày màng Tính chất cấu trúc tốt độ dày khoảng 180-300nm Và định hướng theo trục c màng dày 260 nm Tính quang điện cải tiến bề dày màng khoảng 260nm Tiên đốn tính chất cấu trúc, quang, điện trở nên tốt màng ZnO chế tạo phương pháp sol-gel độ dày khoảng 260nm ... thuộc vào bề dày màng Tính chất cấu trúc tốt độ dày khoảng 180-300nm Và định hướng theo trục c màng dày 260 nm Tính quang điện cải tiến bề dày màng khoảng 260nm Tiên đoán tính chất cấu trúc, quang,. .. điện trở suất tăng Myong cộng cho thấy bề dày tăng, màng xốp hơn, hấp thu oxi nhiều hơn,nồng độ hạt tải giảm điện trở suất tăng tăng bề dày KẾT LUẬN Các tính chất cấu trúc, tính quang, tính điện. .. for ZnO films with various thickness Khi ứng suất màng nhỏ tính chất tinh thể màng trỏ nên tốt zz cấu trúc màng tốt màng độ dày 260 nm Tính quang của màng Tính chất quang trở nên tốt độ