Thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc kiểu áp trở

NGUYN VN TON B GIO DC V O TO TRNG I HC BCH KHOA H NI VIN O TO QUC T V KHOA HC VT LIU - NGUYN VN TON KHOA HC VT LIU THIT K CH TO CM BIN GIA TC KIU P TR LUN VN THC S KHOA HC VT LIU KHO 2009 NGI HNG DN KHOA HC PGS.TS V NGC HNG H NI - 2011 B GIO DC V O TO TRNG I HC BCH KHOA H NI VIN O TO QUC T V KHOA HC VT LIU NGUYN VN TON THIT K CH TO CM BIN GIA TC KIU P TR LUN VN THC S KHOA HC VT LIU NGI HNG DN KHOA HC PGS.TS V NGC HNG H Ni - Nm 2011 LI CAM OAN Tụi xin cam oan õy l kt qu nghiờn cu ca bn thõn tụi, di s hng dn ca PGS.TS V Ngc Hựng v tụi xin hon ton chu trỏch nhim v li cam oan ca mỡnh Hc viờn LI CM N Qua quỏ trỡnh hc v lm vic ti Vin o to Quc t v Khoa hc Vt liu (ITIMS), Trng i hc Bỏch khoa H Ni tụi ó hon thnh bn lun ny Trc ht tụi xin gi li cm n chõn thnh ti PGS.TS V Ngc Hựng, ngi thy ó luụn tn tỡnh hng dn, giỳp , to mi iu kin tt nht cho tụi sut thi gian hc cng nh lm vic ti Vin ITIMS Cm n cỏc thy, cỏc cụ cng nh cỏc ng nghip ti Vin ITIMS ó giỳp ch bo tụi sut quỏ trỡnh hc Cm n cỏc bn th lp Hng Yờn 2009, Cỏn b phũng o to, Khoa in - in t Trng i hc S phm K thut Hng Yờn ó giỳp tụi thi gian hc ti Trng i hc S phm K thut Hng Yờn Vi v v tụi Cm n em rt nhiu vỡ nhng gỡ em ó cho anh, giỳp cho anh Anh yờu m em nhiu lm Cui cựng tụi xin gi li cm n ti gia ỡnh, ngi thõn, ban bố tụi, nhng ngi ó ng viờn v giỳp tụi rt nhiu thi gian qua Hc viờn DANH MC CC BNG Trang Bng 1.1 H s ỏp in tr khụng ph thuc i vi n tinh th Silic Error! Bookmark not defined Bng 1.2 Bng cỏc h s ỏp tr song song v vuụng gúc theo cỏc hng khỏc E rror! Bookmark not defined Bng 1.3 in tr sut on nhit v cỏc h s ỏp in tr nhit phũng .Er ror! Bookmark not defined Bng 1.4.H s ỏp in tr mt h cỏcError! Bookmark not defined trc ta Bng 2.1.Bng thụng s nh hng tc n mũn Error! Bookmark not defined DANH MC CC HèNH V, TH Trang Hỡnh 1.1 S ca cỏc thnh phn MEMS (a), s cu to mt thit b MEMS hon chnh Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.2.Hỡnh minh kớch thc cỏc vi cu trỳc MEMS Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.3.Quy trỡnh ch to cỏc cu trỳc MEMS di dng m Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.4.Mụ hỡnh toỏn hc cu trỳc cm bin gia tc Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.5.Mt s cu trỳc c ca cm bin gia tc Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.6.Mt cu trỳc cm bin gia tc mi Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.7.Cu trỳc cm bin gia tc kiu ỏp in tr Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.8 (a) Hỡnh v cu trỳc cm bin ỏp in mng dy, (b) nh SEM cu trỳc cm bin gia tc ỏp in Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.9 Nguyờn lý hot ng ca gia tc kiu t (a) Thay i khong cỏch hai bn t (b) Thay i din tớch gia hai bn t Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.10.Quy c h trc ta cỏc trờn phin Silic Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.11 Hiu ng ỏp in tr song song (a) v hiu ng ỏp in tr dc (b) Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.12.Cỏc h s ỏp in tr ca silic loi p mt (111)(Pa-1) Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.13.Cỏc h s ỏp in tr ca silic loi p mt (100)(Pa-1) Error! Bookmark not defined Hỡnh 1.14.Cỏc h s ỏp in tr ca silic loi p mt (110)(Pa-1) Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.1 Ba phng phỏp quang khc: (a): Phng phỏp tip xỳc; (b): Phng phỏp trng gn; (c): Phng phỏp chiu - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.2 Thit b quang khc hai mt ti Vin ITIMS Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.3 Phõn loi cỏc phng phỏp n mũn khụ - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.4 Cỏc c ch n mũn - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.5 Cu trỳc h thng n mũn khụ Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.6 Vai trũ ca plasma - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.7 Quy trỡnh n mũn khụ Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.8 H n mũn khụ RIE 10iP ti ITIMS - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.9 Mt n PR - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.10 Mt n BF - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.11 Mt n MG Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.12 Mt n CH - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.13 Mt n IC Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.14 Mt n MB Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.15 B du so mt n - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.16 Cỏc bc chớnh quy trỡnh cụng ngh ch to cm bin Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.17 Hỡnh nh in tr: sau quang khc (a), sau khuch tỏn Bohr (b) Er ror! Bookmark not defined Hỡnh 2.18 Hc tip xỳc c to thnh sau n mũn lp ụxớt Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.19 Hỡnh dng dõy dn sau n mũn nhụm - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.20 c trng I-V ca ỏp in tr trc Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.21 c trng I-V ca ỏp in tr sau - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.22 Hỡnh nh mt trc cm bin sau bc ch to dm - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.23 nh quang hc mt sau sau n mũn to khe dao ng Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.24 nh quang hc mt sau sau n mũn khụ Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.25 Cu trỳc cm bin sau c ch to - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.26 Phin silic trờn ú ch to cm bin gia tc- Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.27 Cỏc loi v chõn cm ph bin: kim loi, gm v nha - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.28 Cu trỳc v cm bin t thit k v ch to - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.29 K thut hn dõy siờu õm (a, b), hỡnh nh mi hn (c) Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.30 Mỏy hn dõy Westbond 7400C - Error! Bookmark not defined Hỡnh 2.31 Hỡnh nh cm bin ó hn dõy v gn vo - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.1 S h o gia tc tng quỏt - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.2 Cỏc thit b h o gia tc Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.3 S h chun hoỏ cm bin gia tc Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.4 S h o Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.5 S nguyờn lý mch khuch i tớn hiu cm bin gia tc - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.6 CARD thu thp tớn hiu NI USB-6009 Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.7 Mỏy o gia tc chun AVT-CZ Mitutyo Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.8 S chng trỡnh Labview Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.9 Giao din chng trỡnh ghộp ni - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.10 Nhiu trờn cu in tr az - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.11 Tớn hiu in ỏp trờn cu az ti 2.5g v tn s 20Hz Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.12 Tớn hiu in ỏp trờn cu az ti 3g v tn s 50Hz - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.13 Tớn hiu in ỏp trờn cu az ti 2.5g v tn s 80Hz Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.14 Tớn hiu theo di gia tc tn s 20Hz Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.15 Tớn hiu theo di gia tc tn s 50Hz Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.16 Tớn hiu theo di gia tc tn s 80Hz Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.17 Nhiu trờn cu in tr Az ca cm bin 2x2 - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.18 Tớn hiu ti gia tc 1g 50Hz - Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.19 Tớn hiu theo di gia tc t n 3g Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.20 c trng tn s theo phng z gia tc 1g Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.21 c trng tn s theo phng z gia tc 2g Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.22 c trng tn s theo phng z gia tc 3g Error! Bookmark not defined Hỡnh 3.23 c trng tn s ca cm bin 2x2 theo phng z Error! Bookmark not defined M U Cụng ngh MEMS l ngnh khoa hc cụng ngh v ng dng da trờn cụng ngh mch t hp vi s giao thoa ca cỏc lnh vc khoa hc k thut khỏc nh c, quang, nhit, in, in t, húa, sinh thc hin vic thu nh cỏc linh kin, cụng ngh MEMS ó phỏt trin t cụng ngh vi c t n cụng ngh vi c khụ, ri ti cụng ngh LIGA, cụng ngh vi c b mt Lnh vc MEMS ang phỏt trin ngy cng mnh trờn th gii vi hn 6000 Trung tõm nghiờn cu v phỏt trin v MEMS cỏc Trng i hc, Vin nghiờn cu v cỏc hóng cụng nghip vi s tin u t hng nm lờn ti hn t USD cho vic nghiờn cu v ch to th nghim Cỏc ng dng ca MEMS ht sc a dng, cú mt hu ht cỏc lnh vc cuc sng, ú quan trng nht l cỏc chng loi linh kin nh tớch hp cm bin ỏp sut ngnh cụng nghip ụtụ, u phun mc ng dng cỏc mỏy in, cỏc cm bin quỏn tớnh (bao gm cm bin ỏp sut, cm bin gia tc v cm bin tc gúc) ng dng mỏy bay v tờn la Cỏc cm bin gia tc MEMS cú nhng u im ni tri nh nhy cao, n nh, kớch thc nh nh vỡ th c ng dng nhiu thit b y t cng nh robot cú th ng dng cm bin gia tc thc tin, vic nghờn cu hon thin cụng ngh nhm nõng cao nhy v tớnh n nh cng nhthunh kớch thc l ang c quan tõm nghiờn cu Trong kuụn kh lun ny thit k ch to cm bin gim tc trờn c s cụng ngh MEMS ó c trin khai nghiờn cu Bỡa Lun c chia lm chng Chng gii thiu v cỏc liờn quan ti cụng ngh MEMS Trong chng ny cm bin gia tc vi cỏc tớnh cht in v tớnh cht in c trng ó c cp Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Chng trỡnh by quy trỡnh cụng ngh ch to v úng gúi cm bin gia tc Chng cp cu trỳc v nguyờn lý hot ng ca cm bin gia tc trờn c s phng phỏp rung Cỏc kt qu kho sỏt c trng in ỏp - gia tc cng nh c trng tn s ca cm bin ó c trỡnh by Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Phn mm iu khin h o iu khin v ghi li d liu quỏ trỡnh o, mt chng trỡnh mỏy tớnh nh ó c xõy dng s dng phn mm ghộp ni LABview LABview s hu mt ngụn ng lp trỡnh ho c s dng rng rói cụng nghip, hc thut cng nh cỏc phũng thớ nghim nh mt phn mm chun cho thu thp x lý s liu v iu khin, bao gm tt c cỏc th vin cụng c cn thit cho thu thp d liu, phõn tớch s liu v biu din kt qu Vi ngụn ng lp trỡnh ho ny, chỳng ta cú th lp trỡnh bng cỏch s dng gin ho (graphical block diagram) biờn dch cỏc lnh thnh mó mỏy to cỏc block thu thp, x lý tớn hiu t cm bin v hin th kt qu o cỏc thụng s cn thit (Hỡnh 3.7) Hỡnh 3.8 S chng trỡnh Labview Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 68 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Trong s trờn gm cú nhiu mụun ghộp ni vi bao gm: thu tớn hiu, b lc tớn hiu, s lý d liu(v th), v b chia tớn hiu Quan trng nht l b thu tớn hiu v b lc tớn hiu B lc tớn hiu õy lc tớn hiu theo di tn ta quy nh tớn hiu thu c l tt nht Giao din ca chng trỡnh Hỡnh 3.9 Giao din chng trỡnh ghộp ni 3.2 Kho sỏt c trng ca cm bin gia tc Vi h o ó gii thiu trờn, ta tin hnh kho sỏt cỏc c trng ca cm bin gia tc Trong khuụn kh ỏn ny s kho sỏt c trng nhy v c trng tn s i vi hai loi cm bin gia tc kớch thc 1x1 mm2 v 2x2 mm2 i vi loi cm bin gia tc 1x1 mm2 ta s kho sỏt c trng nhy t gia tc theo Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 69 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr phng z Vi loi cm bin 2x2 mm2 , mc ớch s dng ch yu ng dng o rung ca cu nờn s ch kho sỏt nhy t gia tc theo phng z C hai loi cm bin u kho sỏt c trng tn s 3.2.1 c trng nhy ca cm bin 3.2.1.1 Cm bin loi 1x1 ỏnh giỏ kh nng hot ng ca cm bin, c trng in ỏp ph thuc vo gia tc ó c kho sỏt Phng phỏp o c trng tn s trờn c s thit b rung hot ng tn s 20Hz, 50 Hz v 80Hz Gia tc c thay i bng cỏch thay i biờn dao ng ca b rung in ỏp ngun cung cp cho cỏc cu Wheaston ca cm bin l 3V H s khuch i in ỏp l 10000 Kt qu o c trng cho thy in ỏp nhiu trờn cu in tr az vo khong 250 mV (Hỡnh 3.10) Nhiễu trê n cầu điện trở a z 0.10 Điện p (V) 0.05 0.00 -0.05 -0.10 -0.15 0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25 Thời gian (s) Hỡnh 3.10 Nguyn Vn Toỏn Nhiu trờn cu in tr az ITIMS-2009 70 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr gia tc 2.5g v tn s 20Hz tớn hiu in ỏp c biu din nh trờn (Hỡnh 3.11) Hỡnh 3.11 Tớn hiu in ỏp trờn cu az ti 2.5g v tn s 20Hz gia tc 3g v tn s 50Hz tớn hiu in ỏp c biu din nh trờn (Hỡnh 3.12) Hỡnh 3.12 Nguyn Vn Toỏn Tớn hiu in ỏp trờn cu az ti 3g v tn s 50Hz ITIMS-2009 71 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr gia tc 2.5g v tn s 80Hz tớn hiu in ỏp c biu din nh trờn (Hỡnh 3.13) Hỡnh 3.13 Tớn hiu in ỏp trờn cu az ti 2.5g v tn s 80Hz Gi nguyờn tn s dao ng, thay i gia tc di 1g n 3g Kt qa o biờn in ỏp theo biờn gia tc c biu din trờn (Hỡnh 3.14, Hỡnh 3.15 v Hỡnh 3.16) Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 72 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Hỡnh 3.14 Tớn hiu theo di gia tc tn s 20Hz Hỡnh 3.15 Tớn hiu theo di gia tc tn s 50Hz Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 73 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Hỡnh 3.16 Tớn hiu theo di gia tc tn s 80Hz nhy theo phng z c tớnh theo cụng thc : Sz = Vz az (3.3) Trong ú, Vz l in ỏp ti cu in tr az, az l gia tc theo phng z Kt qu thu c cho thy in ỏp ca cm bin ph thuc tuyn tớnh vo gia tc az di giỏ tr t 1g n 3g cỏc gii tn s 20Hz, 50Hz v 80Hz nhy ca gia tc i vi thnh phn gia tc az Tn s (Hz) 20 50 80 Nguyn Vn Toỏn nhy (àV/g) 60 50 40 ITIMS-2009 74 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr 3.2.1.2 Cm bin loi 2x2 Khi kho sỏt nhy ca cm bin loi 2x2, ta tin hnh cỏc bc hon ton tng t nh i vi cm bin loi 1x1 nhiờn s khỏc v kớch thc gia trng cng nh dm v s dng cho mc ớch ng dng khỏc nờn cm bin loi 2x2 s c kho sỏt theo di gia tc t 0g n 3g vi tn s l 50Hz Nh ó trỡnh by trờn mc tiờu ng dng ca loi cm bin 2x2 ny ch yu l xỏc nh rung ca cu cho nờn ch kho sỏt nhy ca cm bin chu tỏc dng ca gia tc theo phng z Nhiu trờn cu in tr az o c l khong 0.13V vi h s khuch i 1000 ln Nhiễu cầu điện trở a z 0.04 0.02 Điện p (V) 0.00 -0.02 -0.04 -0.06 0.00 0.05 0.10 0.15 0.20 0.25 Thời gian (s) Hỡnh 3.17 Nguyn Vn Toỏn Nhiu trờn cu in tr Az ca cm bin 2x2 ITIMS-2009 75 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Tớn hiu ca cm bin ti gia tc 1g tn s 50Hz c th hin nh trờn (Hỡnh 3.18) Gi nguyờn tn s 50Hz , vi cm bin loi 2x2 ta kho sỏt n gia tc 3g cho kt qu nh (Hỡnh 3.19) 0.4 Điện p (V) 0.2 0.0 -0.2 -0.4 -0.01 0.00 0.01 0.02 0.03 0.04 0.05 0.06 0.07 0.08 Thời gian (s) Hỡnh 3.18 Nguyn Vn Toỏn Tớn hiu ti gia tc 1g 50Hz ITIMS-2009 76 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr 3.0 2.5 Điện p (V) 2.0 1.5 1.0 0.5 0.0 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 Gia tốc (g) Hỡnh 3.19 Tớn hiu theo di gia tc t n 3g Kt qu cho thy i vi cm bin loi 2x2mm nhy theo phng z l 0,86 mV/g gn vi kt qu mụ phng l 0,98 mV/g S sai lch ny xy quỏ trỡnh úng v cm bin cũn cha c tt, bờn cnh ú cú th mch o cha c hon thin ti u 3.2.2 ctrng tn s cacambiờn 3.2.2.1 Cm bin loi 1x1 c trng tn s ca cm bin cú mt vai trũ rt quan trng bi nú cho phộp xỏc nh rng di tn lm vic ca linh kin c trng tn s i vi cỏc mode dao ng vuụng gúc (az) c trỡnh by trờn (Hỡnh 3.20, Hỡnh 3.21 v Hỡnh 3.22) tng ng vi cỏc gia tc 1g, 2g v 3g Kt qu cho thy rng di tn ca cm bin gia tc ch to cú giỏ tr c 100 Hz Biờn gim tn s cao cú th l s suy hao ln gõy bi hiu ng trt ca lp khớ dc b mt cm bin Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 77 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Hỡnh 3.20 c trng tn s theo phng z gia tc 1g Hỡnh 3.21 c trng tn s theo phng z gia tc 2g Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 78 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Hỡnh 3.22 c trng tn s theo phng z gia tc 3g 3.2.2.2 Cmbinloi2x2 Tng t nh cm bin loi 1x1 ta cng kho sỏt c trng tn s ca loi cm bin 2x2 theo phng z v kt qu cho thy cm bin loi 2x2 cú rng di tn hot ng 80Hz Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 79 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr 1.0 0.8 0.6 0.4 0.2 0.0 100 200 Tần số (Hz) Hỡnh 3.23 c trng tn s ca cm bin 2x2 theo phng z Nh vy, cm bin gia tc kiu ỏp in tr ó c ch to trờn c s cụng ngh vi c khụ Kt qu thu c cho thy in ỏp ca cm bin ph thuc tuyn tớnh vo ti gia tc az di giỏ tr t 1g n 3g Tng ng nhy ca cm bin gia tc i vi thnh phn gia tc az t giỏ tr tng ng l 40àV/g, 50àV/g v 60 àV/g i vi cm bin loi 1x1 Mt khỏc, kt qu kho sỏt cho thy o s ph thuc tớn hiu vo thnh phn gia tc theo phng z, ln tớn hiu i vi cỏc thnh phn vuụng gúc tng ng z l nh Di thụng ca cm bin l khong 100 Hz i vi loi cm bin 2x2 thỡ nhy theo phng z l 0.86 mV/g, di thụng l 80Hz Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 80 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr KT LUN V KIN NGH Lun ỏn Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp in tr ó c hon thnh, nh mt s phỏt trin tip ca cỏc nghiờn cu trc õy ti nhúm MEMS, thuc Vin ITIMS, i vi cm bin gia tc núi riờng v cm bin MEMS núi chung Trong khuụn kh lun ny, cỏc ó c thc hin bao gm: ó tỡm hiu v lý thuyt cụng ngh MEMS núi chung v lý thuyt v cm bin gia tc kiu ỏp tr Trong ú, bi toỏn phõn tớch ng sut giỳp thit k cu trỳc c v thit k cỏc cu in tr xỏc nh ba thnh phn ng sut mt cỏch c lp Bi toỏn in ó c thc hin tớnh toỏn nhy cm bin v ti u hoỏ cu trỳc cm bin, ú s ph thuc ca nhy vo kớch thc dm v gia trng ó c kho sỏt ó tin hnh ch to cm bin bng cụng ngh vi c khụ v tin hnh úng v cm bin gia tc s dng loi v chỳng tụi thit k ch to ó tin hnh kho sỏt nhy v c trng tn s ca cm bin gia tc ba bc t kiu ỏp in tr Kt qu o nhy cm bin khỏ phự hp vi kt qa thu c t bi toỏn mụ phng Tuy nhiờn, khuụn kh lun ny, cũn nhiu cha c gii quyt hon thin hn, tng lai, cn gii quyt tip mt s sau: V n mũn khụ: cn kho sỏt thờm s nh hng ca cụng sut bias; cụng sut ICP; thi gian ca mi bc n mũn v lng ng; nhm t c tc n mũn ln nht m khụng b hin tng vi c v iu khin c gúc nghiờng ca vỏch n mũn Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 81 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr V mụ phng: cn kho sỏt mụ phng cỏc c trng ng ca cm bin, ú cú damping (do nh hng ca cỏc lp khụng khớ xung quanh gia trng) V thit k cm bin: cn tin hnh phõn tớch hot ng c hc ca cm bin trờn c s lý thuyt n hi c in, ú, ch yu liờn quan ti bin dng ca cỏc thnh dm chu tỏc dng ca ng sut Trờn c s cỏc kt qu ca lý thuyt ny, ta s ch ng hn vic thit k cm bin Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 82 ... Khi gia trng Lũ xo Chuyn v Hỡnh 1.4 Mụ hỡnh toỏn hc cu trỳc cm bin gia tc r r Trong ú, F l lc tỏc dng lờn gia trng, p l mụmen xung r lng, M l lng gia trng v a l gia tc ca gia trng Nh vy, gia. .. nh Khi gia trng Nguyn Vn Toỏn ITIMS-2009 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr Hỡnh 1.6 Mt cu trỳc cm bin gia tc mi 1.2.2 Cm bin gia tc ỏp in tr Cm bin gia tc ỏp in tr l mt nhng cm bin gia tc... ITIMS-22009 Thit k ch to cm bin gia tc kiu ỏp tr gia tc, nờn ta cú mi quan h gia in dung v gia tc Bng cỏc mch chuyn i in ỏp o in dung s cú c s ph thuc gia in ỏp theo gia tc Thụng thng cú hai cỏch