PTVL-Bai 4- Hien Vi Dien Tu Quet - SEM

CÁC PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH VẬT LIỆU (Materials Characterization) Bài Hiển vi điện tử quét Scanning Electron Microscopy (SEM) TS Nguyễn Quốc Chính nqchinh@vnuhcm.edu.vn SEM Copper Oxide Bề mặt CD-ROM SEM ống nanoTi Sợi nano cuûa MnO2 Pseudocoloured SEM photograph of a synthetically prepared calcium carbonate crystal after inhibition of polymer Specimen was carbon coated and imaged using highvacuum mode of the FEI Quanta 200 scanning electron microscope 4/3/20 15 Nguyên tắc hoạt động Quét chùm tia electron bề mặt mẫu Đo tín hiệu phát ra, từ xây dựng:  Hình ảnh bề mặt mẫu  Bản đồ phân bố nguyên tố  Phân tích thành phần ngun tố (trên tồn bề mặt, vùng cụ thể) 4/3/2015 Các thành phần Nguồn tạo electron Thấu kính điện tử Hệ thống chân không Buồng đặt mẫu, giá gắn mẫu Đầu dò Bộ xử lý số liệu 4/3/2015 Sơ đồ thiết bị Dòng Electron Tương tác Electron –Mẫu Phần tạo hình ảnh 4/3/20 15 Sơ đồ máy SEM 4/3/2015 10 ...