Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode dc magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏngv

123 323 1
Nghiên cứu chế tạo thiết bị phún xạ cathode dc magnetron và ứng dụng trong chế tạo màng mỏngv

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Từ khóa liên quan

Mục lục

  • Mo dau

  • Ket qua

  • Tong quan cac phuong phap che tao mang mong quang hoc

  • Co so ly thuyet cua ki thuat che tao mang bang phun xa katod

    • 1. Qua trinh phun xa

    • 2. Nhung khai niem co ban cua qua trinh phun xa

    • 3. Phong dien khi kem tu duy tri

    • 4. Thiet bi phun xa va cac thong so anh huong qua trinh tao mang

    • 5. Phun xa DC Magnetron

    • Che tao thiet bi phun xa DC-Magnetron

    • Mot so ket qua nghien cuu ung dung tao mang bang phuong phap phun xa catod DC magnetron

      • 1. Tinh chat quang hoc cua mang mong Al va Ag

      • 2. Nhung yeu to anh huong den thong so quang hoc cua mang Al lang dong bang boc hoi nhiet

      • 3. Che tao mang bang pp phun xa catod Dc-magnetron

      • Quy trinh cong nghe ma guong Al

      • Ket luan

      • Phu luc

Tài liệu cùng người dùng

Tài liệu liên quan