tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua

TRƢỜNG ĐẠI HỌC CẦN THƠ KHOA SƢ PHẠM BỘ MÔN SƢ PHẠM VẬT LÝ TÌM HIỂU VỀ KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA Luận văn tốt nghiệp Ngành: SƢ PHẠM VẬT LÝ – TIN HỌC Giáo viên hƣớng dẫn: Sinh viên thực hiện: ThS Lê Văn Nhạn Trƣơng Hoa Thiên Mã số SV: 1117565 Lớp: Sƣ phạm Vật lý – Tin học Khóa: 37 CẦN THƠ 2014 LỜI CÁM ƠN  Kính gửi quý thầy, cô Bộ môn Vật lý – Khoa Sƣ phạm Vật lý – Trƣờng Đại học Cần Thơ! Trải qua năm ngồi giảng đƣờng, học tập nghiên cứu đơn vị Đại học Cần Thơ, kiến thức mà em đƣợc tiếp thu (từ đại cƣơng đến chuyên môn) lẫn kỹ thao tác thực hành, thí nghiệm đƣợc bổ sung nâng cao đáng kể Đó nhờ công ơn quý thầy, cô Bộ môn Vật lý hết lòng giảng dạy, truyền đạt kiến thức Từ ngày đầu nhận đề tài “Tìm hiểu kính hiển vi tử truyền qua” em không tránh khỏi lo lắng bỡ ngỡ Cũng nhờ hỗ trợ giúp đỡ tận tình thầy Lê văn Nhạn kiến thức chuyên môn, kết hợp với động viên trấn an thầy, gia đình bạn bè, tất động lực để thân em cố gắng phấn đấu hoàn thành đề tài thời hạn Nhân đây, em xin gửi lời cám ơn đến quý thầy, cô Bộ môn Vật lý trƣờng Đại học Cần Thơ Quý thầy, cô không ngần ngại dành thời gian để giải đáp thắc mắc nhƣ tìm hiểu nguyện vọng sinh viên chúng em Quý thầy, cô ngƣời cho em kiến thức giúp em có đầy đủ sở để hoàn thành đề tài luận văn tốt nghiệp mình, quý thầy, cô ngƣời truyền cho em cảm hứng, khiến em cảm thấy thích thú với môn học ngành nghề mình, nghiêm khắt quý thầy, cô giúp em rút kinh nghiệm cho thân nghiêm túc trình học tập, nghiên cứu Mặc dù có cố gắng trình tìm hiểu, phân tích viết đề tài nhƣng hạn chế mặt thời gian kiến thức nên đề tài em khó tránh khỏi sơ suất Em mong nhận đƣợc đóng góp ý kiến quý thầy, cô bạn để em có hội mở mang kiến thức, đồng thời củng cố cho đề tài em hoàn thiện Em xin chân thành cảm ơn! Cần Thơ, ngày 08/10/2014 Sinh viên thực Trƣơng Hoa Thiên MỤC LỤC HỆ THỐNG ĐO LƢỜNG BẢNG CHỮ VIẾT TẮT VÀ TRA CỨU THUẬT NGỮ PHẦN 1: MỞ ĐẦU LÝ DO CHỌN ĐỀ TÀI MỤC ĐÍCH CỦA ĐỀ TÀI GIỚI HẠN CỦA ĐỀ TÀI PHƢƠNG PHÁP VÀ PHƢONG TIỆN THỰC HIỆN ĐỀ TÀI CÁC BƢỚC THỰC HIỆN ĐỀ TÀI PHẦN 2: NỘI DUNG CHƢƠNG 1: CƠ SỞ LÝ THUYẾT ĐỀ TÀI QUANG HỌC 1.1 Sơ lƣợc chất ánh sáng 1.1.1 Lý thuyết hạt ánh sáng 1.1.2 Lý thuyết sóng ánh sáng Huygens 1.1.3 Lý thuyết điện từ Maxwell 1.1.4 Lý thuyết tƣơng đối Einstein 1.1.5 Lý thuyết lƣợng tử ánh sáng 1.2 Các tƣợng quang học 1.2.1 Định luật truyền thẳng ánh sáng 1.2.2 Sự phản xạ khúc xạ 1.2.3 Sự phân cực ánh sáng 1.2.4 Nhiễu xạ 1.3 Thấu kính mỏng CƠ HỌC LƢỢNG TỬ CHUYỂN ĐỘNG CỦA ĐIỆN TÍCH TRONG ĐIỆN TRƢỜNG VÀ TỪ TRƢỜNG 3.1 Chuyển động điện tích điện trƣờng từ trƣờng 3.2 Chuyển động điện tích từ trƣờng 3.3 Sự lệch hạt điện trƣờng từ trƣờng 11 3.3.1 Trong điện trƣờng 11 3.3.2 Trong từ trƣờng 13 3.4 Chuyển động electron nguyên tử đặt vào từ trƣờng 14 3.5 Chuyển động tiến động electron 15 VẬN TỐC VÀ BƢỚC SÓNG CỦA ELECTRON 17 CÁC ĐỊNH LUẬT QUANG ĐIỆN 18 5.1 Đƣờng đặc trƣng Vôn - Ampe 18 5.2 Định luật cƣờng độ dòng quang điện bão hòa 18 5.3 Định luật vận tốc ban đầu cực đại i quang electron (Động năng) 18 5.4 Định luật giới hạn đỏ hiệu ứng quang điện 19 NHIỄU XẠ ĐIỆN TỬ 21 6.1 Khái niệm 21 6.2 Các loại nhiễu xạ 21 6.2.1 Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng 21 6.2.2 Nhiễu xạ chùm điện tử hội tụ 22 6.2.3 Nhiễu xạ điện tử lƣợng thấp – lƣợng cao 22 TÁN XẠ 22 CHƢƠNG 2: SƠ LƢỢC CÁC DỤNG CỤ QUANG HỌC 24 KÍNH LÚP 24 1.1 Lịch sử hình thành 24 1.2 Cấu tạo ứng dụng 24 1.2.1 Cấu tạo 24 1.2.2 Ứng dụng 24 1.2.3 Hạn chế 25 KÍNH HIỂN VI QUANG HỌC 25 2.1 Lịch sử hình thành 25 2.2 Cấu tạo ứng dụng 26 2.2.1 Cấu tạo 26 2.2.2 Ứng dụng 27 2.2.3 Hạn chế 28 CHƢƠNG 3: KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA 29 LỊCH SỬ PHÁT MINH 30 CẤU TẠO CHI TIẾT 31 2.1 Hệ thống chiếu sáng 31 2.1.1 Súng phát xạ điện tử 32 2.1.2 Thấu kính hội tụ 33 2.2 Hệ thống thao tác mẫu 34 2.2.1 Buồng khóa không khí 34 2.2.2 Buồng mẫu 34 2.3 Hệ thống tạo ảnh 35 2.3.1 Thấu kính vật 35 2.3.2 Thanh chống chất bẩn 37 2.3.3 Thấu kính trung gian 37 2.3.4 Thấu kính chiếu 37 2.4 Hệ thống quan sát chụp ảnh 37 2.5 Hệ thống chân không 38 2.5.1 Các phƣơng pháp đo chân không 39 2.5.2 Các loại bơm chân không thƣờng dùng 41 VẬN HÀNH VÀ SỬ DỤNG KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA 43 3.1 Chuẩn thẳng hàng 43 ii 3.1.1 Chuẩn thẳng hàng hệ thống chiếu sáng 44 3.1.2 Chuẩn thẳng hàng thấu kính tạo ảnh 47 3.1.3 Những điều chỉnh khác 48 3.2 Kiểm tra đặc trƣng TEM 49 3.3 Các kiểu vận hành kính hiển vi điện tử truyền qua 49 3.3.1 Hoạt động với độ tƣơng phản cao 50 3.3.2 Vận hành với độ phân giải cao 51 3.3.3 Vận hành kiểu ảnh trƣờng tối 52 3.3.4 Vận hành kiểu tạo ảnh nhiễu xạ 53 MỘT SỐ ỨNG DỤNG CỦA TEM TRONG Y VÀ SINH HỌC 54 4.1 Mẫu nghiên cứu 54 4.1.1 Mẫu virus 54 4.1.2 Mẫu vi khuẩn 54 4.1.3 Mẫu mô sinh vật 54 4.1.4 Sử dụng mô đúc parafin cho nghiên cứu hiển vi điện tử 55 4.2 Chẩn đoán nhanh TEM 55 TÌNH HÌNH VỀ KHOA HỌC ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ HIỂN VI ĐIỆN TỬ Ở VIỆT NAM HIỆN NAY 55 MỘT SỐ HÌNH ẢNH THU ĐƢỢC QUA TEM/HRTEM 56 PHẦN 3: KẾT LUẬN 61 TÀI LIỆU THAM KHẢO PHỤ LỤC iii HỆ THỐNG ĐO LƢỜNG NHỮNG ĐƠN VỊ CƠ BẢN CỦA HỆ SI (Hệ đơn vị quốc tế) Đại lƣợng Tên Ký hiệu M Độ dài mét Khối lƣợng Kilogam Kg Thời gian Giây S Cƣờng độ dòng điện Ampe A Nhiệt độ nhiệt động Kelvin lực học Lƣợng chất Mol K Cƣờng độ sáng Cd Candela Mol Định nghĩa Độ dài quãng đƣờng mà ánh sáng đƣợc chân không 1/299.792.458 giây (1983) [1] Chuẩn gốc hình trụ platin-iriđi đó, đƣợc lấy làm đơn vị khối lƣờng từ tới 1889) [1] Khoảng thời gian 9.19.109 chu kỳ xạ tƣơng ứng với dịch chuyển hai mức siêu tinh tế trạng thái nguyên tử xêđi 133 (1967) [1] Dòng điện không đổi mà đƣợc trì hai dây dẫn thẳng, song song, dài vô hạn, tiết diện không đáng kể, đặt cách met chân không gây dây dẫn lực 2x10-7(N) met độ dài (1946)[1] Phần 1/273,16 nhiệt độ động lực học điểm ba nƣớc (1967)[1] Lƣợng chất hệ chứa lƣợng phần tử số nguyên tử 0,012 kg C12 (1971) [1] Cƣờng độ phát sáng theo phƣơng vuông góc diện tích 1/600.000 met vuông vật đen nhiệt độ đông đặc platin dƣới áp suất 101,325 Newton met vuông (1967) [1] CÁC ĐƠN VỊ DẪN XUẤT Đại lƣợng Áp suất Năng lƣợng, công Điện tích Hiệu điện Điện trở Cảm ứng từ Góc Diện tích Thể tích Ký hiệu đại lƣợng P E, A e U R B α, β, ω,… S V iv Đơn vị Pascal Jun Culông Vôn Ohm Tesla Radian Mét vuông Mét khối Ký hiệu đơn vị Pa J Cu V Ω T rad m2 m3 TIẾP ĐẦU NGỮ Tên gọi Kilo Mega Giga Tera Ký hiệu k M G T Bội số Tên gọi 103 106 109 1012 Mili Micro Nano Pico Ký hiệu m µ n p Ƣớc số 10-3 10-6 10-9 10-12 CÁC HẰNG SỐ VẬT LÝ Tên gọi Ký hiệu NA e me c g h Số Avogadro Điện tích nguyên tố Khối lƣợng electron Tốc độ ánh sáng chân không Gia tốc trọng trƣờng Hằng số Planck v Trị gần 6,02.1023/mol 1,6.10-19 C 9,1.10-31 kg 3.108 m/s 9,8 m/s2 6,625.10-34 J.s BẢNG THUẬT NGỮ VÀ CHỮ VIẾT TẮT CHỮ VIẾT TẮT OM EM TEM HRTEM SEM LM HM SAED SAA CBED STEM LEED HEED CCD Optic Microscopy Electron Microscopy Tranmission Electron Microscopy High-Resolution Tranmission Electron Microscopy Scanning Electron Microscopy Low Magnification High Magnification Selected Area Electron Diffraction Selected Area Aperture Convergent Beam Electron Diffraction Scanning Tramission Electron Microscopy Low Electron Energy Diffraction High Electron Energy Diffraction Charged-Couplede Device Kính hiển vi quang học Kính hiển vi điện tử Kính hiển vi điện tử truyền qua Kính hiển vi điện tử truyền qua với độ phân giải cao Kính hiển vi điện tử quét Độ phóng đại thấp Độ phóng đại cao Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng Khẩu độ lựa chọn vùng Nhiễu xạ chùm điện tử hội tụ Kính hiển vi điện tử truyền qua quét Nhiễu xạ điện tử lƣợng thấp Nhiễu xạ điện tử lƣợng cao Thiết bị tính đôi THUẬT NGỮ Thuật ngữ Ánh sáng khả kiến Màn huỳnh quang Công nghệ nano Virus Loạn thị Giải thích Ánh sáng nhìn thấy đƣợc mắt thƣờng có bƣớc sóng dao động từ 0,38µm đến 0,76µm Màn chắn đƣợc sơn phủ lớp huỳnh quang để phát ánh sáng nhìn thấy đƣợc bắn phá tia phóng xạ iôn, nhƣ tia X Là ngành công nghệ liên quan đến việc thiết kế, phân tích, chế tạo ứng dụng cấu trúc, thiết bị hệ thống việc điều khiển hình dáng, kích thƣớc quy mô nanomet Còn gọi siêu vi, siêu vi khuẩn hay siêu vi trùng, tác nhân truyền nhiễm nhân lên đƣợc bên tế bào sống sinh vật khác Là tật mắt liên quan đến khúc xạ Ở mắt bình thƣờng, tia hình ảnh sau qua giác mạc đƣợc hội tụ điểm võng mạc Nhƣng mắt loạn thị, tia hình ảnh lại đƣợc hội tụ nhiều điểm vi Quang sai Khẩu độ Chân không Parafin Virion Huyết Huyết học Bloc parafin võng mạc khiến cho ngƣời loạn thị thấy hình ảnh nhòe, không rõ Trong thiết bị quang học nói chung dẫn tới làm mờ (nhòe) hình ảnh Nó xảy ánh sáng từ điểm vật thể sau truyền qua hệ thiết bị quang học chiếu tới điểm khác Thƣờng đƣợc sử dụng loại máy móc (hay kết cấu) kỹ thuật để độ mở kết cấu Là khu vực có áp suất thấp áp suất khí nhiều.Các nhà vật lý thƣờng thảo luận kết kiểm tra ý tƣởng xảy môi trƣờng chân không hoàn hảo,với họ gọi “chân không” không gian trống Là hỗn hợp có nhiều hydrocarbua từ dầu hỏa, parafin dùng điều trị loại tinh khiết, trung tính, màu trắng, không độc Khi sử dụng thƣờng pha thêm dầu parafin để tăng cƣờng độ dẻo, không bị giòn gãy Các phần tử virus hay gọi hạt virus Những chất có độ pH giống nhƣ máu đƣợc gọi huyết Ngành khoa học nghiên cứu huyết Khối parafin vii Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn PHẦN 1: MỞ ĐẦU LÍ DO CHỌN ĐỀ TÀI Vật lý học ngành khoa học nghiên cứu quy luật chuyển động tự nhiên từ mức độ vi mô (các hạt cấu tạo nên vật chất) đến mức độ vĩ mô (thiên hà, vũ trụ,…) Vật lý học đời tạo nên bƣớc tiến vƣợt bật hành trình chinh phục thiên nhiên nhân loại thành tựu Vật lý học đƣợc ứng dụng rộng rãi có ảnh hƣởng sâu sắc đến hoạt động ngƣời xã hội Cùng với phát triển không ngừng khoa học kỹ thuật, nhu cầu ngƣời ngày nâng cao Ban đầu, với ƣớc mơ quan sát đƣợc vật thể có kích thƣớc vi mô mà mắt thƣờng khó nhìn thấy rõ, ngƣời chế tạo kính lúp Đây quang cụ sử dụng thấu kính hội tụ việc khuếch đại hình ảnh thƣờng đƣợc dùng để phục vụ việc quan sát kí tự hay vật thể nhỏ đƣợc dùng thí nghiệm khoa học đơn giản phạm vi trƣờng học Ƣu điểm kính lúp gọn, nhẹ, dễ sử dụng nhƣng không đủ để mở rộng việc phóng đại vật thể có kích thƣớc vi mô mà mắt thƣờng không nhìn thấy đƣợc nhƣ tế bào, biểu bì, Vì thế, phát minh đƣợc đời nhằm thay bổ sung mặt hạn chế kính lúp, kính hiển vi mà kính hiển vi quang học Kính hiển vi quang học quang cụ sử dụng ánh sáng chiếu qua vật tạo hình ảnh phóng đại vật thể thông qua thấu kính quang học Do sử dụng ánh sáng khả kiến nên độ phân giải kính hiển vi quang học bị giới hạn bƣớc sóng nên việc quan sát vật thể vi mô bị hạn chế Nhƣ vậy, để quan sát đƣợc vật thể cấu trúc có kích thƣớc nhỏ hơn, phải có thiết bị sử dụng chùm tia có bƣớc sóng ngắn Chính lý đó, kết hợp với tiến khoa học kỹ thuật kỉ XX, ngƣời tìm tòi sáng tạo kính hiển vi điện tử Từ kính hiển vi điển tử xuất hiện, trở thành thiết bị vô quan trọng để nghiên cứu cấu trúc vi cấu trúc vật chất đƣợc ứng dụng phổ biến trung lĩnh vực khoa học vật liệu, vật lý chất rắn, hóa học, công nghệ,… đặc biệt hai lĩnh vực: y học sinh học Có thể nói kính hiển vi điện tử thể đƣợc tầm quan trọng rõ hai lĩnh vực Với tinh thần học hỏi, mong muốn đƣợc khám phá, vận dụng nâng cao kiến thức Vật lý học để tìm hiểu kính hiển vi điện tử nhƣ vai trò hai lĩnh vực nói Tuy nhiên, kính hiển vi điện tử đƣợc phân loại tƣơng đối đa dạng, khối lƣợng thông tin khổng lồ thiếu cô đọng nên định chọn số để làm nên đề tài “Tìm hiểu ứng dụng kính hiển vi điện tử truyền qua” cho luận văn tốt nghiệp Tôi tin đề tài không giúp mở mang kiến thức chuyên môn Vật lý trình tìm hiểu nguyên lý hoạt động mà tìm hiểu thêm đƣợc kiến thức lĩnh vực y-sinh học thông qua phần ứng dụng thực tiễn MỤC ĐÍCH CỦA ĐỀ TÀI Đề tài đƣợc xây dựng nhằm trả lời ba câu hỏi “Sự đời kính hiển vi điện tử truyền qua có vai trò bƣớc tiến khoa học kỹ thuật?”, “Kính hiển vi điện tử truyền qua hoạt động dựa sở Vật lý?” “Ứng dụng kính hiển vi điện tử truyền qua” Trƣơng Hoa Thiên Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua Trƣơng Hoa Thiên ThS Lê Văn Nhạn 57 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua Trƣơng Hoa Thiên ThS Lê Văn Nhạn 58 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua Trƣơng Hoa Thiên ThS Lê Văn Nhạn 59 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua Trƣơng Hoa Thiên ThS Lê Văn Nhạn 60 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn PHẦN 3: KẾT LUẬN KẾT QUẢ ĐẠT ĐƢỢC TỪ NGHIÊN CỨU ĐỀ TÀI: Trong đề tài tập trung tìm hiểu cấu tạo, hoạt động ứng dụng đối tƣợng nghiên cứu lĩnh vực Y – Sinh học Trong đề tài này, trình bày vấn đề nhƣ: lịch sử phát minh, cấu tạo chi tiết, nguyên tắc hoạt động cuối ứng dụng Ngoài ra, để làm bật tầm quan trọng đối tƣợng nhƣ cho thấy bƣớc nhảy vọt phát triển khoa học kỹ thuật, có so sánh kính hiển vi điện tử truyền qua với hai loại kính kính lúp kính hiển vi quang học Sự so sánh cho thấy đối tƣợng đời nhằm thay hạn chế bổ sung khiếm khuyết mà hai quang cụ trƣớc không mang lại Từ cho thấy, Vật lý học ngành khoa học hàn lâm xuất từ sớm giữ vai trò then chốt đời thiết bị tiên tiến, đại Tuy nhiên, để đạt đƣợc tiến đó, Vật lý học đƣợc hỗ trợ toán học, hóa học, điện tử, công nghệ thông tin nhiều ngành khoa học khác Từ cấu tạo hoạt động đối tƣợng nghiên cứu phối hợp nhịp nhàng chuyên ngành khoa học với Trong trình thực đề tài, nhận thấy nguồn tài liệu đối tƣợng nghiên cứu đa dạng chi tiết Kết hợp với nguồn tài liệu dồi dào, tìm hiểu thêm đoạn video clips giới thiệu kính hiển vi nói chung kính hiển vi điện tử truyền qua nói riêng để biết rõ đối tƣợng nghiên cứu Trƣớc đây, ngại tiếp xúc với dạng đề tài khoa học liên quan đến thiết bị, thực nghiệm nhƣng nhờ vào giúp đỡ nhiệt tình giảng viên hƣớng dẫn với tìm tòi thân, gỡ bỏ đƣợc vƣớng mắc trƣớc bổ sung đƣợc phần kiến thức thiếu để hoàn thành đề tài thời hạn NHỮNG HẠN CHẾ CỦA ĐỀ TÀI Kiến thức đối tƣợng nghiên cứu rộng, nhƣng hạn chế mặt thời gian, kiến thức đặc biệt điều kiện tiếp xúc trực quan với kính hiển vi điện tử truyền qua, việc thu thập chắt lọc thông tin trở nên khó khăn nên đề tài dừng lại mức độ tìm hiểu lý thuyết HƢỚNG PHÁT TRIỂN ĐỀ TÀI Đây đề tài hay, mang tính ứng dụng cao, đặc biệt ứng dụng đối tƣợng nghiên cứu lĩnh vực Y – Sinh học Tuy nhiên, kính hiển vi điện tử nƣớc ta thiết bị đắt đỏ, quý nên có đơn vị đƣợc trang bị đồng Số ngƣời có kỹ vận hành khai thác tính bị hạn chế nên dễ dẫn tới tình trạng lãng phí thiết bị Vì thế, tƣơng lai, có đầy đủ phƣơng tiện, điều kiện thời gian nghiên cứu lâu dài, hy vọng mở rộng hƣớng nghiên cứu chuyên sâu đối tƣợng, đặc biệt nguyên tắc vận hành thiết bị xử lý mẫu Trƣơng Hoa Thiên 61 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 TÀI LIỆU THAM KHẢO [1] David Halliday – Robert Resnick – Jearl Walker, Cơ sở vật lý tập 6: Quang học Vật lý lượng tử, NXBGDVN, 2011 [2] Dƣơng Trọng Bái – Vũ Thanh Khiết, Từ điển giáo khoa Vật lý, NXB Giáo dục, 2007 [3] Hoàng Xuân Dinh, Bài giảng: Vật lý nguyên tử hạt nhân, Tủ sách Đại học Cần Thơ, 2001 [4] Lƣơng Duyên Bình, Vật lý đại cương tập 3, NXBGD, 1998 [5] Nguyễn Hữu Khanh, Bài giảng quang học, NXB Đại học Cần Thơ, 2000 [6] Nguyễn Kim Giao, Hiển vi điện tử truyền qua, NXB Đại học quốc gia Hà Nội, 2004 [7] Phạm Văn Tuấn – Dƣơng Quốc Chánh Tín, Giáo trình Điện học, Tủ sách Đại học Cần Thơ, 2010 [8] Tăng Mỹ Linh, Luận văn: Kính hiển vi điện tử ứng dụng Y – Sinh học, 2010 [9]http://vi.wikipedia.org/wiki/K%C3%ADnh_hi%E1%BB%83n_vi_quang_h%E1%BB %8Dc [10]http://vi.wikipedia.org/wiki/K%C3%ADnh_hi%E1%BB%83n_vi_%C4%91i%E1% BB%87n_t%E1%BB%AD_truy%E1%BB%81n_qua [11] http://violet.vn/tranhai0109/present/showprint/entry_id/1882161/cat_id/2031861 [12] http://phatminh.com.vn/phat-minh-the-ky/lich-su/ban-in-cho-chu-de.55742.html [13] http://vietsciences.free.fr/lichsu/kinhhienvi.htm [14] http://redstarvietnam.com/ung-dung-kinh-hien-vi-dien-tu-tai-viet-nam.html [15] http://websrv1.ctu.edu.vn/coursewares/supham/dien_dlh/chuong6.htm [16]https://www.google.com.vn/search?q=images+of+TEM/HRTEM&biw=1242&bih=6 06&source=lnms&tbm=isch&sa=X&ei=WxF3VLfTCMai8AWntoDICQ&ved=0CAYQ_ AUoAQ PHỤ LỤC SO SÁNH GIỮA OM VÀ EM Sự so sánh kính hiển vi điện tử kính hiển vi quang học qua bảng sau: Các đặc trƣng Chùm xạ Bƣớc sóng Môi trƣờng Thấu kính Góc mở Độ phân giải Độ phóng đại (thay đổi) Cách hội tụ Độ tƣơng phản Kính hiển vi điện tử Kính hiển vi quang học Chùm điện tử 0,0086nm(20kV)~ 0,0025nm (200kV) Chân không Thấu kính điện từ ~35o Điểm tới điểm: 0,35nm Mạng: 0,14nm 100x – 000 000x (thay đổi liên tục) Điều chỉnh điện Tán xạ, tƣơng phản pha Chùm ánh sáng 750nm (nhìn thấy); 200nm (tử ngoại) Khí Thấu kính thủy tinh ~70o Dùng tia nhìn thấy: 200nm Dùng tia tử ngoại: 100nm ~2000x (thay thấu kính) Điều chỉnh học Hấp thụ, phản xạ THẤU KÍNH ĐIỆN TỪ (Magnetic Lens) Khác với hạt photon, tức chùm tia sáng, điện tử hạt có khối lƣợng vi mô, dễ dàng bị hấp thụ tán xạ mạnh va chạm với phân tử môi trƣờng đậm đặc, chúng không bị khúc xạ môi trƣờng nhƣ Cho nên thấu kính làm từ thủy tinh thông thƣờng đƣợc làm từ vật liệu suốt khác tác dụng việc điều khiển chùm tia điện tử Tuy nhiên, điện tử mang điện tích nên chúng chịu tác dụng lực điện từ, chẳng hạn nhƣ lực điện lực Lorentz, mà lực làm thay đổi quỹ đạo chúng Nhờ vậy, hoàn toàn sử dụng từ trƣờng điện trƣờng thích hợp để điều khiển đƣờng điện tử Các thiết bị tạo trƣờng điện từ để điều khiển đƣờng chùm điện tử hội tụ hay phân kỳ chùm tia gọi chung thấu kính điện từ Mối quan hệ tiêu cự thấu kính điện từ thông số điện đƣợc xác định phƣơng trình 𝑓= 𝑘 𝑈 𝐼2 Trong đó: f tiêu cự thấu kính điện từ k số phụ thuộc số vòng thông số hình học cuộn solenoid (vòng dây dẫn điện quấn theo dạng hình trụ Khi cho dòng điện chạy qua dây xuất từ trƣờng ống dây) U điện áp gia tốc điện từ, I dòng điện chạy qua cuộn solenoit Khi tăng dòng điện qua cuộn solenoid, cƣờng độ từ trƣờng lòng thấu kính tăng lên, dẫn đến cƣờng độ lực Lorentz tác dụng lên điện tử tăng làm cho quỹ đạo xoắn ốc chặt (tiêu cự thấu kính điện từ ngắn hơn) Việc thay đổi tiêu cự thấu kính có ý nghĩa quan trọng thực tế, nhờ dễ dàng điều chỉnh mặt phẳng hội tụ thay đổi độ phóng đại EM theo ý muốn Trong thấu kính điện từ EM có ƣu việc hẳn chúng cho phép ngƣời ta thay đổi đƣợc tiêu cực (thay đổi độ hội tụ phóng đại) cách liên tục qua việc thay đổi I mà không cần dịch chuyển mẫu thay thấu kính CÁC LOẠI CATỐT SỬ DỤNG TRONG SÚNG PHÁT XẠ ĐIỆN TỪ A.Sợi catốt Vonfram Đa số TEM sử dụng súng điện tử với sợi catốt Vonfram đƣợc thiết kế nhƣ hình vẽ Cả hai loại catốt điểm có thời gian sống ngắn nhiều so với sợi catốt chuẩn Tuy nhiên, ảnh thiết diện thắt ban đầu súng nhỏ nhiều chùm tai tƣơng đối đồng nên chúng thƣờng đƣợc dùng cho nghiên cứu có độ phân giải cao, quan sát mà hao tổn cƣờng độ chùm tia điện tử nhƣ ảnh hƣởng chùm tai mẫu đáng kể (thí dụ nhƣ quan sát mặt mạng tinh thể) B Sợi catốt LaB6 Ngoài Vonfram, vật liệu liên kim loại Lanthanum Hexaboride (LaB6) đƣợc sử dụng để chế tạo sợi catốt, vật liệu có công thoát điện tử thấp Thông thƣờng, sợi catốt dùng vật liệu làm việc nhiệt độ thấp so với sợi catốt Vonfram khoảng 1000oC, độ sáng lại lớn nhiều lần thời gian sống dài hơn, vào khoảng từ 700 – 1000 Loại sợi catốt làm đơn tinh thể LaB6 với thiết diện khoảng vài µm Các sợi catốt LaB6 đƣợc sử dụng đắt tiền thƣờng có phản ứng hóa học mạnh bị đốt nóng EM dùng loại sợi yêu cầu -5 phải có chân không tốt 10 Pa, ddiện cực chân đỡ cho sợi đốt cần đƣợc làm chất không bị tác động phản ứng hóa học nhƣ Rhenium thủy tinh Cacbon C.Catốt phát xạ trƣờng Catốt phát xạ trƣờng có đỉnh đơn tinh thể Vonfram với mạng tinh thể định hƣớng xác tạo phát xạ điện tử cực đại Các điện tử không phát từ trình phát xạ nhiệt (đốt nóng) mà bị kéo bật khỏi tinh thể Vonfram điện trƣờng tạo dãy anốt có điện dƣơng cao, hoạt động nhƣ thấu kính tĩnh điện để hội tụ ảnh thiết diệt thắt ngang súng tới kính thƣớc đốm sáng cỡ 10nm Nó tạo độ sáng lớn hàng nghìn lần so với sợi đốt dạng chuẩn đƣợc sử dụng số thiết bị khác Nhƣợc điểm chủ yếu súng phát xạ trƣờng đòi hỏi phải có chân không siêu cao (tốt 108 Pa) catốt dễ bị ảnh hƣởng nhiễm bẩn CHẾ ĐỘ TẠO ẢNH CỦA EM Độ phóng đại thấp EM nằm khoảng giá trị độ phóng đại OM đƣợc dùng để so sánh trực tiếp cấu trúc cần quan tâm nghiên cứu trƣớc sử dụng độ phóng đại cao Có nhiều quan sát nghiên cứu cần phải đƣợc thực với độ phóng đại thấp, cỡ vài trăm lần đến 1000 lần cao Độ phóng đại cao đƣợc xác định độ phân giải tốt thiết bị EM thƣờng đƣọc phân loại hoạt động theo chế độ tạo ảnh khác Chế độ tạo ảnh hiển vi lại đƣợc phân loại thành chế độ phóng đại thấp (LM: Low Microscopy), chế độ phóng đại cao (HM: High Microscopy), chế độ phân giải cao (HREM: High Resolution Electron Microscopy) ĐỘ NÉT CHIỀU SÂU CỦA TRƢỜNG NHÌN VÀ CHIỀU SÂU HỘI TỤ A.Độ nét chiều sâu trƣờng nhìn (thị trƣờng) Độ nét chiều sâu trƣờng nhìn chiều sâu vào vùng mẫu vật thu đƣợc ảnh rõ nét kể từ mặt mẫu Độ nét chiều sâu thị trƣờng thấu kính điện từ khoảng cách nằm trục phía mẫu vật mà phạm vi thấu kính hội tụ cho ảnh với độ nét tốt Giả sử O1 O2 điểm vật cách khoảng giới hạn suất phân giải d thấu kính Những chùm tia song song qua O1 O2 cắt trục thấu kính A, B điểm nằm khoảng AB biểu độ nét nhƣ Khoảng cách AB đƣợc định nghĩa nhƣ đột nét chiều sâu trƣờng nhìn Do với bán góc độ α 𝑑 𝐷0 = 2𝑡𝑎𝑛𝛼 Do 𝐷0 = 𝑑 𝛼 có giá trị nhỏ B.Độ sâu hội tụ Hiệu ứng độ nét chiều sâu trƣờng quan sát thể mặt phẳng vật Tuy nhiên, xét mặt phẳng ảnh đƣợc gọi chiều sâu hội tụ Một thấu kính phóng đại có chiều sâu hội tụ lớn có nghĩa ảnh cuối giữ đƣợc độ nét khoảng cách dài dọc theo quang trục Khi đó, ta có 𝐷𝑖 = 𝑀2 𝑑 𝛼 Trong đó: M: độ phóng đại chung d: suất phân giải thấu kính α: nửa độ lớn góc độ mở Lúc này, việc đặt huỳnh quang phim chụp ảnh mặt phẳng khác không điều quan trọng khoảng cách không đáng kể so với chiều sâu hội tụ Tuy nhiên, cần biết rõ khoảng cách vật lý thấu kính chiếu, huỳnh quang phim chụp ảnh độ phóng đại vị trí khác khác Sự liên quan độ nét chiều sâu trƣờng quan sát chiều sâu hội tụ với góc mở độ đƣợc hình Lƣu ý góc mở độ nhỏ làm tăng độ nét chiều sâu trƣờng quan sát lẫn chiều sâu hội tụ CÁC LOẠI QUANG SAI CỦA HỆ TẠO ẢNH A.Hiện tƣợng loạn thị (Astigmatism) Loạn thị khuyết tật thƣờng gặp tất loại thấu kính Nó sinh trƣờng thấu kính khônng đồng không đối xứng trục mặt cƣờng độ, yếu phía lại mạnh phƣơng khác, ảnh điểm tròn đƣợc tạo thành điểm tròn mà có dạng hình elip, ảnh dấu chữ thập đặn bốn phƣơng tạo dấu chữ thập không với trục ngang trục dài mảnh Trong thấu kính điện từ, nguyên nhân gây loạn thị lòng ống cực không đƣợc tiếp đất hoàn hảo, thiếu độ đồng thành phần hợp kim làm ống cực từ nhiễm bẩn phần lòng cột kính nhƣ ống cực từ, độ giá đỡ mẫu làm nhiễu loạn trƣờng điện từ thấu kính B Hiện tƣợng sắc sai (Chromatic Aberration) Hiện tƣợng sinh tán sắc môi trƣờng quang học thấu kính thủy tinh ánh sáng đa sắc (gồm nhiều bƣớc sóng) Khi chùm sáng trắng (tức dòng điện từ với bƣớc sóng khác nhau) qua thấu kính thủy tinh, bị tán sắc thành tia sáng màu với bƣớc sóng khác Vì tia có bƣớc sóng ngắn bị khúc xạ nhiều so với tia có bƣớc sóng dài hơn, nên tia sáng màu khác hội tụ mặt phẳng hội tụ khác Kết quả, tia sáng với bƣớc sóng ngắn hơn, lƣợng lớn hội tụ khoảng cách ngắn kể từ thấu kính so với tia có bƣớc sóng dài Ngƣợc lại với trƣờng hợp trên, thấu kính điện từ, điện tử có bƣớc sóng ngắn có điểm hội tụ xa thấu kính so với điện tử có bƣớc sóng dài Tuy nhiên, hai trƣờng hợp, sắc sai làm điểm hội tụ to làm giảm độ phân giải Sắc sai điều chỉnh đƣợc cách dùng nguồn xạ điện từ đơn sắc Trong thấu kính điện từ, ngƣời ta cần đảm bảo cho điện tử có bƣớc sóng nhƣ cách làm ổn định điện áp gia tốc tạo chân không tốt cột kính để làm giảm tối thiểu mát lƣợng điện tử chúng qua cột kính Các mẫu dày làm bƣớc óng điện tử bị thay đổi nhiều kết làm tăng tƣợng sắc sai trình tạo ảnh Vì nên cần sử dụng mẫu đủ mỏng nghiên cứu độ phân giải cao C Hiện tƣợng cầu sai (Spherical Aberration) Hiện tƣợng cầu sai cấu tạo hình học thấu kính gây Cả hai loại thấu kính thủy tinh thấu kính điện từ có hiệu ứng nhƣ Ở đây, tia qua vùng ngoại biên thấu kính bị khúc xạ nhiều so với tia gần quang trục Điều làm cho tia song song tới mặt thấu kính điểm khác không qua điểm hội tụ kết ảnh điểm không sắc nét bị phóng đại Tuy nhiên khoảng cách ngƣời ta tìm đƣợc điểm sắc nét mà dựng đƣợc vòng tròn lẫn lộn tối thiếu điểm hội tụ thực thấu kính Có thể làm giảm câu sai cách sử dụng độ nhỏ để chặn bớt tia ngoại biên Mắc dù độ nhỏ cần đƣợc sử dụng kính hiển vi điện tử để làm giảm cầu sai nhƣng chúng lại làm giảm góc mở làm cho EM không đạt đƣợc độ phân giải tối đa nhƣ thảo luận phần Giới hạn độ phân giải ds cầu sai là: 𝑑𝑠 = 𝑘𝑠 𝑓 𝛼03 Trong đó, k số, liên hệ với đặc trƣng thấu kính f tiêu cự thấu kính α0 góc mở thấu kính (thƣờng vật kính) D Hiện tƣợng méo ảnh xoay ảnh (distortion) Một số loại méo ảnh phát đƣợc tƣợng cầu sai xảy thấu kính tạo ảnh tầng cuối (thấu kính chiếu) TEM Vì điện tử vùng biên chùm tia bị khúc xạ mạnh so với điện tử trục trung tâm nên ảnh tạo điện tử có độ phóng đại lớn nằm mặt phẳng hội tụ khác so với ảnh sinh điện tử gần trục trung tâm Ảnh mạng lƣới ô vuông góc tạo đƣờng thẳng không ô vuông mà có dạng hình gối lõm, đƣợc gọi méo hình gối, tạo mạng lƣới đƣờng cong Loại méo xảy muốn sử dụng TEM độ phóng đại thấp Một loại méo khác méo hình trống (giống nhƣ hình tạo mạng lƣới đƣờng cong theo chiều ngƣợc lại với trƣờng hợp trên) xuất ngƣời ta sử dụng thấu kính điện từ theo chế độ giảm độ phóng đại (thu nhỏ) không theo độ phóng đại bình thƣờng Trong trƣờng hợp phần trung tâm ảnh phóng đại nhiều so với phần biên nên mạng lƣới có dạng hình trống Thật may mắn dung hòa loại méo loại méo khác Ví dụ nhƣ thấu kính chiếu biểu méo hình trống thái điều khiển thấu kính chiếu khác theo kiểu giảm phóng đƣa vào méo hình gối đối lại Các hệ thống thấu kính EM đại đƣợc thiết kế tự động cân ngƣợc loại méo khác phạm vi rộng độ phóng đại Tuy nhiên, kính hiển vi cũ ngƣời ta cần thận trọng để không đƣa loại méo thêm vào sử dụng độ phóng đại thấp Khi ngƣời ta sử dụng EM, tƣợng đặc biệt gọi xoay ảnh đƣợc ý làm thay đổi độ phóng đại Sự xoay ảnh không thay đổi vị trí điểm ảnh hình quan sát mà làm nặng thêm hiệu ứng méo Có thể làm giảm loại trừ toàn xoay ảnh cách sử dụng loạt thấu kính với hiệu ứng tạo chiều quay ngƣợc không theo chiều Điều thực cách cho dòng điện theo chiều ngƣợc qua cuộn solenoit thấu kính khác (tức làm đảo ngƣợc phân cực thấu kính) Đây nguyên tắc đƣợc sử dụng số TEM ĐỘ PHÓNG ĐẠI Ngoài việc tạo ảnh với độ phân giải cao, thấu kính điện từ EM cho phép phóng đại tiếp ảnh đƣợc tạo Sự phóng đại hàm ý mức độ tăng đƣờng kính caa ảnh cuối so với đƣờng kính vật mẫu ban đầu Nếu gọi MT độ phóng đại toàn phần TEM thì: MT = M0.M1.MP Trong đó: M0: hệ số phóng đại thấu kính vật M1: hệ số phóng đại thấu kính trung gian MP: hệ số phóng đại thấu kính chiếu (các thấu kính chiếu) Mặc dù lí thuyết tăng độ phóng đại cách không giới hạn nhƣng chất lƣợng ảnh phóng đại phụ thuộc vào suất phân giải thấu kính hệ thống Do thuật ngữ độ phóng đại sử dụng thƣờng đƣợc dùng để định nghĩa độ phóng đại cực đại mà đƣợc sử dụng cho hệ thống quang học riêng Nó đƣợc xác định công thức Độ 𝑝𝑕ó𝑛𝑔 đạ𝑖 𝑠ử 𝑑ụ𝑛𝑔 = 𝑁ă𝑛𝑔 𝑠𝑢ấ𝑡 𝑝𝑕â𝑛 𝑔𝑖ả𝑖 𝑐ủ𝑎 𝑚ắ𝑡 𝑡𝑕ườ𝑛𝑔 𝑁ă𝑛𝑔 𝑠𝑢ấ𝑡 𝑝𝑕â𝑛 𝑔𝑖ả𝑖 𝑐ủ𝑎 𝑕ệ 𝑡𝑕ấ𝑢 𝑘í𝑛𝑕 Gần đây, tất EM đại sử dụng hiển thị số cho độ phóng đại gần toàn phần thấu kính đƣợc điều khiểu cách tự động, chí kỹ thuật số qua máy tính điện tử Vì thay đổi chế độ làm việ thiết bị làm cho độ phóng đại biến đổi từ 20 tới 30% Ngay EM đại với hiển thị đọc trực tiếp đảm bảo độ xác từ + 10 tới +5 % tất giá trị đƣa [...].. .Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn 3.GIỚI HẠN CỦA ĐỀ TÀI Kính hiển vi điện tử truyền qua đƣợc sử dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực khoa học và đời sống Vi c đi sâu nghiên cứu đề tài cần rất nhiều thời gian và công sức Bên cạnh đó, do mức độ quan trọng của thiết bị, tôi không thể nghiên cứu thực nghiệm Do đó tôi không có cơ hội tìm hiểu trực quan từng bộ phận... vào quan hệ giữa động năng E của điện tử và thế gia tốc V, ta có thể xác định bƣớc sóng λ qua công thức : 𝜆= 𝑕 𝑐 𝑕 = 2𝑚 0 .𝑒.𝑉 với thế gia tốc V cỡ 200kV trở lên, hiệu ứng tƣơng đối tính trở thành đáng kể, và bƣớc sóng cho bởi công thức tổng quát: 𝜆= 𝑕 = 𝑝 𝑕 2 𝑚0 𝑒 𝑉 1 1+ 𝑒𝑉 2 𝑚0 𝑐 2 Nhiễu xạ điện tử thƣờng đƣợc dùng trong các kính hiển vi điện tử nhƣ kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM), kính hiển. .. độ dòng quang điện bão hòa sẽ tỉ lệ với cƣờng độ dòng ánh sáng tới Trƣơng Hoa Thiên 20 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn 6.NHIỄU XẠ ĐIỆN TỬ [8] 6.1 Khái niệm Nhiễu xạ là hiện tƣợng quan sát đƣợc khi sóng lan truyền qua vật cản (rõ nhất với các vật có kích thƣớc tƣơng đƣơng với bƣớc sóng), trong đó sóng bị lệch hƣớng lan truyền, lan tỏa về mọi phía... nên mặt phẳng tiêu của vật kính Gọi là nhiễu xạ lựa chọn vùng bởi vì ngƣời dùng có thể dễ dàng lựa chọn một vùng trên mẫu và chiếu chùm tia điện tử đi xuyên qua nhờ khẩu độ lựa chọn vùng SAA (Selected Area Aperture) Trƣơng Hoa Thiên 21 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn Phƣơng pháp này dễ thực hiện trong kính hiển vi điện tử, có thể xác định các hằng... hiển vi điện tử quét (SEM) 6.2 Các loại nhiễu xạ 6.2.1 Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng (Selected Area Electron Diffraction – SAED) là một phƣơng pháp nhiễu xạ sử dụng trong kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM), sử dụng một chùm điện tử song song chiếu qua một vùng chất rắn đƣợc lựa chọn Phổ nhiễu xạ sẽ là tập hợp các điểm sáng phân bố trên các vòng tròn đồng tâm quanh... mặt trời 1.2.3 Hạn chế: Kính lúp chỉ có thể khuếch đại các vật thể nhỏ mà mắt thƣờng nhìn không rõ, đối với các vật thể có kích thƣớc vi mô nhƣ vi khuẩn, tế bào, thì vi c quan sát nằm ngoài khả năng thực hiện của kính lúp Nên từ đó, kính hiển vi ra đời nhằm thay thế và bổ sung những khiếm khuyết đó của kính lúp Đầu tiên và cơ bản nhất là kính hiển vi quang học 2 KÍNH HIỂN VI QUANG HỌC 2.1 Lịch sử hình... bán kính R = 𝑣0 𝜔0 = 𝑣0 𝑚 𝑒𝐵 và trục song song với phƣơng của trƣờng 3.3 Sự lệch của hạt trong điện trƣờng và từ trƣờng 3.3.1 Trong điện trƣờng (𝐸 ≠ 0, 𝐵 = 0) Trƣơng Hoa Thiên 11 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn Giả sử hạt mang điện e > 0, khối lƣợg m chuyển động với vận tốc 𝑣0 trong điện trƣờng đều (hƣớng từ dƣới lên) của một tụ điện Tụ điện. .. (1632-1723) là cha đẻ của khoa học hiển vi ngày nay Từ thuở niên thiếu làm công trong tiệm vải, ông thấy đƣợc sự thú vị khi nhìn thấy các sợi vải đƣợc phóng to sau khi ông đƣa mắt nhìn qua đáy chai Từ đó ông mài mò nghiên cứu và tìm tòi phát minh ra kính hiển vi đầu tiên (Hình 2.3) Trƣơng Hoa Thiên 25 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn Nhà bác học... đề tài Tìm hiểu sơ lƣợc để có cái nhìn tổng quan về đề tài từ đó định hƣớng nghiên cứu Tiến hành vi t đề cƣơng chi tiết Tiếp thu ý kiến cán bộ hƣớng dẫn để hoàn thiện đề tài Nộp đề tài cho cán bộ hƣớng dẫn và cán bộ phản biện Báo cáo Trƣơng Hoa Thiên 2 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn PHẦN 2: NỘI DUNG CHƢƠNG 1: CƠ SỞ LÝ THUYẾT ĐỀ TÀI 1 QUANG HỌC[5]... hạt, số hạng thứ hai là thế năng tƣơng tác giữa hạt điện trƣờng Xét một điện tích e chuyển động trong tĩnh điện đều 𝐸 Chọn trục Oy theo phƣơng 𝐸 và giả sử t = 0, điện tích nằm tại gốc tọa độ O có vận tốc đầu 𝑣0 và nằm trong mặt phẳng Trƣơng Hoa Thiên 8 Sƣ phạm Vật Lý – Tin học K.37 Tìm hiểu về kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn Oxy (điện thế chỉ chuyển động trong Oxy) Chiếu phƣơng trình ... Charged-Couplede Device Kính hiển vi quang học Kính hiển vi điện tử Kính hiển vi điện tử truyền qua Kính hiển vi điện tử truyền qua với độ phân giải cao Kính hiển vi điện tử quét Độ phóng đại... K.37 Tìm hiểu kính hiển vi điện tử truyền qua ThS Lê Văn Nhạn CHƢƠNG 3: KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ TRUYỀN QUA[ 6] Hỉnh ảnh thực tế TEM (Transmission Electron Microscopy: kính hiển vi điện tử truyền qua) ... xạ điện tử thƣờng đƣợc dùng kính hiển vi điện tử nhƣ kính hiển vi điện tử truyền qua (TEM), kính hiển vi điện tử quét (SEM) 6.2 Các loại nhiễu xạ 6.2.1 Nhiễu xạ điện tử lựa chọn vùng Nhiễu xạ điện