1. Trang chủ
  2. » Luận Văn - Báo Cáo

Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở

54 258 0

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

THÔNG TIN TÀI LIỆU

Thông tin cơ bản

Định dạng
Số trang 54
Dung lượng 4,52 MB

Nội dung

Ngày đăng: 25/03/2015, 11:09

Nguồn tham khảo

Tài liệu tham khảo Loại Chi tiết
[1] Koch, M., A. G. R. Evans, and A. Brunnschweiler, Microfluidic Technology and Applications, Baldock, England: Research Studies Press Ltd., 2000 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Microfluidic Technology and Applications
[2] Gravesen, P., J. Branebjerg, and O. S. Jensen, Microfluidics - A Review, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 3, 1993, pp. 168–182 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Microfluidics - A Review
[3] Abramowitz, S., DNA Analysis in Microfabricated Formats, Journal of Biomedical Microdevices, Vol. 1, No. 2, 1999, pp. 107–112 Sách, tạp chí
Tiêu đề: DNA Analysis in Microfabricated Formats
[4] Shoji, S., and M. Esashi, Microflow Devices and Systems, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 4, 1994, pp. 157–171 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Microflow Devices and Systems
[5] Gravesen, P., J. Branebjerg, and O. S. Jensen, Microfluidics - A Review, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 3, 1993, pp. 168–182 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Microfluidics - A Review
[6] Gass, V., et al., Integrated Flow-Regulated Silicon Micropump, Proc. Transducers, Yokohama, Japan, 1993, pp. 1048–1051 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Integrated Flow-Regulated Silicon Micropump
[7] Elwenspoek, M., et al., Towards Integrated Microliquid Handling Systems, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 4, 1994, pp. 227–245 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Towards Integrated Microliquid Handling Systems
[8] Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft and Neil White, MEMS Mechanical Sensors, Art ch Hous , Inc.Boston • London Sách, tạp chí
Tiêu đề: MEMS Mechanical Sensors
[9] Richter, M., et al., A Chemical Microanalysis System as a Microfluid System Demonstrator, Proc. Transducers, Chicago, IL, 1997, pp. 303–306 Sách, tạp chí
Tiêu đề: A Chemical Microanalysis System as a Microfluid System Demonstrator
[10] Schabmueller, C. G. J., et al., Micromachined Chemical Reaction System Realized on a Microfluidic Circuitboard, Proc. Eurosensors XII, Southampton, England, Vol. 1, Institute of Physic Publishing, Bristol, England, 1998, pp. 571–574 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Micromachined Chemical Reaction System Realized on a Microfluidic Circuitboard
[11] J. Wei, P.M. Sarro, T. Chu Duc, A piezoresistive sensor for pressure monitoring at inkjet nozzle, Proceeding of IEEE Sensors 2010, pp. 2093-2096, 2010 Sách, tạp chí
Tiêu đề: A piezoresistive sensor for pressure monitoring at inkjet nozzle
[12] J. Wei, T. Chu Duc, M. van der Velden & P.M. Sarro, Tuning of DRIE process for Capacitive Sensor in Inkjet Nozzle, Proc. the 2007 annual workshop on semiconductor advances for future electronics and sensors (SAFE 2007), pp.625-628, 2007 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Tuning of DRIE process for Capacitive Sensor in Inkjet Nozzle
[13] J. Wei, Silicon MEMS for detection of liquid and solid fronts, PhD Thesis, Delft University of Technology, 2010 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Silicon MEMS for detection of liquid and solid fronts
[14] J. C. Maxwell, A treaties on electricity and Magnetism, Oxford: Clarendon, 1873 Sách, tạp chí
Tiêu đề: A treaties on electricity and Magnetism
[15] Ali Heidary, A Low-Cost Universal Integrated Interface for Capacitive Sensors, Master of Science Electrical Engineering, Electronic Tehran University, Tehran, Iran Sách, tạp chí
Tiêu đề: A Low-Cost Universal Integrated Interface for Capacitive Sensors
[16] Stephen D. Senturia, Microsystem design, Kluwer academic publishers Sách, tạp chí
Tiêu đề: Microsystem design
[17] Chang Liu, Foundations of MEM, Mechanical Engineering Department and the Electrical Engineering Department of Northwestern University, Evanston Sách, tạp chí
Tiêu đề: Foundations of MEM
[18] Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White, MEMS mechanics sensors, Artech House Inc Sách, tạp chí
Tiêu đề: MEMS mechanics sensors
[19] D.B. Wallace and D.J. Hayes, Solder Jet – Optics Jet – AromaJet –Reagent Jet – Tooth Jet and other Applications of Ink-Jet Printing Technology, Proc. of IS&T’s NIP18, San Diego, pp. 228-235, 2002 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Solder Jet – Optics Jet – AromaJet –Reagent Jet – Tooth Jet and other Applications of Ink-Jet Printing Technology
[20] H. Ren, R.B. Fair, M.G. Pollack, Automated on-chip droplet dispensing with volume control by electro-wetting actuation and capacitance metering, Sens.Act. B, Vol. 98, pp. 319-327, 2004 Sách, tạp chí
Tiêu đề: Automated on-chip droplet dispensing with volume control by electro-wetting actuation and capacitance metering

Xem thêm

HÌNH ẢNH LIÊN QUAN

Hình 1.3 – Hình ảnh phác họa cảm biến áp điện trở đề u t ch vòi phun của đầu in máy in phun [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 1.3 – Hình ảnh phác họa cảm biến áp điện trở đề u t ch vòi phun của đầu in máy in phun [11] (Trang 11)
Hình 1.4 – Hình ảnh phác họa cảm biến điện dung cho vòi phun của đầu in để giám sát mức ch t lỏng cỡ 10-12pl [12,13] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 1.4 – Hình ảnh phác họa cảm biến điện dung cho vòi phun của đầu in để giám sát mức ch t lỏng cỡ 10-12pl [12,13] (Trang 12)
Hình 3.1 - Kích thước thay đổi của một điện trở dưới ứng xu t theo chiều dọc [17] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.1 Kích thước thay đổi của một điện trở dưới ứng xu t theo chiều dọc [17] (Trang 21)
Hình 3.5 - Sơ đồ phác họa nguyên tắc cảm biến của thiết bị đề xu t: - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.5 Sơ đồ phác họa nguyên tắc cảm biến của thiết bị đề xu t: (Trang 25)
Hình 3.8 - Bản vẽ sơ đồ vị trí của áp điện trở cùng với các kết nối của chúng [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.8 Bản vẽ sơ đồ vị trí của áp điện trở cùng với các kết nối của chúng [11] (Trang 28)
Hình 3.9 - Các bước chính chế tạo cảm biến áp điện trở [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.9 Các bước chính chế tạo cảm biến áp điện trở [11] (Trang 29)
Hình 3.10 cho thấy thiết bị được chế tạo có độ dầy màng vòi phun là 1 μm và rộng 160 μm - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.10 cho thấy thiết bị được chế tạo có độ dầy màng vòi phun là 1 μm và rộng 160 μm (Trang 29)
Hình 3.12 - Sự biến đổi trở kháng đ được vơi lưu lượng nước qua vòi phun [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.12 Sự biến đổi trở kháng đ được vơi lưu lượng nước qua vòi phun [11] (Trang 30)
Hình 3.11 – Hình ảnh các thiết lập ch cảm biến cho quá trình đ [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.11 – Hình ảnh các thiết lập ch cảm biến cho quá trình đ [11] (Trang 30)
Hình 3.13 - Mối quan hệ giữa tốc độ dòng chảy và áp su t ch t lỏng tác dụng lên màng vòi phun [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.13 Mối quan hệ giữa tốc độ dòng chảy và áp su t ch t lỏng tác dụng lên màng vòi phun [11] (Trang 31)
Hình 3.14 - Sự biến đổi trở kháng s với áp su t ch t lỏng tác động lên màng [11] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 3.14 Sự biến đổi trở kháng s với áp su t ch t lỏng tác động lên màng [11] (Trang 31)
Hình 4.1a chỉ ra mô hình điện tương đương của vòi phun cần chế tạo, cho thấy các thành phần điện chính và các yếu tố ký sinh cho một vòi phun một phần chất lỏng - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 4.1a chỉ ra mô hình điện tương đương của vòi phun cần chế tạo, cho thấy các thành phần điện chính và các yếu tố ký sinh cho một vòi phun một phần chất lỏng (Trang 33)
Hình 4.2 - Sơ đồ của hệ thống khuếch đại lock-in [13] - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 4.2 Sơ đồ của hệ thống khuếch đại lock-in [13] (Trang 35)
Hình 4.3 – Hệ thống khuếch đại lock-in đầu ra cho cảm biến tụ - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 4.3 – Hệ thống khuếch đại lock-in đầu ra cho cảm biến tụ (Trang 36)
Hình 4.5 cho thấy sơ đồ cấu trúc mạch đo lường. Tín hiệu V input đại diện cho sự thay đổi của điện dung cảm biến do sự chuyển động khum - Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở
Hình 4.5 cho thấy sơ đồ cấu trúc mạch đo lường. Tín hiệu V input đại diện cho sự thay đổi của điện dung cảm biến do sự chuyển động khum (Trang 38)

TỪ KHÓA LIÊN QUAN

TRÍCH ĐOẠN

Thiết kế cảm biến áp điện trở giám sát vòi phun Mô hình điện của cảm biến điện dung thiết kế Hệ thống đo lường lock-in cho cảm biến kiểu tụ Cấu trúc ASIC đề xuất cho mạch đầu ra cảm biến

Thiết kế cảm biến kiểu tụ trong MEMS

Đánh giá cảm biến kiểu tụ điện thiết kế với đầu vòi phun máy in Thử nghiệm đánh giá cảm biến dòng chảy kiểu tụ thiết kế

TÀI LIỆU CÙNG NGƯỜI DÙNG

TÀI LIỆU LIÊN QUAN

w