PHƯƠNG PHÁP PHÂN TÍCH TIA X
GV: TS Lê Vũ Tuấn Hùng
Nhóm: Trương Hoàng Lộc0413189Từ Khánh Long0413187Nguyễn Mai Bảo Thy 0413236Đoàn Thị Thanh Thúy 0413206Trần Thị Khánh Chi 0413263Nguyễn Thị Thu Hương 0413299
Trang 2http://mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_nghanh.htmlDự án dịch học liệu mở:
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.htmlDự án dịch học liệu mở:
http://mientayvn.com/OCW/MIT/Co.htmlLiên hệ với người quản lí trang web:
Yahoo: thanhlam1910_2006@yahoo.comGmail: frbwrthes@gmail.com
Liên hệ với người quản lí trang web:
Gmail: frbwrthes@gmail.com
Trang 4I Nhiễu xạ tia X
II Huỳnh quang tia X
III Phổ kế quang điện tử tia X
Nội dung
Trang 5Hãm đột ngột điện tử năng lượng cao hay dịch chuyển điện tử từ quỹ đạo cao xuống quỹ đạo thấp trong nguyên tử.
Tia X
Năm 1895, Wilhelm Roentgen khám phá ra tia X
Ứng dụng nhiều trong y học và phân tích cấu trúc tinh thể
Trang 6Nhiễu xạ tia X Huỳnh quang tia X
Phân tích cấu trúc
nguyên tố có trong mẫuPhân tích tia X
Trang 7Chùm tia X nhiễu xạ trên các mặt tinh thể của chất rắn do tính tuần hoàn của cấu trúc tinh thể tạo nên các cực đại và cực tiểu nhiễu xạ.
Tia X với nguyên tử tương tác với nhau
Hiệu quang lộ giữa các tia tán
xạ trên các mặt
ΔL = 2.d.sinθ
Nhiễu xạ tia X
Trang 8Để có cực đại nhiễu xạ thì góc tới phải thỏa mãn điều kiện:
ΔL = 2.d.sinθ = n.λ
Ở đây, n là số nguyên nhận các giá trị 1, 2,
Đây là định luật Vulf-Bragg mô tả hiện tượng nhiễu xạ tia X trên các mặt tinh thể.
3 phương pháp chụp tinh thể tia X
Phương pháp Laue
Phương pháp nhiễu xạ bột
Phương pháp đơn tinh thể quay
Trang 9Giữ nguyên góc tới của tia X đến tinh thể và thay đổi bước sóng của chùm tia X
Chùm tia X hẹp và không đơn sắc được dọi lên mẫu đơn tinh thể cố định
Ảnh nhiễu xạ gồm một loạt các vết đặc trưng cho tính đối xứng của tinh thể
Phương pháp Laue
Trang 10Xác định hướng của các trục tinh thể và tính đối xứng của các đơn tinh thể.
Do khoảng bước sóng rộng nên với một họ mặt công thức Bragg được thỏa mãn với những bước sóng khác nhau ở các bậc khác nhau
1 vết trong ảnh nhiễu xạ Laue có thể là sự chồng chập của các tia nhiễu xạ ở các bậc khác nhau gây trở ngại cho việc phân tích dựa trên độ đen của vết.
Phương pháp Laue
Trang 11Phương pháp đơn tinh thể quay
Giữ nguyên bước sóng và thay đổi góc tới.
- Phim được đặt vào mặt trong của buồng hình trụ cố định
- Mẫu đơn tinh thể được gắn trên thanh quay đồng trục với buồng
Trang 12- Chùm tia X đơn sắc tới sẽ bị nhiễu xạ trên 1 họ mặt nguyên tử của tinh thể với khoảng cách giữa các mặt là d khi trong quá trình quay xuất hiện những giá trị thỏa mãn điều kiện Bragg
Thường thì không quay tinh thể 3600 mà chỉ dao động trong 1 giới hạn góc nào đó, nhờ vậy mà số vết nhiễu xạ có thể chập vào nhau sẽ giảm đi nhiều.
- Tất cả các mặt nguyên tử song song với trục quay sẽ tạo nên các vết nhiễu xạ trong mặt phẳng nằm ngang.
Kết quả
Phương pháp đơn tinh thể quay
Kết luận:
Trang 13Phương pháp nhiễu xạ bột
- Sử dụng với các mẫu là đa tinh thể- Sử dụng một
chùm tia X song song hẹp, đơn sắc, chiếu vào mẫu
- Quay mẫu và quay đầu thu chùm nhiễu xạ trên đường tròn đồng tâm
Phổ nhiễu xạ sẽ là sự phụ thuộc của cường độ nhiễu xạ vào 2 lần góc nhiễu xạ (2θ).
Trang 14- Đối với các mẫu
màng mỏng, cách thức thực hiện có một chút khác, người ta chiếu tia X tới dưới góc rất hẹp (để tăng chiều dài tia X tương tác với
màng mỏng, giữ cố định mẫu và chỉ quay đầu thu
Phương pháp nhiễu xạ bột cho phép xác định thành phần pha, tỷ phần pha, cấu trúc tinh thể (các tham số mạng tinh thể) và rất dễ thực hiện
Trang 15Phân tích huỳng quang tia X
1913 Moseley đã thiết lập mối liên hệ giữa cấu trúc nguyên tử và sự bức xạ tia X.
Cơ sở cho phân tích huỳnh quang
1948Friedman và Birks là người đầu tiên chế tạo hệ phổ kế huỳnh quang tia X
Cuối thập kỉ 20Detecter bán dẫn ra đời, hệ phổ kế huỳnh quang tia X ngày càng phát triển
Đáp ứng nhu cầu phân tích định lượng hàm lượng các nguyên tố trong nhiều mẫu khác nhau ở nhiều lãnh vực
nghiên cứu như công nghiệp, môi trường, địa chất, dầu khí…
Lược sử phát triển
Trang 16Chú ý đến các bức xạ đặc trưngLà bức xạ đựơc tạo thành do sự dịch chuyển
điện tử từ quỹ đạo cao xuống quỹ đạo thấp
Phân tích huỳnh quang tia X
Phân tích huỳng quang tia X
Để nguyên tố phát ra bức xạ huỳnh quang tia X đặc trưngDùng 1 nguồn kích
phát gamma, tia X
Trang 17Phân tích huỳng quang tia X
Mẫu phân tích
dụng trong phương
pháp phân tích huỳnh quang tia X
1 Chuẩn bị nguồn kích thích
Trang 18Phân tích huỳng quang tia X
Nguồn đồng vị phóng xạ sử dụng trong phân tích huỳnh quang tia X
Tên
nguồn Chu kì bán rã (năm)
Trang 19Phân tích huỳng quang tia X2 Chuẩn bị mẫu
Cường độ vạch phổ
- Độ đồng đều của mẫu- Độ nhẵn của bề mặt
- Dang hạt và kích thước hạtNếu bề mặt mẫu không nhẵn, sẽ gây nên sự thay đổi các góc tới và góc ló, sự gồ ghề của bề mặt này nhiều dẫn đến tia tán xạ sinh ra nhiều nên làm sai lệch kết quả phân tích.
Mẫu phải được làm nhẵn trước khi đo
Trang 20Phân tích huỳng quang tia X2 Chuẩn bị mẫu
Chuẩn bị mẫu bộtMẫu bột ở dạng thô như
đất, quăng, khoáng …-Sấy khô
-Nhặt hết rễ cây, đá, sỏi…-Nghiền và rây thành bột (với độ mịn xác định)
Trang 21Phân tích huỳng quang tia X2 Chuẩn bị mẫu
Chuẩn bị mẫu rắn
Mẫu rắn là vật liệu dạng khối được làm bằng máy để tạo hình dạng kích thước thích hợp, bề mặt phải được làm nhẵn bóng.
Chuẩn bị mẫu dung dich
Mẫu dung dịch là dễ chuẩn bị nhất bởi vì nó luôn đồng nhất Nếu có lý do nào đó gây nên sự phân tán trong chất
lỏng thì dễ dàng khử nó bằng cách khuấy đảo
Trang 22Phân tích huỳng quang tia X3 Detector: (đầu dò ghi bức xạ)
- Có năng lượng từ 1keV – 100keV
- Có thể là loại chứ khí, nhấp nháy, bán dẫn.- Có độ phân giải từ 120eV – 200eV
Trang 23Phân tích huỳng quang tia X4 Tiến hành phân tích
Sơ đồ khối của hệ phân tích huỳnh quang tia XDetector và
buồng làm lạnh
(nitơ lỏng)
Máy tínhNguồn cao thế
Trang 24Phân tích huỳng quang tia X
- Không phá mẫu.
- Có thể phân tích nhanh với độ chính xác cao.
- Có thể phân tích cùng lúc nhiều nguyên tố
- Sai số phân tích đạt cực nhỏ.
-Đối tượng phân tích đa dạng
-Trong luyện kim: xác định thành phần nguyên tố trong hợp kim.
- Phân tích nguyên liệu gốm sứ, xi măng, thuỷ tinh.
- Xác định tuổi kim loại quý như Au, Ag, Pt…
- Xác định bề dày lớp mạ.…
Trang 25(X-ray Photoelectron Spectroscopy)
Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
1 Giới thiệu
Là kĩ thuật phân tích tính chất trên bề mặt vật liệu thông qua phổ Nó thường được dùng để xác định thành phần cơ bản, trạng thái hóa học, trang thái điện tử của các nguyên tố trên bề mặt của vật liệu.
Trang 26Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
Phát xạ điện tử trong XPS
Trang 27Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
2 Lược sử phát triển XPS:
-1887, Heinrich Rudolf Hertz
-1907, P.D.Innes thực hiện thí nghiệm với 1 ống
Rontgen, cuộn Helmholtz, 1 bán cầu từ trường và các tấm kính ảnh Ông.
- Sau thế chiến thứ II, Kai Siegbahn
Ghi nhận được 1 dãi ộng của các điện tử phát xạ
Hiệu ứng quang điện.
Tiếp tục nghiên cứu và phát triển
Trang 28- 1969, Hewlett- Packard
Ghi nhận được phổ phân giải ảnh năng lượng cao đầu tiên của NaCl
-1954, nhóm nghiên cứu của Siegbahn
Chế tạo ra thiết bị XPS đơn sắc thương mại đầu tiên.
Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
2 Lược sử phát triển XPS:
Trang 29Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
2 Cơ sở lý thuyết của XPS:
- Năng lượng liên kết của mỗi điện tử phát xạ:
- Phổ XPS biểu diễn sự phụ thuộc của số điện tử phát ra vào năng lương liên kết (Hình)
Trang 30Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
- Detector đếm số điện tử phát ra thì XPS phải được đặt trong chân không
Trang 31Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
4 Thành phần của 1 hệ XPS:
Trang 32Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
XPS được dùng để xác định:
- Những nguyên tố nào và hàm lượng của những nguyên tố đó trong bề mặt mẫu có kích thước ~10nm
- Tạp chất gì có trên bề mặt hoặc bên trong khối mẫu.
- Mật độ trang thái điện tử.
- Độ dày của 1 hay nhiều lớp mỏng của những vật liệu khác nhau.
- Trạng thái hóa học của nguyên tố trong mẫu- Năng lượng kiên kết của trạng thái điện tử
Trang 33Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
Những vật liệu được phân tích với XPS:
- Các hợp chất vô cơ, hợp kim, chất bán dẫn, polime, chất xúc tác, thủy tinh, ceramic, sơn, giấy, mực, gỗ, răng, xương, dầu nhớt, chất keo
- Vật liệu hữu cơ không được phân tích với XPS - Những phân tích gần đây về amino axit cho thấy XPS phải được dùng để đo nhiều axit
trước khi giảm 1 cách đáng kể.
Trang 34Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
Giới hạn của XPS:
XPS ghi nhận được tất cả các nguyên tố với Z từ 3 -> 103 Giới hạn này có nghĩa là XPS không thực hiện được với H và He vì 2 nguyên tố này không có các obitan lõi mà chỉ có các obitan hóa trị.
Độ chính xác của phép định lượng:
Phụ thuộc vào 1 vài tham số chẳng hạn như: cường độ đỉnh, độ chính xác của các hệ số nhạy cảm, tính đồng nhất trong thể tích bề mặt…
Trang 35Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
Phổ có độ
phân giải cao
cho tín hiệu Si(2p)
Trang 36Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
- 1-10 phút cho 1 lần quét tổng quát để xác định tất cả các nguyên tố
- 1-10 phút cho việc quét phân giải năng lượng cao để phát hiện những trạng thái hóa học khác nhau
- 1-4 giờ cho chụp mặt nghiêng theo chiều sâu để đo 4-5 nguyên tố như 1 hàm của chiều sâu ăn mòn.
Thời gian phân tích
Giới hạn thiết diện phân tích:
Thiết diện phân tích phụ thuộc vào thiết kế dụng cụ Phân tích nhỏ nhất là trong khoảng 10-200µm Kích thước rộng nhất cho chùm tia X đơn sắc là 1-5mm Chùm không đơn sắc là 10-50mm
Trang 37Phổ kế quang điện tử tia X - XPS
Giới hạn kích thước mẫu:
Các dụng cụ cũ chấp nhận những mẫu :1x1 đến 3x3 cm Các hệ thống gần đây có thể chấp nhận những wafer
300mm và những mẫu có kích thước 30x30.