Chất lượng cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí h2s, NH3 và CO

MỞ ĐẦU Tính cấp thiết đề tài Hiện nay, chất lượng khơng khí mơi trường dân sinh môi trường công nghiệp ngày xuống thấp Sự gia tăng nguồn khí thải nhân tạo từ hoạt động công nghiệp sinh hoạt đưa vào khí hàng trăm khí độc hại như: H2S, NH3, SO2, NOx, CO, CO2, O3 Đây hiểm họa sống đại mà lĩnh vực sản xuất ngày phát triển Bên cạnh việc nâng cao chất lượng sản xuất có tính bền vững bảo vệ mơi trường cơng tác giám sát, cảnh báo chất lượng khơng khí quan trọng Trong môi trường công nghiệp loại khí độc hại vượt tỷ lệ giới hạn định ảnh hưởng trực tiếp đến sức khỏe người lao động môi trường sống người Do vậy, vấn đề nâng cao chất lượng đo lường, giám sát loại khí độc hại để đưa giải pháp hạn chế, loại bỏ chúng nhiệm vụ cấp bách quan trọng việc bảo vệ môi trường an sinh xã hội Về vấn đề này, giới Việt Nam có nhiều nhà khoa học quan tâm cơng bố nhiều kết nghiên cứu Tuy nhiên, môi trường công nghiệp phức tạp với pha trộn nhiều loại khí, bên cạnh yếu tố nhiệt độ độ ẩm mơi trường dẫn đến làm suy giảm độ xác phép đo Vì vấn đề nghiên cứu nâng cao chất lượng cho phép đo nồng độ khí tồn nhiều bất cập, hạn chế cần phải tiếp tục nghiên cứu, hoàn thiện Mục đích nghiên cứu Mục đích nghiên cứu luận án ứng dụng ANN để nâng cao chất lượng cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí H2S, NH3 CO Đối tượng nghiên cứu phạm vi nghiên cứu Đối tượng nghiên cứu luận án cảm biến loại bán dẫn đo nồng độ khí độc hại môi trường công nghiệp Phạm vi nghiên cứu: Các loại cảm biến bán dẫn có đặc tính phi tuyến làm việc điều kiện bị ảnh hưởng yếu tố môi trường nhiệt độ độ ẩm với hỗn hợp khí đầu vào, từ đề xuất cấu trúc cảm biến ANN để nâng cao độ xác cho phép đo Phương pháp nghiên cứu 4.1 Nghiên cứu lý thuyết Luận án tập trung phân tích ưu, nhược điểm cảm biến bán dẫn phần tử quan trọng hệ thống đo phát nồng độ khí độc hại môi trường công nghiệp để đề xuất phương pháp nâng cao chất lượng phép đo Nghiên cứu lý thuyết ANN nói chung ANN MLP nói riêng, ứng dụng ANN đề xuất xây dựng cấu trúc cảm biến có tích hợp ANN để nâng cao chất lượng cảm biến bán dẫn 4.2 Mô thực nghiệm kiểm chứng kết Kiểm chứng kết nghiên cứu lý thuyết mô off-line phần mềm Matlab để đánh giá kết đạt giải pháp đề xuất Xây dựng mơ hình thực nghiệm tiến hành kiểm chứng thực nghiệm cảm biến thực cho ứng dụng loại trừ sai số yếu tố ảnh hưởng Ý nghĩa khoa học thực tiễn đề tài Luận án có ý nghĩa khoa học thực tiễn lĩnh vực đo lường ANN Ý nghĩa khoa học: Sử dụng phương pháp ứng dụng ANN, cơng cụ với khả tính tốn song song, bền với nhiễu lỗi số liệu đầu vào, có khả thực thi dạng phần mềm phần cứng để nâng cao chất lượng cảm biến đo nồng độ khí Ý nghĩa thực tiễn: Kết nghiên cứu luận án sử dụng để tích hợp, cải tiến, chế tạo cảm biến bán dẫn đo nồng độ chất khí mơi trường cơng nghiệp Những đóng góp luận án Nghiên cứu số vấn đề lý luận mô phỏng, kiểm nghiệm thực tế nhằm ứng dụng ANN để nâng cao chất lượng cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí H2S, NH3 CO khí thải công nghiệp cụ thể ứng dụng:  Xây dựng cấu trúc cảm biến ứng dụng mạng ANN để bù sai số yếu tố ảnh hưởng, ANN có cấu trúc đơn giản có đầu vào nhiệt độ, số nơ-ron lớp ẩn thấp từ 1→2 nơ-ron để xấp xỉ xác đặc tính ảnh hưởng nhiệt độ độ ẩm tới kết đo, từ làm sở cho ứng dụng bù, phần bù dùng phương pháp nội suy tuyến tính tính tốn, đóng góp khác biệt với cơng trình khác sử dụng ANN có hai đầu vào nhiệt độ, độ ẩm số lớp ẩn, số nơron lớp ẩn lớn  Xây dựng cấu trúc cảm biến ứng dụng mạng ANN có khả loại trừ tính phản ứng đa khí có khả phân biệt ước lượng xác nồng độ khí thành phần có hỗn hợp khí đầu vào  Xây dựng cấu trúc cảm biến ứng dụng mạng ANN điều chỉnh đặc tính cảm biến  Ngồi đóng góp xây dựng cấu trúc cảm biến tích hợp ba chức như: Bù sai số nhiệt độ độ ẩm, khắc phục tính phản ứng đa khí điều chỉnh đặc tính cảm biến Kết cấu luận án Mở đầu: Trình bày vấn đề chung luận án, tóm tắt nội dung nghiên cứu, đóng góp kết cấu luận án Chương Tổng quan cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí mơi trường cơng nghiệp Giới thiệu cảm biến bán dẫn, số yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng phép đo, tổng quan công trình nghiên cứu phương pháp nâng cao chất lượng cảm biến bán dẫn, từ tổng hợp lại vấn đề tồn cần tiếp tục nghiên cứu cho giải pháp nâng cao chất lượng đo nồng độ khí độc hại mơi trường cơng nghiệp Chương Ứng dụng mạng nơ-ron nhân tạo nâng cao chất lượng cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí Đây nội dung nghiên cứu luận án, luận án đề xuất cấu trúc cảm biến ứng dụng ANN, cụ thể ANN MLP để giảm sai số ảnh hưởng, loại trừ tính phản ứng đa khí điều chỉnh đặc tính để nâng cao chất lượng cho cảm biến bán dẫn đo nồng độ chất khí Chương Mô giải pháp nâng cao chất lượng cảm biến đo nồng độ khí đề xuất Ở chương tác giả thực mô phần mềm Matlab/Mfile giải pháp đề xuất luận án Sử dụng sở lý thuyết cấu trúc đề xuất chương Chương Xây dựng hệ thống thực nghiệm ứng dụng ANN bù sai số yếu tố ảnh hưởng cảm biến Với kết chương xác định thông số tối ưu cấu trúc ANN để triển khai thiết bị thực Sử dụng nồng độ khí chuẩn cảm biến MQ136 có ứng dụng ANN để bù sai số yếu tố ảnh hưởng đo nồng độ khí H2S nhằm khẳng định kết nghiên cứu lý thuyết Phần cuối kết luận hướng phát triển, danh mục tài liệu tham khảo cơng trình công bố luận án CHƯƠNG TỔNG QUAN VỀ CÁC CẢM BIẾN BÁN DẪN ĐO NỒNG ĐỘ KHÍ TRONG MƠI TRƯỜNG CƠNG NGHIỆP Trong chương trình bày tiêu chuẩn chất lượng số chất khí độc hại mơi trường khơng khí, để từ làm sở lựa chọn cảm biến đo nồng độ khí mơi trường cơng nghiệp Tiếp theo nghiên cứu số yếu tố ảnh hưởng đến cảm biến, tổng quan cơng trình nghiên cứu phương pháp nâng cao chất lượng cảm biến, tổng hợp lại vấn đề tồn cần tiếp tục nghiên cứu cho giải pháp nâng cao chất lượng cảm biến đo nồng độ khí độc hại mơi trường công nghiệp 1.1 Tầm quan trọng loại cảm biến đo nồng độ khí độc hại 1.1.1 Ảnh hưởng chất khí độc hại đến sức khỏe người Như biết, người sống mơi trường sống thiếu khơng khí Tuy nhiên mơi trường khơng khí bị nhiễm nặng nề Ơ nhiễm mơi trường khơng khí vấn đề xúc môi trường đô thị, công nghiệp làng nghề nước ta giai đoạn phát triển Ô nhiễm mơi trường khơng khí có tác động xấu đến sức khoẻ người, ảnh hưởng đến hệ sinh thái biến đổi khí hậu, Cơng nghiệp hố mạnh, thị hố phát triển nguồn khí thải gây nhiễm mơi trường khơng khí nhiều, áp lực làm biến đổi chất lượng khơng khí theo chiều hướng xấu lớn yêu cầu bảo vệ mơi trường khơng khí quan trọng Trong loại khí độc hại phải kể tới: Khí CO (nguồn khí thải từ lò than, động tơ, xe máy…), khí H2S khí NH3 (nguồn khí thải sản xuất nông nghiệp) ba loại khí độc hại hàng ngày người thường xuyên tiếp xúc - Khí CO (Cacbomonoxit), loại khí khơng màu, khơng mùi, khơng vị, tạo cháy khơng hồn tồn ngun liệu chứa Các bon (C) Khi hít phải CO vào máu khiến cho thể bị ngạt Ở nồng độ nhỏ gây đau đầu chóng mặt Ở nồng độ lớn gây tổn hại đến hệ thống tim mạch chí gây tử vong Khí CO hình thành nơi đốt than thiếu ơxy, từ khói thải lò gạch nơi mà than cháy khơng triệt để, ống khói nhà máy nhiệt điện dùng than đá, nồi nấu nhựa đường, khí xả động ô tô, xe máy hay bếp than - Khí H2S (hidrosunfua), mang mùi thum thủm trứng thối, cực độc dễ cháy nổ H2S khí gây ngạt chúng tước đoạt ơxy mạnh; hít phải nạn nhân bị ngạt, bị viêm màng kết H2S tác động vào mắt, bị bệnh phổi hệ thống hơ hấp bị kích thích mạnh thiếu ơxy, gây thở gấp ngừng thở H2S nồng độ cao gây tê liệt hô hấp nạn nhân bị chết ngạt Khí H2S xuất đốt cháy khơng hồn toàn nhiên liệu (than đá, dầu ) chứa nhiều lưu huỳnh H2S bốc lên từ bùn ao, đầm thiếu ôxy (là nguyên nhân làm cá chết ngạt) hay trang trại nuôi gia cầm công nghiệp - Khí NH3 (amoniac) chất khí độc, có mùi khai, tan nhiều nước Trong môi trường tự nhiên, amoniac có đất, vi khuẩn tạo trình phân hủy xác động, thực vật, chất thải từ động vật NH3 xuất phát từ nguồn khí nước thải nơng nghiệp, cơng nghiệp, xem chất gây độc hại môi trường Độc tính chất tùy thuộc vào nồng độ dạng tiếp xúc Ở hàm lượng thấp, NH3 gây cảm giác cay buốt, hàm lượng cao khiến mù lòa, mùi làm người dị ứng nghiêm trọng Chất xem nguyên nhân lâu dài bệnh viêm cuống phổi Xuất phát từ ảnh hưởng xấu số chất khí độc hại trên, Bộ Tài nguyên môi trường đưa quy chuẩn nồng độ tối đa cho phép số khí bảng 1.1 Bảng 1.1 Nồng độ tối đa cho phép số chất độc hại khơng khí xung quanh [1, 2] TT Thơng số Cơng thức hóa học Nồng độ cho phép (g/m ) Amoniac [2] NH3 200 Hydrosunfua [2] H2S 42 Cacbon monoxit [1] CO 30000 Dựa vào thông số bảng 1.1 làm sở lựa chọn cảm biến đo cảnh báo nồng độ khí môi trường công nghiệp 1.1.2 Giới thiệu chung cảm biến đo nồng độ khí Trên hình 1.1 trình bày sơ đồ nguyên lý hệ thống đo giám sát khí mơi trường cơng nghiệp Các nồng độ khí cần đo cảnh báo cảm nhận cảm biến tương ứng, xử lý tín hiệu đo qua chuyển đổi, truyền thông để lưu trữ, hiển thị, cảnh báo Trong hệ thống khâu quan trọng định đến chất lượng hệ thống cảm biến đo nồng độ khí khâu toàn hệ thống, tiếp xúc trực tiếp với mơi trường đo Khí H2S Khí CO Cảm biến Xử lí tín hiệu đổi Chuyển Truyền thơng tin qua mạng Ethernet công nghiệp -Hiển thị -Lưu trữ -In kết Cảm biến Xử lí tín hiệu đổi Chuyển Hình 1.1 Sơ đồ hệ thống giám sát nồng độ chất khí mơi trường cơng nghiệp Đo nồng độ loại khí người ta thường dùng loại cảm biến khác [8, 23] Các cảm biến đo nồng độ khí truyền thống có độ xác cao sắc ký khí, thiết bị phân tích phổ linh động ion, thiết bị phân tích phổ khối lượng thiết bị phân tích phổ hấp thụ hồng ngoại Tuy nhiên, thiết bị đo có hạn chế như: kích thước lớn, cấu tạo phức tạp, giá thành cao, q trình vận hành sử dụng thiết bị khó khăn thời gian phân tích dài Vì lý đó, thiết bị lắp đặt cố định khơng thích hợp cho việc thực phân tích nhanh trực tiếp trường Để đáp ứng với yêu cầu thực tế, cảm biến khí hóa học sở vật liệu dạng rắn (solid-state chemical gas sensor), cảm biến bán dẫn, cảm biến nhiệt xúc tác, cảm biến điện hóa, cảm biến dựa hiệu ứng trường số linh kiện bán dẫn, v.v nghiên cứu ứng dụng nhiều thực tế Cảm biến nhiệt xúc tác phù hợp cho phát khí cháy nổ vùng nồng độ cao Trong cảm biến bán dẫn phù hợp cho phát khí oxy hóa/khử vùng nồng độ thấp, sử dụng nhiều hệ thống đo phát khí độc hại mơi trường cơng nghiệp Do mà cảm biến bán dẫn ứng dụng rộng rãi công nghiệp Nguyên lý làm việc cảm biến bán dẫn dựa thay đổi độ dẫn điện màng bán dẫn hấp thụ chất khí bề mặt nhiệt độ từ o o 150 C ÷ 500 C Có hai loại cảm biến bán dẫn sử dụng thông dụng làm từ xít kim loại: Loại màng dày làm từ ơ-xít thiếc (SnO2): loại khơng có tính chọn lọc thường dùng để phát thay đổi lớn lượng khí độc khí cháy; Loại cảm biến màng mỏng làm từ VO3 (tri-ơxít vonfam): dùng chủ yếu để phát khí hydro sunfua  Loại màng dày (SnO2) [8, 23] Loại cảm biến màng dày hình 1.2 thường cấu tạo cách nung kết ơ-xít thiếc lên điện cực gốm Điện cực mặt phẳng với sợi nung mặt lại, dạng ống với sợi nung xuyên qua ống Cuộn dây Lớp thiếc Cuộn dây Lớp thiếc Hình 1.2 Cảm biến bán dẫn màng dầy thiếc ơ-xít (SnO2) Cơ chế phát khí cần đo loại phức tạp, đặc biệt với khí độc Nó kết hợp phản ứng bề mặt bao gồm hấp thụ khí cần đo Khi cảm biến khơng cấp nguồn, khí cần đo bám vào bề mặt dễ dàng hậu cảm biến phải nhiều để ổn định lại, điều xảy cảm biến không cấp nguồn hay nhiệt độ làm việc thấp thời gian ngắn Khi cảm biến phát có khí, điện trở lớp ơ-xít thiếc giảm xuống tỉ lệ với nồng độ khí Tỉ lệ thay đổi điện trở khơng tuyến tính với nồng độ khí, cần phải tuyến tính hố Cảm biến loại dễ bị ảnh hưởng độ ẩm ô-xy Với lượng nhỏ độ ẩm ơ-xy gây ổn định cho cảm biến, chí khơng làm việc điều kiện làm việc bình thường phục hồi trở lại  Loại màng mỏng (VO3) [8, 23] Cảm biến màng mỏng cấu tạo vật liệu không dẫn điện gắn với hai nhiều điện cực dẫn điện Vật liệu ơ-xít kim loại gắn vào điện cực Các phận nung nóng nhiệt độ làm việc thích hợp Bề mặt lớp ơ-xít kim loại bình thường hấp thụ ô-xy tạo trường điện từ đẩy electron khỏi bề mặt Khi có khí cần đo, khí đẩy ơ-xy (bằng cách chiếm chỗ phản ứng), từ giải phóng electron để dẫn điện, thay đổi độ dẫn điện chất bán dẫn Độ dẫn điện chất bán dẫn nguồn tín hiệu Do ứng dụng rộng rãi công nghiệp nên cảm biến bán dẫn nghiên cứu phát triển nhiều giải pháp để nâng cao chất lượng hoàn thiện 1.2 Tổng quan số giải pháp nâng cao chất lượng cảm biến đo nồng độ khí 1.2.1 Các ưu, nhược điểm cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí Cảm biến bán dẫn có nhiều ưu điểm [4, 8] như: Độ nhạy cao, thời gian hồi đáp nhỏ, mạch điều khiển đơn giản, dễ vận hành, phản ứng với nhiều loại khí độc, hại Tuy nhiên cảm biến bán dẫn có nhiều nhược điểm, cụ thể sau: Cảm biến làm việc mơi trường cụ thể, ln chịu ảnh hưởng môi trường đo Khi nhiệt độ độ ẩm môi trường đo khác điều kiện o o tiêu chuẩn (T C=20 C, RH%=65%) kết đo thay đổi rõ rệt, gây sai số cho kết đo hình 1.3 Hình 1.3 Đặc tính phụ thuộc cảm biến MQ136 vào nhiệt độ độ ẩm [45] Selective Odor Detection with Gas Sensor Arrays, Open Access, ISSN 1424-8220 [22] Figaro, Technical Information on Usage of TGS Sensors for Toxic and Explosive Gas Leak Detectors [23] Gerald L.Anderson, David M.Hadden (1999) The gas Monitoring HandBook, New York [24] Gardner.J.W, Bartlett.P.N (1999) Electronic Noses: Principles and Applications, Oxford University Press, Oxford [25] Jacob Fraden (2015) Handbook Of Modern Sensors, Springer [26] Jacek M, Zurada (1997) Introduction to Artificial Neural Systems, West publishing company [27] Liu Jin, Brook.A, Kenichi Hirotsu (2005) A CMOS Feedforward Neural–Network Chip with on-chip parallel Learning for Oscillation Cancellaton, IEEE Transactions on Neural Network [28] Llobet.E, Brezmes.J, Ionescu.R, Vilanova.X, Al-Khalifa.S, Gardner.J.W, Barsan.N & Correig.X (2012) Wavelet transform and fuzzy artmapbased patern recognition for fast gas identification using a microhotplate gas sensor, Sensors and Actuators B: Chemical 83(1-3): 238– 244 [29] Lecce Di Vincenzo, Marco Calabrese (2011) Describing Non-selective Gas Sensors Behaviour via Logical Rules, The 5th Internatonal Conference on Sensor Technologies and Applications (SENSORCOMM), pp 6-11 [30] Maxim Integrated, TUTORIAL 1839 (2002) Sensor Temperature Compensation Using the Four DAC Signal Conditoning Architecture, https://www.maximintegrated.com/en/app-notes/index.mvp/id/1839 [31] Morsi Iman (2010) Electronic Nose System and Artfcial Intelligent Techniques for Gases Identificaton, “Data Storage”, InTech, chapter 11 [32] Natale Di C, Martinelli.E.A; D’Amico.A (2002) Counteraction of environmental disturbances of electronic nose data by independent component analys, Sensors and Actuators B: Chemical 82(2-3): 158– 165 [33] Nenova Z., Dimchev G (2013) Compensation of the Impact of Disturbing Factors on Gas Sensor Characteristics, Acta Polytechnica Hungarica Vol 10, No 3, pp 97-111 [34] Pearce.T.C, Shifman.S.S, Nagle.H.T & Gardner.J.W (2003) Handbook of machine olfaction, Weinheim: Wiley-VHC [35] Dae-Sik Lee, Ho-Yong Jung, Jun-Woo Lim, Minho Lee, Sang-Woo Ban, Jeung-Soo Huh, Duk-Dong Lee (2000) Explosive Gas Recogniton System Using Thick Film Sensor Array And Neural Network, Sensors and Actuators B 71 90-98 [36] Roj Jerzy, Henryk Urzedniczok (2015) Correction Of Gas Sensor Dynamic Errors By Means Of Neural Networks, Measurement Automation Monitoring, vol 61, no 12, pp 538-541 [37] Siegel.M.W, Olfacton Metal Oxide Semiconductor Gas Sensors and Neural Networks, Carnegie Mellon University, The Robotics Institute Pittsburgh, PA 15213, USA [38] Vlachos.D, Fragoulis.D & Avaritsiotis.J (1997) An adaptive neural network topology for degradation compensation of thin film tn oxide gas sensors, Sensors and Actuators B: Chemical 45(3), pp 223–228 [39] Winter.P.W, Brote.G, Wood.H (1998) Mixed Gas Concentration Measurement Using Neural Networks, IC FUSION, pp 716-720 [40] Wold.S, Esbensen.K & Geladi.P (1987) Principal component analysis, Chemiometrics Intell., Lab Syst 2: 37–52 [41] Zhang Lei, Fengchun Tian, Xiongwei Peng, Lijun Dang, Guorui Li, Shouqiong Liu, Chaibou Kadri (2013) Standardizaton Of Metal Oxide Sensor Array Using Artificial Neural Networks Through Experimental Design, Sensors and Actuators B: Chemical, vol 177, pp 947-955 [42] Zimmerman Naomi, Albert A Presto, Sriniwasa P.N Kumar, Jason Gu, Aliaksei Hauryliuk, Ellis S Robinson, Allen L Robinson, Ramachandran Subramanian (2017) Closing The Gap On Lower Cost Air Quality Monitoring: Machine Learning Calibraton Models To Improve Low-Cost Sensor Performance, Journal of Atmospheric Measurement Techniques [43] Zuppa, M., Distante, C., Persaud, K C & Siciliano P (2006) Recovery Of Drifting Sensor Responses By Means Of DWT Analysis, Sensors and Actuators B: Chemical 120(2): 411–416 [44] https://www.olimex.com/Products/Components/Sensors/SNS-MQ135/ resources/SNS-MQ135.pdf [45] http://www.sensorica.ru/pdf/MQ-136.pdf [46] https://www.sparkfun.com/datasheets/Sensors/Biometric/MQ-7.pdf [47] http://www.figarosensor.com/products/2600pdf.pdfTGS2602 [48] http://www.figarosensor.com/products/docs/2444%20ProdInfo %280613 %29.pdf [49] https://www.google.com/search?source=hp&ei=PV76W8r4KMu78QX8 m7q4Dw&q=sp3aq2+datasheet&oq=%09SP3AQ2&gs_l=psyab.1.0.35i39.2415.5276 7320 0.0 0.4024.5784.0j1j81j1 1j2 gws-wiz 0.JbC0mIyyNdU# [50] https://patents.google.com/patent/US2014/0356971 Dec.4.2014 MỤC LỤC Trang Lời cam đoan …………… .…………………………………… … .i Lời ơn ii cám Mục lục .iii Danh mục chữ viết tắt kí hiệu vi Danh mục bảng vii Danh mục hình viii MỞ ĐẦU 1 Tính cấp thiết đề tài Mục đích nghiên cứu Đối tượng nghiên cứu phạm vi nghiên cứu Phương pháp nghiên cứu Ý nghĩa khoa học thực tiễn đề tài Những đóng góp luận án Kết cấu luận án CHƯƠNG TỔNG QUAN VỀ CÁC CẢM BIẾN BÁN DẪN ĐO NỒNG ĐỘ KHÍ TRONG MƠI TRƯỜNG CƠNG NGHIỆP 1.1 Tầm quan trọng loại cảm biến đo nồng độ khí độc hại 1.1.1 Ảnh hưởng chất khí độc hại đến sức khỏe người 1.1.2 Giới thiệu chung cảm biến đo nồng độ khí 1.2 Tổng quan số giải pháp nâng cao chất lượng cảm biến đo nồng độ khí………………………………………………………………………………10 1.2.1 Các ưu, nhược điểm cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí 10 1.2.2 Tổng quan giải pháp nâng cao chất lượng 12 1.3 Tình hình nghiên cứu nâng cao chất lượng cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí………………………………………………………………………………22 1.3.1 Tình hình nghiên cứu ngồi nước 22 1.3.2 Tình hình nghiên cứu nước 23 1.4 Định hướng nghiên cứu luận án 23 1.5 Kết luận chương 24 CHƯƠNG ỨNG DỤNG MẠNG NƠ-RON NHÂN TẠO NÂNG CAO CHẤT LƯỢNG CẢM BIẾN BÁN DẪN ĐO NỒNG ĐỘ KHÍ 26 2.1 Cơ sở lý thuyết ANN MLP 26 2.1.1 Những điểm mạnh ANN 26 2.1.2 Mạng nơ-ron MLP 31 2.2 Cấu trúc cảm biến ứng dụng ANN nâng cao chất lượng cảm biến 33 2.2.1 Cấu trúc cảm biến ứng dụng ANN nâng cao chất lượng cảm biến 33 2.2.2 Sử dụng ANN bù sai số yếu tố ảnh hưởng nhiệt độ độ ẩm 34 2.2.3 Sử dụng ANN khắc phục tính phản ứng đa khí cảm biến 42 2.2.4 Sử dụng ANN điều chỉnh đặc tính cảm biến 44 2.3 Tích hợp hai chức bù sai số yếu tố ảnh hưởng điều chỉnh đặc tính cảm biến 49 2.4 Tích hợp ba chức bù sai số yếu tố ảnh hưởng, loại trừ tnh phản ứng đa khí tuyến tính hóa đặc tính 49 2.5 Kết luận chương 50 CHƯƠNG MÔ PHỎNG CÁC GIẢI PHÁP NÂNG CAO CHẤT LƯỢNG CẢM BIẾN ĐO NỒNG ĐỘ KHÍ ĐỀ XUẤT 52 3.1 Thiết kế ANN 52 3.2 Bù sai số yếu tố ảnh hưởng 55 3.2.1 Xấp xỉ đường đặc tnh phụ thuộc nhiệt độ, độ ẩm cảm biến 55 3.2.2 Tính tốn bù sai số 59 3.3 Loại trừ tnh phản ứng đa khí cảm biến 64 3.3.1 Thiết kế ANN 64 3.3.2 Kết mô dùng ba cảm biến MQ136, TGS2602 SP3AQ2 65 3.3.3 Kết mô dùng cảm biến MQ136, TGS2602, TGS2444 SP3AQ2 68 3.4 Điều chỉnh đặc tính cảm biến 71 3.4.1 Kết mô 72 3.4.2 Nhận xét 79 3.5 Tích hợp hai chức bù nhiệt độ - độ ẩm điều chỉnh đặc tính cho cảm biến…………………………………………………………………………… 79 3.6 Tích hợp ba chức bù nhiệt độ, độ ẩm, loại trừ tnh đa khí tuyến tính hóa đặc tính đầu cảm biến 83 3.7 Kết luận chương 87 CHƯƠNG XÂY DỰNG HỆ THỐNG THỰC NGHIỆM ỨNG DỤNG ANN BÙ SAI SỐ ẢNH HƯỞNG CỦA CẢM BIẾN 89 4.1 Đặt vấn đề 89 4.2 Kết triển khai 90 4.3 Kết luận chương 100 KẾT LUẬN 101 DANH MỤC CÁC CƠNG TRÌNH ĐÃ CƠNG BỐ 103 TÀI LIỆU THAM KHẢO 105 PHỤ LỤC…………………………………………………………………… PL DANH MỤC CÁC CHỮ VIẾT TẮT VÀ KÝ HIỆU Chữ viết tắt Giải thích ART Adaptive Resonance Theory ICA Independent Component Analysis LUT Look Up Table MLP Multi Layer Perceptron ANN Artficial Neural Network PCA Principal Component Analysis RF Random Forest SOM Self Organizing Maps VLSI Very Large Scale Integrated IW b LW b Các trọng số đầu vào nơ-ron ẩn Các trọng số đầu vào bias nơ-ron ẩn Các trọng số nơ-rôn ẩn đầu Các trọng số đầu vào bias nơ-rôn ẩn vi DANH MỤC CÁC BẢNG Số bảng 1.1 Tên bảng Trang Nồng độ tối đa cho phép số chất độc hại 2.1 khơng khí xung quanh Bảng số liệu LUT sai số yếu tố ảnh hưởng 37 3.1 Các cảm biến lựa chọn dải đo chúng 52 3.2 Bộ thông số cấu trúc ANN 53 3.3 Các cảm biến lựa chọn mô dải đo chúng 64 3.4 Bộ thông số ANN với cấu trúc 3x3x2 66 3.5 Bộ thông số ANN với cấu trúc 3x4x2 67 3.6 Bộ thông số ANN với cấu trúc 4x3x2 69 3.7 Bộ thông số ANN với cấu trúc 4x4x2 70 3.8 Bộ thông số cấu trúc mạng 1x1x1 80 3.9 Bộ thông số ANN với cấu trúc 3x3x2 84 4.1 Kết mô thực nghiệm đo nồng độ khí H2S 93 o chưa bù với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=33% 4.2 Kết mô thực nghiệm đo nồng độ khí H2S 94 o chưa bù với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=85% 4.3 Kết mô thực nghiệm đo nồng độ khí H2S bù vii 94 DANH MỤC CÁC HÌNH Số hình Tên hình Trang 1.1 Sơ đồ hệ thống giám sát khí mơi trường cơng nghiệp 1.2 Cảm biến bán dẫn màng dầy thiếc ơ-xít (SnO2) 1.3 Đặc tính phụ thuộc cảm biến MQ136 vào nhiệt độ độ ẩm 10 1.4 Phản ứng đa khí cảm biến MQ7 (a) MQ136 (b) 11 1.5 Tuyến tnh hóa đoạn dựa số điểm mẫu 21 2.1 Sơ đồ cấu trúc chung cảm biến sơ cấp nơ-ron 33 2.2 Giải pháp bù nhiệt độ điện trở nhiệt (a) so sánh 35 2.3 điểm o) Cấu trúc cảm biến đề xuất bù sai số yếu tố ảnh hưởng 2.4 Xấp xỉ lại hai đặc tính f1(T ) f2(T ) 40 2.5 Mạch chuẩn hóa đầu cho cảm biến bán dẫn 40 2.6 Đặc tnh fx(T ) nội suy theo f1 f2 41 2.7 Cấu trúc cảm biến đề xuất loại trừ tnh phản ứng đa khí 43 2.8 Phương pháp nội suy tuyến tính 45 2.9 Cấu trúc cảm biến đề xuất điều chỉnh đặc tính 48 2.10 Sơ đồ khối hệ tích hợp hai chức bù sai số điều chỉnh đặc tính Sơ đồ khối hệ tch hợp ba chức bù, loại trừ tính phản ứng đa khí tuyến tính hóa đặc tính 49 3.1 Lưu đồ thuật tốn cho q trình luyện ANN 54 3.2 Các điểm mẫu (a) đường xấp xỉ biến thiên theo độ ẩm nhiệt độ hàm tuyến tính (b) 56 2.11 mức độ bám điện áp tham chiếu khơng có bù (các o o o viii 39 50 3.3 Đường xấp xỉ biến thiên theo nhiệt độ độ ẩm ANN MLP 57 3.4 Biểu đồ biến thiên theo nhiệt độ độ ẩm cảm biến 57 3.5 Xấp xỉ đặc tnh phụ thuộc đầu cảm biến MQ7 vào nhiệt độ (a) độ ẩm RH%= 33% (b) RH%=85% 57 3.6 Biểu đồ biến thiên theo nhiệt độ độ ẩm cảm biến 58 3.7 Xấp xỉ đặc tính phụ thuộc đầu cảm biến MQ136 với nhiệt độ độ ẩm (a) RH%= 33% (b) RH%=85% 58 3.8 Biểu đồ biến thiên theo nhiệt độ độ ẩm cảm biến 59 3.9 Xấp xỉ đặc tnh phụ thuộc đầu cảm biến TGS 2602 với nhiệt độ độ ẩm (a) RH%= 40% (b) 59 RH%=85% 3.10 Kịch cho ứng dụng mô 60 3.11 Kết bù sai số đo nồng độ khí CO=100(ppm) 61 3.12 Kết bù sai số đo nồng độ khí CO=500(ppm) 61 3.13 Kết bù sai số đo nồng độ khí H2S=50(ppm) 62 3.14 Kết bù sai số đo nồng độ khí H2S=100(ppm) 62 3.15 Kết bù sai số đo nồng độ khí NH3=5(ppm) 63 3.16 Kết bù sai số đo nồng độ khí NH3=10(ppm) 63 3.17 Cấu trúc mạng 3x3x2 65 3.18 Kết ước lượng nồng độ khí NH3 với cấu trúc mạng 66 3.19 Kết ước lượng nồng độ khí H2S với cấu trúc 3x3x2 66 3.20 Cấu trúc mạng 3x4x2 67 3.21 Kết ước lượng nồng độ khí NH3 với cấu trúc mạng 68 3x3x2 3x4x2 ix 3.22 Kết ước lượng nồng độ khí H2S với cấu trúc mạng 3.23 Cấu trúc mạng 4x3x2 68 3.24 Kết ước lượng nồng độ khí NH3 với cấu trúc mạng 69 3x4x2 68 3.25 4x3x2 Kết ước lượng nồng độ khí H2S với cấu trúc mạng 3.26 Cấu trúc mạng 4x4x2 70 3.27 Kết ước lượng nồng độ khí NH3 với cấu trúc mạng 71 4x3x2 69 3.28 4x4x2 Kết ước lượng nồng độ khí H2S với cấu trúc mạng 3.29 Cấu trúc mạng lựa chọn 1x1x1 72 3.30 Đặc tnh cảm biến MQ135 đo nồng độ khí CO 72 3.31a Xấp xỉ đặc tính cảm biến MQ135 đo khí CO 73 3.31b Mạng MLP chuẩn hóa điện áp đầu cảm biến từ 0÷5V 73 3.31c Đặc tnh cảm biến MQ135 sau tuyến tính hóa 74 3.32 Đặc tnh cảm biến TGS2600 đo nồng độ khí CO 74 3.33a Xấp xỉ đặc tính cảm biến TGS2600 75 3.33b Mạng MLP chuẩn hóa điện áp đầu 75 3.33c Đặc tnh cảm biến TGS2600 sau tuyến tnh hóa 76 3.34 Đặc tnh cảm biến MQ7 đo nồng độ khí CO 76 3.35a Mạng MLP chuẩn hóa điện áp đầu 77 3.35b Đặc tnh cảm biến MQ7 sau tuyến tính hóa 77 3.35c Đặc tnh sau hiệu chỉnh cảm biến MQ7 77 4x4x2 x 71 3.36 Đặc tnh cảm biến TGS2444 đo nồng độ khí NH3 78 3.37a Xấp xỉ đặc tính cảm biến TGS2444 đo khí NH3 78 3.37b Mạng MLP chuẩn hóa điện áp đầu 78 3.37c Đặc tnh cảm biến TGS2444 sau tuyến tnh hóa 79 3.38 Các kết bù ảnh hưởng nhiệt độ độ ẩm tuyến 81 3.39 thiên Kết bù ảnh hưởng nhiệt độ độ ẩm tuyến tnh hóa tính hóa đặc tính cảm biến nồng độ khí biến o 81 đặc tnh cảm biến nồng độ khí biến thiên (T=35 C, RH=80%) (a) sai lệch so với đặc tính tuyến tính lý tưởng 3.40 (b) Kết bù ảnh hưởng nhiệt độ độ ẩm tuyến tnh 3.41 (nồng Kết ước lượng thành phần khí NH3 chưa bù ba 3.42 3.43 3.44 hóa đặc tính cảm biến nhiệt độ độ ẩm thay đổi cảm biến trường hợp nhiệt độ biến thiên ngẫu nhiên từ Các kết ước lượng thành phần NH3 bù ba cảm biến trường hợp nhiệt độ biến thiên ngẫu nhiên từ o 30÷35 C, độ ẩm từ ÷50% Các kết ước lượng thành phần khí H2S chưa bù ba cảm biến trường hợp nhiệt độ biến thiên ngẫu nhiên Các kết ước lượng thành phần khí H2S từ giá trị đo bù ba cảm biến trường hợp nhiệt độ biến 82 85 86 86 87 o thiên ngẫu nhiên từ 30 ÷ 35 C, độ ẩm từ 45 ÷ 50% 4.1 Sơ đồ khối thiết bị đo 90 4.2 Thiết bị chế tạo 91 4.3 Thiết bị đo với bình khí chuẩn H2S 92 xi 4.4 4.5 4.6 4.7 Lò tạo mơi trường đo có nhiệt độ độ ẩm chuẩn đạt o o T C=20 C, RH=65% Thiết bị đặt khoang lò để tạo giá trị độ ẩm nhiệt độ khác Lò tạo mơi trường đo có nhiệt độ độ ẩm đạt To C=40oC, RH=33% Lò tạo mơi trường đo có nhiệt độ độ ẩm đạt To C=30oC, RH=85% 4.8 Kết so sánh trước sau bù ANN mô 4.9 với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=33% Kết so sánh trước sau bù ANN thực nghiệm 4.10 o o với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=33% Kết so sánh trước bù mô trước bù o 92 92 93 93 95 95 96 thực nghiệm với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm 4.11 4.12 4.13 4.14 4.15 4.16 RH=33% Kết so sánh sau bù mô sau bù o ANN thực nghiệm với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=33% Kết so sánh trước sau bù ANN mô o với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=85% Kết so sánh trước sau bù thực nghiệm với o nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=85% Kết so sánh trước bù mô trước bù o thực nghiệm với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C độ ẩm RH=85% Kết so sánh bù mô nồng độ khí o chuẩn =10ppm với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C Kết so sánh bù thực nghiệm nồng độ khí o chuẩn =10ppm với nhiệt độ thay đổi (20÷50) C xii 97 97 98 98 99 99 ... trừ tính phản ứng đa khí điều chỉnh đặc tính để nâng cao chất lượng cho cảm biến bán dẫn đo nồng độ chất khí Chương Mơ giải pháp nâng cao chất lượng cảm biến đo nồng độ khí đề xuất Ở chương tác... CẢM BIẾN BÁN DẪN ĐO NỒNG ĐỘ KHÍ TRONG MƠI TRƯỜNG CƠNG NGHIỆP Trong chương trình bày tiêu chuẩn chất lượng số chất khí độc hại mơi trường khơng khí, để từ làm sở lựa chọn cảm biến đo nồng độ khí. .. quan cảm biến bán dẫn đo nồng độ khí môi trường công nghiệp Giới thiệu cảm biến bán dẫn, số yếu tố ảnh hưởng đến chất lượng phép đo, tổng quan cơng trình nghiên cứu phương pháp nâng cao chất lượng