Cảm biến điện trở - Chương 2 doc

35 Chơng 2 cảm biến điện trở 2.1 Cảm biến điện và cảm biến điện trở Nội dung chúng ta bàn đến trong các chơng tiếp theo là đo các đại lợng không điện bằng điện, vì vậy chúng ta chỉ nghiên cứu sâu loại cảm biến chuyển đổi các đại lợng không điện thành điện. Nói một cách khác, theo cách thức phân nhóm căn cứ vào các đại lợng ra nh mục 1.2 đã nêu, loại cảm biến chúng ta quan tâm thuộc nhóm cảm biến điện. Đại lợng vào của cảm biến điện là đối tợng cần đo - một đại lợng vật lý nào đó, đại lợng ra của nó là dòng, áp, hoặc tổng trở. Nh vậy, cuối cùng đại lợng ra của cảm biến điện luôn luôn là công suất điện. Đối với những cảm biến điện có đại lợng ra là tổng trở, ta đo đợc đại lợng ra này bằng mạch đo tổng trở, dòng hoặc áp sẽ xuất hiện ở đầu ra của mạch đo. Điều đó có nghĩa là để làm hoạt động các cảm biến điện có đại lợng ra là tổng trở cần thiết phải có năng lợng điện phụ (năng lợng phụ).Về nguyên tắc, đối với các cảm biến điện có đại lợng ra trực tiếp là dòng hoặc áp, việc sử dụng năng lợng phụ là không cần thiết. Tuy nhiên trong thực tế cũng có những trờng hợp cụ thể xảy ra đối với một vài cảm biến loại này, ở đó ta cũng phải dùng năng lợng phụ. Căn cứ vào ý nghĩa trên, ta có thể chia cảm biến điện thành hai nhóm: Nhóm 1: Gồm những cảm biến điện thụ động (hững cảm biến khi hoạt động cần có năng lợng phụ) chúng có những dạng chính sau: cảm biến điện trở, cảm biến điện cảm, cảm biến điện dung Nhóm 2 Bao gồm những cảm biến điện chủ động (những cảm biến khi hoạt động không cần năng lợng phụ). Chúng ta sẽ nghiên cứu kỹ những những dạng sau: cảm biến từ cảm, cảm biến từ trở, cảm biến nhiệt điện, cảm biến áp điện, cảm biến quang điện. Cảm biến điện trở là những cảm biến điện, chúng chuyển đổi các đại lợng cần đo bằng sự thay đổi điện trở. Cảm biến điện trở có mặt hầu khắp các lĩnh vực khoa học kỹ thuật nhất là trong lĩnh vực kỹ thuật điện, ta có thể bắt gặp chúng hàng ngày. Chúng đợc chia thành tám dạng chính sau: 1. Điện trở tiếp xúc 2. Điện trở tiếp xúc trợt 3. Điện trở tiếp xúc thuỷ ngân. 4. Điện trở phụ thuộc áp suất 36 5. Điện trở biến dạng. 6. Điện trở phụ thuộc nhiệt độ. 7. Điện trở chất điện phân. 8. Quang trở. Các dạng cảm biến điện trở từ 5 đến 8 sẽ đợc giới thiệu kỹ ở những chơng riêng biệt của chúng về cảm biến tem biến dạng; cảm biến nhiệt điện; cảm biến hoá điện và cảm biến quang điện. Trong chơng này, chúng ta sẽ bàn kỹ về bốn dạng đầu tiên (từ 1 đến 4) của cảm biến điện trở. 2.2 Cảm biến điện trở tiếp xúc Cảm biến điện trở tiếp xúc - gọi tắt là cảm biến tiếp xúc đợc cấu tạo sao cho khi các tiếp điểm dịch chuyển (theo độ dài hoặc góc) chúng sẽ đóng hoặc mở mạch điện. Các loại rơ-le (điện từ, nhiệt, thời gian ), chuyển mạch đều hoạt động trên cơ sở này. Ghi chú: F- Lực gây tiếp xúc; a) Tiếp xúc điểm, b) Tiếp xúc đờng, c) Tiếp xúc mặt Hình 2.1 Các kiểu cảm biến tiếp xúc a) F F b) c) F Comment [S2]: 37 Cảm biến tiếp xúc, căn cứ vào diện tiếp xúc, có thể chia làm ba nhóm: tiếp xúc điểm, tiếp xúc đờng và tiếp xúc mặt (xem hình 2.1). Tiếp xúc điểm, theo lý thuyết, chỉ có một điểm tiếp xúc. Tiếp xúc đờng là tiếp xúc dọc suốt theo mọi điểm trên đờng tiếp xúc. Theo lý thuyết, tiếp xúc mặt là toàn bộ mặt tiếp xúc phải tiếp xúc với nhau, tuy nhiên trong thực tế chỉ có một phần của mặt tiếp xúc đáp ứng yêu cầu này. Những số liệu đặc trng của cảm biến tiếp xúc là: - Cờng độ dòng tiếp xúc cực đại - Lực cần thiết đảm bảo tiếp xúc là cực tiểu. - Số tiếp xúc cực đại - Điện trở quá độ - điện trở phát sinh giữa các lớp tiếp xúc là cực tiểu Những yêu cầu bắt buộc đối với vật liệu chế tạo các đầu tiếp xúc là phải rẻ và đảm bảo các tính chất: 1. Cứng bền nhng dễ gia công 2. Dẫn nhiệt tốt, toả nhiệt nhanh (nhiệt độ dòng chạy qua lớp tiếp xúc sinh ra) 3. Dẫn nhiệt tốt, để điện trở tiếp xúc nhỏ và do đó nhiệt phát sinh (do dòng chạy qua) cũng nhỏ. 4. Không bị ô xy hoá. Căn cứ vào mục đích, yêu cầu kỹ thuật và môi trờng làm việc của cảm biến để chọn vật liệu thích hợp, đáp ứng các yêu cầu trên. Sau đây ta sẽ xét sơ qua một số vật liệu thờng dùng: 1. Đồng đỏ: Rẻ nhng dễ bị ô-xy hoá 2. Bạc: Không đắt lắm lại bảo đảm đợc các yêu cầu trên nên đợc sử dụng rộng rãi. 3. Vàng, Platin, Platin-iridum: Nhờ có độ bền lý hoá cao (không bị ăn mòn, không bị ô-xy hóa) và dẫn nhiệt, dẫn điện tốt nên lực tiếp xúc và do đó áp tiếp xúc nhỏ rất thích hợp cho việc chế tạo tiếp điểm. Nhợc điểm lớn nhất của loại vật liệu này là giá thành cao. 4. Wolfram: Cứng, điểm nóng chảy cao nên thờng đợc sử dụng rộng rãi đặc biệt ở những vị trí tiếp xúc có dòng lớn. Do yêu cầu đặc biệt của địa chỉ ứng dụng, cảm biến tiếp xúc cũng có những dạng cấu tạo đặc biệt tơng ứng. Hình 2.2 giới thiệu một loại cảm biến 38 tiếp xúc bằng thuỷ ngân. Khi hệ thống xoay một góc (đẫ ấn định, sự tiếp xúc chấm dứt, mạch dẫn (qua hai cọc dẫn A và B) bị đứt đoạn. Hình 2.2. Cảm biến tiếp xúc thuỷ ngân Tiếp xúc trong chân không sẽ tránh đợc sự mài mòn mặt lớp tiếp xúc do tia lửa điện gây nên (xem hình 2.3). Ghi chú: F: lực gây tiếp xúc, P o : áp suất môi trờng, p v : áp suất chân không. Hình 2.3. Cảm biến tiếp xúc chân không Hình 2.4 a) giới thiệu nguyên lý cấu tạo của một cảm biến dãy tiếp xúc. Khi trụ tiếp xúc đợc đẩy lên cao (x), dãy tiếp điểm (đầu tiếp xúc) lần lợt đóng lại, nối ngắn mạch các điện trở tơng ứng. Điện trở ra giữa A và B (R AB ) đợc biểu diễn trên đồ thị ở hình 2. 4 b). Những u, nhợc điểm của cảm biến điện trở tiếp xúc: Ưu điểm: 1. Kết cấu đơn giản 2. Làm việc tin cậy, nhờ tấm lò xo mang đầu tiếp xúc có độ đàn hồi thích hợp nên khi tiếp xúc không xẩy ra hiện tợng va đập cứng và do có độ A B Hg F p o p v p v < p 0 39 trợt (của đầu tiếp xúc) nhỏ những khi làm việc, lớp tiếp xúc đợc lau sạch (tự lau). a) b) Ghi chú: x là mức dịch chuyển, R AB là điện trở ra Hình 2. 4. Cảm biến tiếp xúc dãy Nhợc điểm: 1. Chế độ làm việc đứt đoạn, do đó chỉ thích hợp cho việc chỉ thị, không dùng đợc vào việc do quá trình liên tục. 2. Sự phóng tia lửa điện (trừ trờng hợp tiếp xúc trong chân không) sẽ làm tổn hại lớp tiếp xúc và gây nhiễu. 3. Nhạy với quá tải, vì khi dòng qúa tải chạy qua điện trở quá độ sẽ sinh nhiệt làm nóng chảy bề mặt tiếp xúc. Trong các lĩnh vực kỹ thuật đo lờng và điều khiển ngời ta thờng sử dụng kiểu cảm biến tiếp xúc điểm (diện tiếp xúc bé), vì ứng với lực đè nhỏ (lực gây tiếp xúc F) ta đã có đợc áp suất tiếp xúc lớn. A R AB R AB B x x 40 2.3. Cảm biến điện trở tiếp xúc trợt 2.3.1 Nguyên lý cấu tạo Tên gọi quen thuộc của cảm biến điện trở tiếp xúc trợt là chiết áp. Nguyên lý làm việc của nó đợc thể hiện trên sơ đồ khối hình 2.5. Đại lợng vào là độ dịch chuyển theo chiều dài hoặc góc, đại lợng ra là điện trở. Hình 2.5. Sơ đồ khối của cảm biến điện trở tiếp xúc trợt Căn cứ vào nguyên lý cấu tạo của chiết áp ta có thể chia chúng ra ba dạng cơ bản. Dạng dịch chuyển trên đoạn dây điện trở đợc sử dụng khi điện trở ra bé, thờng không vợt quá 10 Ohm. Lực gây nên độ dịch chuyển cần đo x sẽ làm trợt đầu tiếp xúc (đợc nối ra cọc C), cùng với các cọc nối ra từ hai đầu đoạn dây điện trở A - B ta có thể đo đợc giữa A - C hoặc B - C những điện trở ra của chiết áp (xem hình 2.6a). Đối với điện trở lớn (trong khoảng từ vài Ohm đến 10 5 Ohm) ta thờng sử dụng dạng chiết áp hình trụ (dây điện trở đợc quấn quanh trụ cách điện). Nguyên tắc hoạt động giống nh dạng trên (hình 2.6 b). Để có đợc dạng dịch chuyển góc, ngời ta uốn cong khép kín dạng chiết áp hình trụ, nói một cách khác, ngời ta tạo ra dạng chiết áp hình xuyến (hình 2.6 c). Khi đại lợng vào dịch chuyển một góc nào đó, ở các cọc ra sẽ đo đợc các điện trở tơng ứng. Sau đây, ta có thể gọi ngắn gọn dịch chuyển thẳng và dịch chuyển góc là trợt thẳng và trợt góc. Đặc tuyến tĩnh của những cảm biến điện trở tiếp xúc trợt đối với các dạng trợt thẳng và trợt góc là: R r = . x (2.1) L và R r = . (2.2) Trong đó, r là điện trở đo đợc giữa các cọc ra; cảm biến điện trở tiếp xúc trợt Dịch chuyển dài x Điện trở Dịch chuyển góc 41 R là điện trở cực đaị của chiết áp giữa các cọc ra; L là đoạn trợt cực đại (ứng với R cực đại); x là đoạn đoạn trợt tính từ điểm đầu (điện trở bằng không); là góc trợt cực đại (ứng với R cực đại); là góc trợt tính từ điểm đầu (điện trở bằng không). Hình 2.6. Nguyên lý cấu tạo của các dạng cảm biến điện trở tiếp xúc trợt Từ các đặc tuyến tĩnh trên ta có thể suy ra các độ nhạy S x và S tơng ứng với các dạng chiết áp trợt thẳng và trợt góc, ta có: dr R S x = = (2.3) dx L và dr R S = = (2.4) d Các trị số R, L, , trong hầu hết các trờng hợp giải quyết nhiệm vụ đo cụ thể đều đã đợc cho trớc, vì vậy trong những trờng hợp cụ thể đó ta coi nh độ nhạy cũng đã đợc cho trớc. Để xác định đặc tuyến động của chiết áp trớc hết ta cần nắm rõ bản chất động học của loại phần tử này. Để thực hiện đợc chuyển động trợt (thẳng hoặc góc), ngoại lực cần phải thắng quán tính ì của đầu tiếp xúc và lực ma sát giữa đầu tiếp xúc với dây điện trở. Đầu tiếp xúc sẽ còn bất động chừng nào ngoại lực vẫn còn bé hơn lực ma sát. Nh vậy, phơng trình vi phân đặc trng cho tính động học của chiết áp dạng trợt thẳng sẽ là: Đoạn dây điện trở Xuyến chiết áp A Trụ chiết áp x B A A B C B C C 42 d 2 x 0 nếu F n < F m m. = (2.5) dt 2 F n - F m nếu F n > F m Trong đó: m là khối lợng toàn bộ của đầu trợt; x là đoạn trợt; F n là ngoại lực; F m là lực ma sát. Nếu tại thời điểm t = 0 ngoại lực biến đổi theo bớc nhảy từ không (F n = 0) đến giá trị lớn hơn lực ma sát (F n > F m ) thì khi ấy đầu trợt sẽ thực hiện một chuyển động có gia tốc (a). Theo định luật Newton II, gia tốc đợc tính là: F n - F m a = (2.6) m Ta hoàn toàn có thể sử dụng các biểu thức trên để khảo sát các chiết áp hình xuyến, song phải nhớ thay đoạn trợt x bằng góc trợt . Sau đây, ta lần lợt xem xét những số liệu đặc trng của chiết áp (hãy luôn nhớ cái tên dài dòng của chúng là cảm biến điện trở tiếp xúc trợt). 2.3.2. Những số liệu đặc trng của cảm biến điện trở tiếp xúc trợt 1. Khả năng phân giải (độ phân giải) Loại trừ dạng cấu tạo chỉ có một đoạn dây điện trở (xem hình 2.6 a), ở mọi dạng khác, điện trở của chiết áp không thay đổi liên tục mà thay đổi theo từng bớc khi đầu trợt chuyển dịch. Hiện tợng này do những khoảng cách giữa các vòng quấn của dây điện trở gây nên. Khả năng phân giải của chiết áp đợc tính bằng công thức: 100 f = % (2.7) N Trong đó, f là độ phân giải N là số vòng quấn của dây điện trở ứng với góc trợt 360 o của chiết áp. Khả năng phân giải tốt khi giá trị của f = 0, 5 đến 0,05%. Đối với chiết áp trợt thẳng, khả năng phân giải đợc tính bằng công thức: 43 L f = (mm) (2.8) N Trong đó, L là độ dài tác dụng của chiết áp; N là số vòng quấn của chiết áp. Khả năng phân giải đợc cải thiện tốt hơn nếu ta sử dụng dây điện trở mỏng để quấn chiết áp. 2. Mô - men làm việc (mô men hoạt động) Với các chiết áp thông thờng, mô men làm việc nằm trong khoảng từ 50 ữ100.10 -4 N.m; ở các chiết áp đặc biệt giá trị này nằm trong khoảng từ 1 ữ 10.10 -4 N.m, do đó, chiết áp đặc biệt có giá thành cao. Mô men hoạt động của chiết áp (mô men làm việc) thờng chỉ bằng một nửa mô men khởi động nó. 3. Độ tuyến tính Sai số tuyến tính đợc biểu hiện rõ trên hình 2.7, có hai đờng đặc trng cho sự hoạt động của chiết áp, đó là đờng lý thuyết O - R (R là giá trị danh định của chiết áp) và đờng thực tế A-B (đờng mấp mô nối từ A đến B). Căn cứ vào sự phân bố điểm của đờng thực tế ta có thể kẻ đợc đờng thẳng trung bình phù hợp nhất của đờng mấp mô này (đờng gạch rời) qua hai điểm A và B ta sẽ có đợc đờng thẳng đặc trng cho đờng thực tế qua các điểm đầu cuối. Điện trở của chiết áp tại điểm x = 0 phải bằng một giá trị r A nào đó tại điểm A. Tại vị trí x = L, giá trị của chiết áp không phải bằng R mà bằng một giá trị tơng ứng r B tại điểm B. Hình 2.7 Sai số tuyến tính của các cảm biến điện trở tiếp xúc trợt. r R r B B r tđ A 44 Dựa vào ba đờng thẳng đã nêu (đờng thẳng trung bình, đờng thẳng lý thuyết và đờng thẳng qua các điểm đầu, cuối) ta có thể ấn định đợc ba loại sai số tuyến tính theo các định nghĩa sau: a) Sai số tuyến tính độc lập Độ chênh lệch cực đại r tđ giữa đờng thực tế và đờng thẳng trung bình so với điện trở R (giá trị chính xác, chuẩn) tính theo giá trị % đợc gọi là sai số tuyến tính độc lập và đợc ký hiệu là s tđ . r tđ s tđ = . 100% (2.9) R b) Sai số tuyến tính lý thuyết: Độ lệch cực đại r tl giữa đờng thực tế và đờng thẳng lý thuyết so với điện trở R (giá trị chính xác, chuẩn) tính theo giá trị % đợc gọi là sai số tuyến tính lý thuyết và đợc ký hiệu là s tl . r tl s tl = . 100% (2.10) R c) Sai số tuyến tính điểm cuối Độ lệch cực đại r tc giữa đờng thực tế và đờng thẳng qua các điểm cuối (so với điện trở R - giá trị chính xác, chuẩn) tính theo giá trị % đợc gọi là sai số tuyến tính điểm cuối (còn đợc gọi là sai số tuyến tính cực đại s tmax ) và đợc ký hiệu là s tc ( hoặc s tmax ): r c s tc = . 100% (2.11) R Khi ấn định các sai số tuyến tính ta cần phải ấn định các chỉ tiêu liên quan. ở những chiết áp có độ chính xác cao thờng có sai số tuyến tính độc lập (s tđ ) bằng 0,05%. Sai số này chỉ bằng 0,5% ở các chiết áp thờng. 4. Khả năng chịu tải Đối với chiết áp, khả năng chịu tải chính là khả năng cho dòng cực đại chạy qua, còn gọi là dòng cực đại cho phép. 5. Khoảng hoạt động tích cực Khoảng hoạt động tích cực (chủ động) là khoảng dài hoặc góc mà đầu tiếp xúc có thể tự trợt hoặc xoay (trợt góc) đợc trong đó. Chiều dài và vùng [...]... (100kG/cm2 ) Điện trở Vật liệu Các phơng cắt suất (10 m) A B C D 1,5 + 0, 022 5 - + 0,075 - 0,618 5,7 + 0, 026 5 + 0,0 82 + 0,704 - 0,655 9,9 + 0,046 + 0,049 + 0, 724 - 0,665 16,5 + 0,051 + 0,054 + 0,7 32 - 1,1 + 0,03 62 - 0,0314 - 0,4 72 - + 0,104 - 0,049 - 0,456 - 11,7 + 1,0 02 - + 0,306 - 7,8 - 0,0647 + 0,0108 - 0, 708 - 22 ,2 - 0,0637 - 0, 706 - -2 Germanium (nGe) Germanium (pGe) Silicium (nSi) Silicium (pSi) -. .. 3,3.1 0-6 Ví dụ cảm biến áp điện đợc chế tạo từ dây điện trở Manganin Ta thử tính xem biến đổi áp suất tơng đối (tính theo tỷ lệ phần trăm) của điện trở cảm biến sẽ là bao nhiêu dới tác dụng của áp suất cần đo là 10 000 atm Từ bảng 2. 2 ta có b = + 2, 3.1 0-6 (1/atm), vậy biến đổi áp suất tơng đối của điện trở cảm biến sẽ là: b.p = 2, 3.1 0-6 .104 = 2, 3.1 0 -2 = 2, 3 (%) Những u nhợc điểm của cảm biến điện trở. .. sự biến đổi của nhiệt độ bé, trị số điện trở gốc những cảm biến điện trở áp điện bằng manganin thờng là 100 Bảng 2. 2 Vật liệu thờng dùng làm cảm biến điện trở áp điện Hệ số áp suất của một số kim loại trong khoảng áp suất từ 0 đến 12. 103 atm, ở nhiệt độ 25 oC Kim loại Hệ số áp suất b (1/atm) Nhôm - 4.1 0-6 Antimon + 11,1.1 0-6 Đồng - 1,8.1 0-6 Sắt Manganin - 2, 3.1 0-6 + 2, 3.1 0-6 Platin - 1,9.1 0-6 Bạc -. .. là biến đổi điện trở nh sơ đồ khối trên hình 2. 17 Đối tợng đo (áp suất) có thể là: áp suất hình thành từ lực nén, áp suất thuỷ lực hoặc áp suất khí Cảm biến điện trở phụ thuộc áp suất gồm hai dạng chính là: cảm biến điện trở quá độ và cảm biến điện trở áp điện Ta sẽ lần lợt nghiên cứu kỹ các dạng cảm biến này ở các mục tiếp theo áp suất Biến đổi điện trở R p Hình 2. 17 Sơ đồ khối của cảm biến điện trở. .. độ trên cả bốn nhánh cầu điện trở đều nh nhau Nh vậy, theo quan điểm thực tế, điện áp ra của mạch cầu sẽ độc lập với nhiệt độ Vấn đề này ta sẽ cùng bàn kỹ trong chơng 5 khi nghiên cứu về một loại cảm biến điện trở đặc biệt - cảm biến tem điện trở đo biến dạng Bảng 2. 3 Biến đổi điện trở tơng đối của điển trở áp điện bán dẫn Biến đổi điện trở tơng đối của một số điện trở áp điện bằng vật liệu bán dẫn... nh nhau) 3 Biến đổi điện trở tơng đối của chúng lớn hơn rất nhiều lần so với biến đổi điện trở tơng đối của kim loại (ở bảng 2. 2) Biến đổi điện trở tơng đối của điện trở áp điện bằng vật liệu bán dẫn tỷ lệ với áp suất trong một khoảng tơng đối rộng, vì vậy đặc tuyến tĩnh của cảm biến điện trở áp điện bán dẫn gần nh tuyến tính Ura 1 2 3 4 1 4 U Ura 2 3 Ghi chú: 1, 2, 3, 4 là bốn điện trở áp điện mắc thành... điện trở lớn hơn tổng điện trở mong muốn R Mắc shunt đã làm giảm điện trở L .R .(xk - xi).R/L xi Rik i xk k Hình 2. 13 Chiết áp tạo đờng cong gần đúng theo phơng pháp mắc shunt từng đoạn Hãy xét điện trở của chiết áp tuyến tính là .R (xem hình 2. 13) Điện trở rơi trên đoạn xk - xi cuả chiết áp cha mắc shunt là: xk - x i rik = .R (2. 22) L Điện trở shunt Rik đợc chọn mắc với điện trở này sao cho tổng điện. .. thể bỏ qua 2. 4 Cảm biến điện trở tiếp xúc thuỷ ngân 2. 4.1 Nguyên lý cấu tạo Sở dĩ cảm biến có tên gọi nh vậy vì trong cấu trúc dây điện trở đợc đặt chìm trong lòng thuỷ ngân, sự biến đổi điện trở phụ thuộc vào sự biến đổi ngấn thuỷ ngân Về nguyên lý chuyển đổi, cảm biến này cũng giống nh cảm biến điện trở tiếp xúc trợt, đại lợng vào là dịch chuyển dài hoặc góc; đại lợng ra là 56 biến đổi điện trở (xem... biến điện trở áp điện bán dẫn cũng có nguyên lý cấu tạo giống nh cảm biến điện trở áp điện kim loại đã thể hiện trên hình 2. 21 Điều đáng lu ý ở cảm biến này là lực chỉ tác dụng trong một hớng đã xác định Trên hình 2 22 sẽ thể hiện rõ hơn điều lu ý này Hớng của áp suất p R Ro 5% 4 3 2 1 Hớng của dòng 0 500 1000 1500 p(kG/cm2) Ghi chú: p là áp suất; R /Ro là biến đổi điện trở tơng đối Hình 2. 22 Nguyên... tạo của một cảm biến đo lực bằng điện trở áp điện bán dẫn đợc mắc theo mạch cầu Trên bốn nhánh cầu là bốn điện trở áp điện bán dẫn (đợc đánh dấu theo thứ tự 1, 2, 3, 4) Các phần tử (điện trở) phải đợc lựa chọn sao cho khi có lực nén (áp suất) tác dụng, biến đổi điện trở tơng đối của các điện trở 1 và 3 có cùng giá trị tuyệt đối nhng ngợc dấu vơí biến đổi điện trở tơng đối của các điện trở 2 và 4 Tác . cứu kỹ những những dạng sau: cảm biến từ cảm, cảm biến từ trở, cảm biến nhiệt điện, cảm biến áp điện, cảm biến quang điện. Cảm biến điện trở là những cảm biến điện, chúng chuyển đổi các đại. và cảm biến quang điện. Trong chơng này, chúng ta sẽ bàn kỹ về bốn dạng đầu tiên (từ 1 đến 4) của cảm biến điện trở. 2. 2 Cảm biến điện trở tiếp xúc Cảm biến điện trở tiếp xúc - gọi tắt là cảm. lợng phụ) chúng có những dạng chính sau: cảm biến điện trở, cảm biến điện cảm, cảm biến điện dung Nhóm 2 Bao gồm những cảm biến điện chủ động (những cảm biến khi hoạt động không cần năng lợng