Nghiên cứu tái chế photoresist phế thải làm phụ gia biến tính cao su nhựa kỹ thuật

TĨM TẮT NỘI DUNG NGHIÊN CỨU Phim cảm quang khơ ứng dụng phổ biến công nghệ sản xuất mạch in Sau sử dụng, tất photoresist bị thải bỏ xác định chất thải nguy hại Hiện nay, nguồn thải khu vực nhà máy FVC Fujitsu với thải lượng 15 – 16 tấn/ tháng Phương pháp xử lý đốt lò hai cấp Kết nghiên cứu đề tài xác nhận PR không chứa kim loại nặng mức độ nguy hiểm dung môi hữu Về PR gồm hai phần este acrylic khâu mạch (91 – 93 %) thể tính trơ khó phân hủy mơi trường, phần acrylat linh động (7 – %) Đề tài thử nghiệm trình tạo blend polyme với PR để cố định acrylat linh động, đồng thời tạo khối monolith (blend polyme) sử dụng vật liệu tái chế Nghiên cứu đề xuất mẫu blend cao su thiên nhiên (NR) blend cao su tổng hợp nitril (NBR) chứa khoảng 40 % PR với chất trợ tương hợp CSTNgAM dầu hạt điều cho blend tương ứng Kiểm tra đặc tính mẫu vật liệu cho thấy có mặt PR điều kiện nghiên cứu cho phép cải thiện tính chịu lão hố, trương nở dung mơi chịu mài mịn vật liệu, đồng thời khơng có rị rỉ acrylat Nghiên cứu đề xuất qui trình dây chuyền tái chế PR cho hai nhóm sản phẩm: (i) đế giầy chịu dầu, gioăng chịu dầu, (ii) gioăng ống ly tâm, gioăng kính dân dụng với cơng suất 10 tấn/ tháng có tính khả thi i SUMMARY OF RESEARCH CONTENT Dry film photoresist is prevailingly used in production of printed wiring boards After use, all photoresist materials are disposed as a hazardous material The main source in the region is FVC Fujitsu factory, which disposed of 15 to 16 tons per month, merely by 2-stage burners The study results confirmed that PR contains neither organic solvents nor heavy metals at any detrimental level Basically, PR is consisted of two components, one is the inert hardly decomposable cross-linked acrylic ester (91-93 %), and the other is mobile acrylate (7-9 %) It is the objective of the study to test the formation of polymer blend with PR in order to fix its mobile acrylates, and at the same time, making monolithic blocks of polymer blend that can be used as a recycled material We recommend the blends with natural rubber (NR) and nitrile rubber (NBR) containing around 40% PR and CSTNgAM as compatabilizer and cashew oil for respective blends The testing of characteristics of samples showed the presence of PR, which, under the study conditions, makes it possible to improve the aging resistance, swelling in solvents and anti-abrasion of the resultant materials and more importantly, without percolation of acrylate The study also proposes a feasible process and production line using recycled PR for two groups of products: (i) oil resistant shoes soles and washers, and (ii) washers for centrifugal pipes and civil glass with the aggregate capacity of 10 tons per month ii Nội dung TÓM TẮT NỘI DUNG NGHIÊN CỨU i U SUMMARY OF RESEARCH CONTENT ii CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG VIỆT .vii CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG ANH viii DANH SÁCH BẢNG VÀ HÌNH ix PHẦN MỞ ĐẦU U 1.Tên đề tài Mục tiêu Nội dung nghiên cứu Sản phẩm đề tài Tiến độ trình bày báo cáo 5.1 Tiến độ thực 5.2 Trình bày báo cáo Chương I TÌNH HÌNH NGHIÊN CỨU TRONG VÀ NGỒI NƯỚC 1.1 Giới thiệu 1.2 Nghiên cứu ứng dụng quang khắc 1.3 Tình hình nghiên cứu 1.3.1 Tình hình nghiên cứu ngồi nước 1.3.2 Các nghiên cứu nước 1.4 Cách tiếp cận nghiên cứu 1.4.1 Photoresist phế thải ảnh hưởng đến môi trường 1.4.2 Tái chế photoresist blend polyme phù hợp 10 Kết luận chương I 12 Chương II PHƯƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU VÀ NGUYÊN LIỆU SỬ DỤNG 14 2.1 Tương hợp blend chất đàn hồi - sở nghiên cứu 14 2.1.1 Các kiểu blend 14 2.1.2 Quá trình blend tương hợp 15 2.1.2.1 Quá trình lưu biến 16 2.1.2.2 Phát triển hình thái 17 2.1.3 Các phương pháp tương hợp 19 2.2 Nguyên liệu sử dụng 19 2.2.1 Nguyên liệu (nền) 19 2.2.2 Nguyên liệu phụ trợ 19 iii 2.3 Phương pháp nghiên cứu 20 2.3.1 Khảo sát điều tra phát thải PR quản lý 20 2.3.2 Nghiên cứu thành phần độc tính PR 20 2.3.3 Khảo sát hệ blend 21 2.3.4 Đề xuất qui trình phương án đầu tư dây chuyền tái chế 22 Chương III KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 24 3.1 Quản lý photoresist phế thải 24 3.1.1 Tổng quan quản lý CTNH địa bàn 24 3.1.1.1 Hệ thống văn pháp lý 24 3.1.1.2 Tổ chức quản lý CTNH 25 3.1.2 Thu gom, vận chuyển xử lý CTNH 26 3.1.2.1 Quản lý CTNH 26 3.1.2.2 Tình hình thu gom, vận chuyển xử lý CTNH 27 3.1.3 Nguồn phát sinh photoressit phế thải 28 3.1.3.1 Nguồn phát sinh 28 3.1.3.2 Lượng photoresist phế thải 29 3.1.3.3 Thu gom xử lý 32 Kết luận mục 3.1 33 3.2 Photoresist phế thải môi trường 35 3.2.1 Thành phần kim loại nặng 35 3.2.2 Thành phần nhựa cảm quang phế thải 35 3.2.3 Hàm lượng chất tan PR 36 3.2.4 Hàm lượng acrylat tan nước 36 3.2.5 Đặc tính nhiệt PR 37 3.2.6 Ảnh hưởng photoresist phế thải đến môi trường 38 Kết luận mục 3.2 40 3.3 Thăm dò số hệ blend với photoresist phế thải 41 3.3.1 Thăm dò hệ vật liệu sở cao su tổng hợp NBR 42 3.3.1.1 Ảnh hưởng hàm lượng PR trợ tương hợp đến tính lý 42 3.3.1.2 Ảnh hưởng PR trợ tương hợp đến tính trương nở 43 3.3.1.3 Ảnh hưởng hàm lượng PR đến chế độ lưu hoá 44 3.3.1.4 Ảnh hưởng PR trợ tương hợp đến hình thái pha blend NBR 45 3.3.2 Thăm dò hệ cao su thiên nhiên NR 45 3.3.2.1 Ảnh hưởng hàm lượng PR trợ tương hợp đến tính lý 45 3.3.2.2 Ảnh hưởng PR trợ tương hợp đến tính trương nở 47 3.3.2.3 Ảnh hưởng hàm lượng PR đến chế độ lưu hoá 47 iv 3.3.2.4 Ảnh hưởng PR trợ tương hợp đến hình thái pha blend NR 47 3.3.3 Nhận xét chung hệ thăm dò 48 3.3.3 Lực chọn hệ blend cho nghiên cứu 51 3.3.3.1 Tiêu chí lựa chọn 51 3.3.3.2 Chọn lựa hệ blend cho nghiên cứu 52 Kết luận mục 3.3 52 3.4 Điều chỉnh thành phần chế độ gia công 54 3.4.1 Thiết lập đơn pha chế công nghệ phù hợp 54 3.4.1.1 Thiết lập đơn pha chế 54 3.4.1.2 Điều chỉnh chế độ gia công 55 3.4.2 Tối ưu hàm lượng than đen 55 3.4.2.1 Thử nghiệm tối ưu hàm lượng than đen 55 3.4.2.2 Kết qủa thử nghiệm ảnh hưởng than đen đến tính lý 56 3.4.2.3 Kết qủa thử nghiệm ảnh hưởng than đen đến đặc tính lưu hố 58 3.4.2.3 Bàn luận ảnh hưởng than đen đến tính chất blend 60 3.4.3 Tối ưu hàm lượng chất trợ tương hợp 62 3.4.3.1 Thử nghiệm tối ưu hàm lượng chất trợ tương hợp 62 3.4.3.2 Kết thử nghiệm ảnh hưởng hàm lượng trợ tương hợp tính lý 63 3.4.3.3 Kết qủa thử nghiệm ảnh hưởng trợ tương hợp đến đặc tính lưu hố 65 3.4.3.3 Bàn luận ảnh hưởng trợ tương hợp đến tính chất blend 68 3.4.4 Tính ổn định vật liệu 70 3.4.4.1 Ổn định vật liệu blend Cao su Thiên nhiên NR với CSTNgAM (G2, I2) 71 3.4.4.2 Ổn định vật liệu blend cao su NBR với dầu hạt điều (H1, K1) 73 3.4.4.3 Hàm lượng acrylat linh động blend 75 Kết luận mục 3.4 76 3.5 Đề xuất qui trình tái chế photoresist tạo blend polyme 78 3.5.1 Qui trình cơng nghệ đề xuất 78 3.5.1.1 Công nghệ phương án xử lý 78 3.5.1.2 Vận hành dây chuyền 79 3.5.1.3 Thiết bị, mặt sản xuất 80 3.5.1.4 Đặc tính sản phẩm tái chế 81 3.5.2 Đặc tính kinh tế môi trường dây chuyền tái chế 83 3.5.2.1 Mục tiêu dự án 83 3.5.2.2 Mức đầu tư nguồn vốn 83 3.5.2.3 Dòng tiền tệ dự án 85 3.5.2.4 Đánh giá phương án xử lý 86 v 3.5.3 Đánh giá phương án xử lý 86 3.5.3.1 Đặt vấn đề, đánh giá rủi ro 86 3.5.3.2 Xu hướng dịch chuyển PR 88 3.5.3.3 Rủi ro phương án 89 Kết luận mục 3.5 92 KẾT LUẬN CHUNG 93 4.1 Kết luận 93 4.1.1 Photoresist phế thải nguồn tải lượng 93 4.1.2 Photoresist phế thải môi trường 93 4.1.3 Nghiên cứu tái chế 93 4.1.3.1 Các hệ blend thăm dò 93 4.1.3.2 Điều chỉnh thành phần công nghệ phù hợp 94 4.1.4 Đề xuất qui trình cơng nghệ xử lý 94 4.2 Kiến nghị 95 4.2.1 Thúc đẩy hoạt động nghiên cứu, quản lý sản phẩm chất thải 95 4.2.2 Tạo điều kiện thực xử lý PR cách tái chế tạo blend polyme 95 TÀI LIỆU THAM KHẢO 96 PHỤ LỤC 104 Phụ lục mục 3.5 (Tính kinh tế mơi trường) 104 Phụ lục chung báo cáo 108 vi CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG VIỆT BVMT BCL CTNH CSTNgAM Cty CTR ĐHBK ĐH HCM HD KCN KCNC NCKH NM TCVN TNHH TNMT TT TTH PTN Photoresist PR P/t QCVN QS UBND VINAUSEN Bảo vệ môi trường Bãi chôn lấp Chất thải nguy hại Cao su thiên nhiên maleic hố Cơng ty Chất thải rắn Đại học Bách khoa Đại học Thành phố Hồ Chí Minh dầu hạt điều Khu công nghiệp Khu công nghệ cao Nghiên cứu khoa học Nhà máy Tiêu chuẩn Việt Nam Trách nhiệm hữu hạn Tài nguyên Môi trường Trung tâm trợ tương hợp Phịng thí nghiệm Nhựa cảm quang Nhựa cảm quang phế thải Phương trình Qui chuẩn Việt Nam Quân Ủy ban nhân dân Công ty Cổ phần Môi trường Việt Úc Diễn giải số thuật ngữ/ khái niệm báo cáo: - Blend hỗn hợp nhiều hợp phần (Từ điển Oxford, 1984) Polyme blend hay polyme mixture thành viên dòng vật liệu tương tự hợp kim bao gồm polyme trộn với tạo nên vật liệu có tính chất khác biệt (Wikipedia, 2010) Blend có ý nghĩa với hỗn hợp (mixture) dùng phổ biến công nghệ polyme - Tác giả - Photoresist hay resist loại chất dễ dàng tham gia phản ứng quang hố làm thay đổi tính tan chúng bị phơi sáng hay tác dụng xạ nói chung Trong nghiên cứu photoresist hay resist cịn Việt hố chất cảm quang, hay nhựa cảm quang Thuật ngữ Việt hố khơng nhằm định nghĩa mà để tạo thuận lợi cho người đọc - Tác giả vii CHỮ VIẾT TẮT TỪ TIẾNG ANH (Chữ viết tắt Tiếng Anh đầy đủ/ Tiếng Việt) 3T 3R ASE Temperature, time, turbulence/ Nhiệt độ, thời gian lưu, xáo trộn Reduce, reuse, recycle/ tối thiểu, tái sử dụng, tái chế Center of Analytical Services and Experimentation HCMC/ TT Dịch vụ Phân tích Thí nghiệm Tp HCM DFR Dry Film Resist/ Phim khô cảm quang DTA CERCLA Differential Thermal Analysis/ phân tích nhiệt vi sai Comprehensive Environmental Response, Compensation, and Liability Act Luật Trách nhiệm pháp lý, Đền bù Phản hồi Mơi trường Tích cực (1980) Eco- Management and Audit Scheme/ Hệ thống Quản lý Sinh thái Kiểm tốn Environmental Protection Agency/ Cơ quan Bảo vệ Mơi trường Hoa Kỳ Center for Environmental Technology & Management/ TT Công nghệ Quản lý Môi trường Field emission/Phát xạ trường Inductively coupled Plama/ Plasme cảm ứng kết hợp Inductively coupled Plama – mass spectrometry/ Plasme cảm ứng kết hợp khối phổ The Institute for Interconecting and Packaging Electronic Circuits/ Viện Mạch điện đóng gói kết nối Institute of Environment and Resources/ Viện Môi trường Tài nguyên Infrared spectrograpgy/ Phổ hồng ngoại Gas chromatography/ Sắc ký khí Gas chromatography-mass spectrometry/ Sắc ký khí ghép khối phổ Maximum Acceptable Toxicant Concentration/ Giá trị ngưỡng độc tính cấp Microelectronic and Computer Technology Corporation/ Công ty Vi điện tử Công nghệ máy tính Acrylonitril butadien rubber/ Cao su nitril Natural rubber/ Cao su thiên nhiên Toxicity Characteristic leaching Procedure/ Qui trình ngâm chiết xác định độc tính Thermal Gravity Analysis /nhiệt trọng lượng Printed Wire Board/ Bo mạch điện Resource Conservation and Recovery Act/ Luật Bảo tồn Thu hồi Tài nguyên - "Wreck-rah” (1976) Scan Electronic Microscopre/ Hiển vi điện tử quét Institute for Tropical technology and Environmental protection/ Viện Kỹ thuật Nhiệt đới Bảo vệ Môi trường EMAS EPA ETM FE ICP ICP-MS IPC IRE IRS GC GC-MS MATC MCC NBR NR TCLP TGA PWB RCRA SEM VITTEP viii DANH SÁCH BẢNG VÀ HÌNH Danh sách bảng Bảng 2.1 Tổng hợp đơn blend dùng nghiên cứu Bảng 3.1 Thông tin quản lý CTNH địa bàn Bảng 3.2 Tổng hợp khối lượng CTNH có lẫn PR từ cơng nghiệp sản xuất linh kiện điện tử Tp Hồ Chí Minh Bảng 3.3 Khối lượng PR đơn vị Tp Hồ Chí Minh thu gom, vận chuyển xử lý Bảng 3.4 Tổng hợp lượng CTNH lẫn PR tỉnh Bình Dương Bảng 3.5 Khối lượng PR vị thu gom, vận chuyển xử lý tỉnh Bình Dương Bảng 3.6 Tổng hợp khối lượng CTNH lẫn photoresist, tỉnh Đồng Nai Bảng 3.7 Tổng hợp lượng CTNH phát sinh thu gom (tấn/tháng) Bảng 3.8 Tổng hợp nguồn photoresist phế thải phân loại Bảng 3.9 Thành phần kim loại nặng kiểm tra mẫu PR Bảng 3.10 Hàm lượng acrylat theo etyl metacrylat PR Bảng 3.11 Kết phân tích thơng số mơi trường nước rửa Bảng 3.12 Ma trận phương án thăm dò Bảng 3.13 Hàm lượng PR dãy mẫu hệ thăm dị Bảng 3.14 Ký hiệu nhóm mẫu Bảng 3.15 Ký hiệu nhóm mẫu Bảng 3.16 Tổng hợp tính chất hệ thăm dị NR Bảng 3.17 Tổng hợp tính chất hệ thăm dị NBR Bảng 3.18 Tiêu chí lựa chọn hệ blend cho nghiên cứu tiếp Bảng 3.19 Đánh giá chọn lựa hệ blend cho nghiên cứu Bảng 3.20 Ký hiệu nhóm mẫu cao su thiên nhiên tổng hợp Bảng 3.21 Biến thiên moment Max thời gian theo hàm lượng than đen (blend NR-G) Bảng 3.22 Biến thiên moment Max thời gian theo hàm lượng than đen (blend NBR-H) Bảng 3.23 Ký hiệu nhóm mẫu cao su thiên nhiên tổng hợp (I1, I2, K1, K2) Bảng 3.24 Biến thiên moment max, thời gian theo hàm lượng than đen (blend NR-I) Bảng 3.25 Biến thiên moment max thời gian theo hàm lượng than đen (blend NBR-K) Bảng 3.26 Hàm lượng acrylat (ppm) linh động mẫu blend theo hàm lượng PR Bảng 3.27 Hàm lượng acrylat (ppm) linh động mẫu blend theo hàm lượng than Bảng 3.28 Danh sách thiết bị dây chuyền Bảng 3.29 Đơn pha trộn cho loại sản phẩm Bảng 3.30 Đặc tính sản phẩm Bảng 3.31 Kết đo đạc mẫu kiểm tra Bảng 3.32 Tính định phí dự án Bảng 3.33 Dịng tiền lưu sở ix Danh sách hình Hình 1.1 Các hợp phần phim khơ resist Hình 2.1 Sơ đồ trình cán trộn chảy polyme Hình 3.1 Cấu trúc hệ thống văn quản lý môi trường Hình 3.2 Sơ đồ đăng ký quản lý CTNH địa bàn Tp.Hồ Chí Minh Hình 3.3 Sơ đồ khối trình sản xuất bo mạch sử dụng phim cảm quang khơ Hình 3.4 Sơ đồ xử lý photoresist phế thải VINAUSEN Hình 3.5 Phổ IR nguyên mẫu PR Hình 3.6 Giá trị trung bình hàm lượng chất tan (hàm ướt) mẫu PR Hình 3.7 Giá trị trung bình hàm lượng chất tan (hàm khơ) mẫu PR Hình 3.8 Giản đồ nhiệt nguyên mẫu PR Hình 3.9 Cơng thức tổng qt photoresist phế thải Hình 3.10 Biến thiên kéo đứt theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.11 Biến thiên dãn dài theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.12 Biến thiên độ cứng theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.13 Biến thiên trương nở nước theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.14 Biến thiên trương nở dầu theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.15 Biến thiên moment Max theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.16 Biến thiên thời gian đạt moment Max theo hàm lượng PR (blend NBR) Hình 3.17 Ảnh SEM blend NBR-PR (E1) chứa 20 % PR Hình 3.18 Ảnh SEM blend NBR-PR-HD (E3) chứa 20 % PR Hình 3.19 Biến thiên kéo đứt theo hàm lượng PR (blend NR) Hình 3.20 Biến thiên dãn dài theo hàm lượng PR (blend NR) Hình 3.21 Biến thiên độ cứng theo hàm lượng PR (blend NR) Hình 3.22 Biến thiên trương nở nước theo hàm lượng PR (blend NR) Hình 3.23 Biến thiên moment Max theo hàm lượng PR (blend NR) Hình 3.24 Biến thiên thời gian đạt moment Max theo hàm lượng PR (blend NR) Hình 3.25 Ảnh SEM blend NR chứa 20%PR Hình 3.26 Ảnh SEM blend NR chứa 20%PR TTT CSTNgAM Hình 3.27 Biến thiên kéo đứt theo hàm lượng than đen (mẫu NR-G) Hình 3.28 Biến thiên dãn dài theo hàm lượng than đen (mẫu NR-G) Hình 3.29 Biến thiên độ cứng theo hàm lượng than đen (mẫu NR-G) Hình 3.30 Biến thiên kéo đứt theo hàm lượng than đen (mẫu NBR-H) Hình 3.31 Biến thiên dãn dài theo hàm lượng than đen (mẫu NBR-H) Hình 3.32 Biến thiên độ cứng theo hàm lượng than đen (mẫu NBR-H) Hình 3.33 Đường cong lưu hố mẫu G1 (trợ tương hợp HD) Hình 3.34 Đường cong lưu hố mẫu G2 (trợ tương hợp CSTNgAM) Hình 3.35 Đường cong lưu hố mẫu H1 (trợ tương hợp HD) Hình 3.36 Đường cong lưu hố mẫu H2 (trợ tương hợp CSTNgAM) Hình 3.37 Biến thiên kéo đứt theo hàm lượng trợ tương hợp (mẫu NR-I) Hình 3.38 Biến thiên dãn dài theo hàm lượng trợ tương hợp (mẫu NR-I) Hình 3.39 Biến thiên độ cứng theo hàm lượng trợ tương hợp (mẫu NR-I) x [40] Demirci U Picoliter droplets for spinless photoresist deposition Review of Scientific Instruments Vol 76, Issue 6, pp 1-5 (2005) [41] Demirci U., Yaralioglu G.G., Hæggstro E., Percin G., Khuri-Yakub 2D acoustically actuated micromachined droplet ejector array Proceedings of the IEEE Ultrasonics Symposium Vol 2, pp 1983-1986 (2003) [42] Demirci U., Yaralioglu G.G., Hæggstrom E., Khuri-Yakub B.T Femtoliter to picoliter droplet generation for organic polymer deposition using single reservoir ejector arrays IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing Vol 18, Issue 4, pp 709-715 (2005) [43] Dieter O.Hummel Atlas of Polymer and Plastics Analysis Hanser publishers, third edition, Vol.1 (1991) [44] Đinh Thế Hiển Exel ứng dụng – Phân tích hoạt động kinh doanh & Tài kế tốn Viện nghiên cứu Tin học & Kinh tế ứng dụng NXB Lao động – Xã hội (2009) [45] Đỗ Hồng Lan Chi Nghiên cứu đánh giá độc tính số chất thải điển hình Thành phố Hồ Chí Minh đề xuất biện pháp kiểm soát chúng TC phát triển KHCN, tập 8, số 9, Tr 57 (2005) [46] Đoàn Thị Ngọc Thuỷ Nghiên cứu xử lý chất thải photoresist theo công nghệ đốt nhiệt phân Luận án cao học – ĐHBK Tp Hồ Chí Minh (2003) [47] Doanh nghiệp tư nhân Mỹ Nga (23/06/2009) Báo cáo vận chuyển CTNH 06 tháng đầu năm 2009 (2009) [48] E Chris Hornaman, Christopher Thomas Hable Poly(vinyl alcohol) stabilized acrylic polymer modified hydralic cement systems U.S Patent 5,753,036 (May 19, 1998) [49] EPA Qui trình ngâm chiết xác định độc tính - TCLP Method 1311 (1992) [50] EPA Regulatory interpretation regarding photoresist solid (“skin”) generated in the printed circuit board manufacturing industry RCRA Online Number 11851 (1994) Michael Shapiro, official letter dated July 12, 1994: http://www.pwbrc.org/regs/1994e.htm [51] Erb Allen Jefferson Treating photoresist waste E.P Patent 544 469 A1 (Nov 20, 1992) [52] F Ide and A Haseagawa J Appl Polyme Sci Part B Polym Phys 32, 205 (1994) [53] Fayt, R., Jerome, R and Teyssi, Ph., Polyme Science, Polyme Physic 27, 775 (1989) [54] Flowers, D., Hoggan, E., Carbonell, R., DeSimone, J.M Designing photoresist systems for CO2 based microlithography Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering Vol 4690 I, pp 419 - 424 (2002) [55] G I Taylor Proc Roy Soc., A138, 41 (1932) [56] G I Taylor Proc Roy Soc., A146, 501 (1934) [57] G Reiss, J Kohler, C Tournut, A Banderet Makromol Chem 101, 58 (1967) 98 [58] Gerspacher M Dynamic viscoelastic properties of loaded elastomers In: Donnet JB, Bansal RC, Wang MJ, eds Carbon Black Science and Technology New York: Marcel Dekker, 377–387 (1993) [59] Gessler A H., Hasset W H (to Esso Research & Engineering) U S 3.037.954 (1962) [60] Grigorev A P., Fedotova, O A Thực nghiệm công nghệ chất dẻo Phần I NXB ĐH Moscow Tr 151 -153 (1977) [61] Grisham M., Dioxin Agent Orange: The facts Plenum, NY (1986) [62] Han, S., Derksen, J., Chun, J.-H Extrusion Spin Coating: An Efficient and Deterministic Photoresist Coating Method in Microlithography IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing Vol 17, Issue 1, pp 12-21 (2005) [63] Hess, Dennis W , Levitin, Galit , Myneni, Satya Using Superciritical and Subcritical CO2 with Additives Final report EPA Grant Number: R829554 Georgia Institute of Technology (2004) [64] Hideharu Mori, Axel H E., Muler New polymeric architechtures with (meth)acrylic acid segment Prog Polym Sci., Vol 28, pp 1403-1439 (2003) [65] Hideki Nishida, Masamichi Moriya, Itaru Shiiba, and Katsuto Taniguchi Chemistry of Photoresist Recycling SPIE Conference on Advances in Resist Technology and Processing XVI SPIE Vol 3678 (1999) [66] Hirao A, Nakahama S Anionic living polymerization of functionalized monomers Acta Polym Vol 49, pp 133–44 (1998) [67] J A Ayla, W M Hess, et al Rubber Chem Technol 64.19 (1992) [68] J Noolandi, K M Herg Macromolecules 17.531 (1984) Polym Eng Sci 24, 70 (1984) [69] JFE KANKYO, http://www.jfe-kankyo.co.jp (2009) [70] John W., Strantz Jr., Wilmington Management of waste solution containing photoresist materials U.S Patent 5112491 (May 12, 1992) [71] Kalinisa L C Phân tích định tính polyme NXB Hóa học Moscow (1975) [72] Kim S I., Lee C W Plasma liquid-vapor activation (PLVA) effect of the semiconductor etching process for photoresist residues Vol 53, Issue (2008) [73] Kohei Miki, Hiroshi Saito Management of photoresist material containing waste solution U.S Patent 4,786,417 (Nov 22, 1988) [74] Lê Thị Hường Kinh tế môi trường NXB Thống kê (1999) [75] Lincoln, D., The assessment of risk at Superfund sites Environmental press, (1987) [76] Long F A., and G E Schweitzer Risk assessment at Hazardous site American Chemical Scociety Symposium Series, Washington, DC (1982) [77] Mangaraj D and Heggs R et al , Plast Eng 44 (6), 29 (1988) 99 [78] Mani Inder, Peters James Cement additives comprising a polymer latex containing a styrene-acrylate-acrylamide interpolymer and a butadiene rubber U.S Patent 4,125,504 [79] McAdams, C.L., Flowers, D., Hoggan, E.N., Carbonell, R.G., DeSimone, J.M All CO2-processed 157-nm fluoropolymer-containing photoresist systems Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering.Vol 4345, Issue I, pp.327-334 (2001) [80] Medalia AI Effect of carbon black on dynamic properties of rubber vulcanizates Rubber Chem Technol , 51:437–523 (1978) [81] MG Chemical Material data sheet www.mgchemicals.com (2009) [82] Michael Kalandiak, Ambler Dry polymer/ Cement composition U.S Patent 3,547,853 (Dec 15, 1970) [83] Microelectronic and Computer Technology Corporation (MCC) and The Institute for Interconecting and Packaging Electronic Circuits (IPC) Printed Wiring board Industry and use of cluster profile US EPA Design for Environmental PWB project EPA website (2008) [84] Miki Kohei, Saito Hiroshi Xử lý chất thải lỏng chứa photoresist J.P Patent JP63031591 [85] Miki Kohei, Saito Hiroshi Xử lý chất thải lỏng chứa photoressist J.P Patent JP63178888 [86] Nguyễn Hữu Niếu Nghiên cứu ứng dụng dầu vỏ hạt điều để chế tạo chất màng Đề tài cấp ĐHBB Tp HCM TT nghiên cứu vật liệu polyme (2005) [87] Nguyễn Phước Dân cộng Đề xuất qui trình xây dựng tiêu chuẩn nước thải cơng nghiệp dựa sở độc tính tồn phần TC Phát triển KH&CN, T 12, Số (2009) [88] Nguyễn Quốc Bình cộng Nghiên cứu thu hồi dung môi từ chất thải photoresist TC Nghiên cứu KHKT& CNQS Số 24 -9 (2008) [89] Nguyễn Quốc Bình cộng Nghiên cứu ứng dụng công nghệ đốt nhiệt phân để xử lý chất thải rắn nguy hại Tp HCM Đề tài cấp thành phố - Sở KHCN Tp Hồ Chí Minh (2003) [90] Nguyễn Quốc Bình cộng Nghiên cứu ứng dụng công nghệ đốt nhiệt phân để xử lý chất thải rắn nguy hại TP HCM Đề tài cấp Thành phố, Tr 34 (2003) [91] Nguyễn Quốc Bình Nghiên cứu ứng dụng trình nhiệt phân để xử lý thành phần hữu trơ chất thải rắn sinh hoạt Tp Hồ Chí Minh theo hướng sản xuất vật liệu Đề tài cấp thành phố - Sở KHCN Tp Hồ Chí Minh (2006) [92] Nguyễn Tấn Bình Tốn tài ứng dụng NXB Thống kê (2009) [93] Nguyễn Việt Bắc Nghiên cứu chế tạo vật liệu tổ hợp blend sở cao su epoxy hoá (KHCN 03-18) (2000) [94] Nguyễn Xuân Hiền Công nghệ học cao su TT dạy nghề quận 3, Tp HCM (1987) 100 [95] Noolandi J , and Hong, K M., Macromolecules 15, 482 (1982) [96] OECD Guidelines for testing of chemical, D Magna sp Acute Immobilization Test (1999) [97] P Gailard, M Sauter, G Reiss Makromol Chem Rapid Commin 1, 711 (1980) [98] P J Corrish, M J Palmer Advance in polymer blend Inst Rubber Int Confference Laughborough England (1969) [99] P Teysie, R Fayat, R Jerome Polym Eng Sci 27, 328 (1987) [100] Payne AR, Whitaker RE Low strain dynamic properties of filled rubbers Rubber Chem Technol , 44:440–478 (1971) [101] Percin G , Khuri-Yakub B.T Photoresist deposition without spinning IEEE transactions on Semiconductor Manufacturing.Vol 16, Issue 3, pp 452-459 (2003) [102] Percin, G , Lundgren, T.S., Khuri-Yakub, B.T Controlled ink-jet printing and deposition of organic polymers and solid particles Applied Physics Letters Vol 73, Issue 16, pp 2375-2377 (1998) [103] Phạm Hữu Lý Tính trộn hợp (miscibility) tính tương hợp (compatibility)Những vấn đề nghiên cứu quan trọng vật liệu blend cao su – polyme TT Khoa học tự nhiên Công nghệ quốc gia Hà Nội (1993) [104] Phan Minh Báu Nghiên cứu chế tạo photoresist sở polymer tổng hợp từ nhựa epoxy acid methacrylic Luận văn thạc sỹ - ĐHBK Tp Hồ Chí Minh (2007) [105] Quản lý dung dịch thải chứa photoresist U.S Patent 4,786,417 [106] R Asaletha, S Thomas, and H J Kumaran Rubber chem Technol 68, 671 (1996) [107] R K Chanara, R Dwivedi and S K Strivastava Effect of different surfaces on plasma stripping of photoresist J Microelectronics Vol 22, No 3, pp 53-57 (1991) [108] R Kerry Turner, David Pearce, Ian Batemen Kinh tế môi trường TT nghiên cứu Phát triển quốc tế (IDRC) (2002) [109] R T Sikorki Technologii polymerow - PWN (podstawy chemi I) (1985) [110] Rober M Evans Cementitous Composition containing acrylic ester polymer U.S Patent 3,196,122 (July 20, 1965) [111] Sartomer Company (Meth)Acrylate Functional Monomers Part II - Additives for Enhanced Composite Performance Without Mold Sticking Satomer Application bulletin (2004) [112] Shull, K R., Kramer, E J., Hadziioannou, G and Tang, W., Macromolecules.23, 4780 (1990) [113] Sở TNMT tỉnh Bình Dương (27/7/2009) Báo cáo Quản lý Chất thải nguy hại tháng đầu năm 2009 (2009) [114] Sở TNMT tỉnh Đồng Nai - Công ty Sản phẩm Máy tính Fujitsu Việt Nam (FCV) Sổ đăng ký quản lý Chủ nguồn thải chất thải nguy hại Hồ sơ (2009) 101 [115] Sở TNMT tỉnh Đồng Nai Báo cáo tình hình thực tiêu mơi trường theo Nghị Hội đồng nhân dân tỉnh Đồng Nai (2009) [116] Sở TNMT Tp HCM, Phòng Quản lý CTR Báo cáo Quản lý Chất thải nguy hại tháng đầu năm 2009 (2009) [117] Sở TNMT Tp HCM Danh sách đơn vị có chức thu gom, vận chuyển CTNH Sở TNMT thành phố cấp phép (2009) [118] Sở TNMT Tp HCM Danh sách đơn vị có chức thu gom, vận chuyển, xử lý, tiêu hủy CTNH Bộ Tài nguyên môi trường cấp phép (2009) [119] Sở TNMT Tp HCM Danh sách đơn vị có chức xử lý, tiêu hủy CTNH Sở TNMT thành phố cấp phép (2009) [120] Sugawara Hiroshi, Henmi Hiromi Phương pháp xử lý phục hồi dịch ảnh chứa phế thải photoresist (waste photoresist developing solution) J.P Patent JP2004226989 [121] Sugawara Hiroshi (JP) Quá trình thiết bị dùng thu hồi thuốc từ chất thải thuốc photoresist tái sử dụng U.S Patent US2001003481 [122] Sugawara Hiroshi Xử lý chất thải lỏng hình photoreisst J.P Patent JP2001017965 [123] Tager A Physical Chemistry of Polymers Mir Publisher Moscow (1978) [124] Tajima Yoshinobu, Sugawar Hiroshi Phương pháp thu hồi thuốc từ dung dịch thải chứa photoresist J.P Patent JP2003215810 [125] Trần Việt Toàn Tổng hợp polyme cảm quang sở nhựa poliurethan acrylat Luận văn thạc sỹ - ĐHBK Tp Hồ Chí Minh (2006) [126] UBND tỉnh Bình Dương, Sở TNMT tỉnh Bình Dương Các văn pháp luật quản lý chất thải nguy hại & Nhập phế liệu (2007) [127] UBND tỉnh Bình Dương, Sở TNMT tỉnh Bình Dương Sổ Đăng ký quản lý chủ nguồn thải CTNH Công ty TNHH FAB-9 Việt Nam (2008) [128] UBND tỉnh Bình Dương, Sở TNMT tỉnh Bình Dương Sổ Đăng ký quản lý chủ nguồn thải CTNH Công ty TNHH VECTOR FABRICATION (VN) (2008) [129] Utracki L A Polymer blends Handbook Kluwer Academic Publishers Vol 1, (2002) [130] Viện KTNĐ & BVMT Tài liệu thu thập photoresis phế thải địa bàn Tp HCM tháng đầu năm 2009 qua báo cáo từ đơn vị thu gom, vận chuyển, xử lý, tiêu hủy CTNH Sổ đăng ký chủ nguồn thải CTNH địa bàn Tp.HCM từ Phòng Quản lý CTR (2009) [131] Võ Hồ Ngọc Nhung Tổng hợp polyme cảm quang sở nhựa epoxy DR331 Luận văn thạc sỹ - ĐHBK Tp Hồ Chí Minh (2006) [132] Võ Thanh Hiếu Nghiên cứu công nghệ xử lý nước thải sản xuất board mạch điện tử đề xuất phương án thu hồi đồng oxit công ty Fujitsu Luận án cao học – ĐHBK Tp Hồ Chí Minh (2005) 102 [133] Vương Quang Việt cộng Blend cao su thiên nhiên nhựa cảm quang phế thải TC KHCN QS Số 5, tháng 2, Tr 60-64 (2010) [134] Vương Quang Việt cộng Nghiên cứu thành phần, tính chất ảnh hưởng photoresist phế thải tới môi trường TC KHCN QS Tháng 9, Tr 48 -54 (2010) [135] Vương Quang Việt cộng Ổn định đóng rắn chất thải nguy hại cách tạo blend polyme – Hướng tái chế chất thải Kỷ yếu Hội nghị KHCN lần thứ 11 Tr 108 – 113 ĐHBK - ĐHQG Tp Hồ Chí Minh (2009) [136] Vương Quang Việt cộng Tái chế nhựa cảm quang cách tạo blend với cao su nitril TC Nghiên cứu KHCN QS Số 8, tháng 8, Tr 73-78 (2010) [137] W A Whitaker III Acrylic polymers: A Clear focus The University of Southern Mississippi, http://www.devicelink.com/mpb/archive (2008) (Nov 14, 1978) [138] Wampler WA, Gerspacher M, Yang HH Carbon black’s role in compound curing behavior Rubber World, 210(1):39–43 (1994) [139] Will Conley (Editor) Advances in Resist Technology and Processing XVI, Proceedings of SPIE Vol 3678, pp 651-657 (1999) [140] William J Librizzi, Jr., Chair, Hazardous waste treatment processes Second edition (1999) 103 PHỤ LỤC Phụ lục mục 3.5 (Tính kinh tế mơi trường) Bảng Bảng giá nguyên vật liệu NgLiệu(NR) NR Than đen Acid Stearic ZnO Xúc tiến MBT Xúc tiến DM Xúc tiến TMTD Phịng lão Lưu huỳnh PR khơ (70%) CSTNgAM Đơn giá/tấn 55,000,000 23,000,000 6,500,000 30,000,000 60,000,000 NgLiệu(NBR) Đơn giá/tấn NBR 60,000,000 Than đen 23,000,000 Acid Stearic 6,500,000 ZnO 30,000,000 Xúc tiến 60,000,000 MBT Xúc tiến DM 60,000,000 Xúc tiến TMTD 60,000,000 90,000,000 7,000,000 Phòng lão Lưu huỳnh 60,000,000 60,000,000 -26,666,667 70,000,000 90,000,000 7,000,000 PR khô (70%) Dầu điều -26,666,667 15,000,000 Bảng Chi tiết tính cho sản phẩm blend Đơn vị tính Thành phần Caosu Bột than Stearic axít ZnO Xúc tiến MBT Xúc tiến DM (trung bình) Xúc tiến TMTD (nhanh) Phịng lão D 4020 Lưu huỳnh Nhựa photoresist CSTNgAM/Dầu điều Tổng Đơn gía (VND)/tấn Blend NR 0.3 0.03 0.05 0.01 Giá trị 55,000,000 6,900,000 195,000 1,500,000 600,000 0.015 0.008 0.015 0.025 0.2 0.05 1.703 104 Blend NBR 0.2 0.03 0.05 0.005 Giá trị 60,000,000 4,600,000 195,000 1,500,000 300,000 900,000 480,000 0.005 0.003 300,000 180,000 1,350,000 175,000 -5,333,333 3,500,000 65,266,667 38,324,525 0.015 0.015 0.2 0.04 1.563 1,350,000 105,000 -5,333,333 600,000 63,796,667 40,816,805 Bảng Biến phí cho sản xuất tháng ứng với suất khác CHI PHÍ SẢN XUẤT CHO TẤN/SP/tháng Số lượng Blend NR Blend NBR Công nhân Kỹ sư Điện nước Chi khác/tháng Thuê nhà xưởng 4 7800 Đơn giá Giá trị 38,324,525 153,298,101 40,816,805 163,267,221 4,000,000 24,000,000 8,000,000 8,000,000 1,500 11,700,000 9,000,000 9,000,000 35,000,000 35,000,000 404,265,323 CHI PHÍ SẢN XUẤT CHO 10 TẤN/SP/tháng Số lượng Blend NR Blend NBR Công nhân Kỹ sư Điện nước Chi khác/tháng Thuê nhà xưởng 5 7800 Đơn giá Giá trị 38,324,525 191,622,627 40,816,805 204,084,026 4,000,000 24,000,000 8,000,000 8,000,000 1,500 11,700,000 9,000,000 9,000,000 35,000,000 35,000,000 483,406,653 CHI PHÍ SẢN XUẤT CHO 12 TẤN/SP/tháng Số lượng Blend NR Blend NBR Công nhân Kỹ sư Điện nước Chi khác/tháng Thuê nhà xưởng 6 7800 Đơn giá Giá trị 38,324,525 229,947,152 40,816,805 244,900,832 4,000,000 28,000,000 8,000,000 8,000,000 1,500 11,700,000 12,000,000 12,000,000 15,000,000 35,000,000 569,547,984 Giá bán sản phẩm blend NR là: 50,000,000 VND/tấn Giá bán sản phẩm blend NBR là: 75,000,000 VND/tấn Giá bán sản phẩm trung bình (tỷ lệ blend NR/NBR 50/50) là: 62,500,000 VND/tấn Thuế lợi tức 30% Tỷ suất chiết khấu NPV = 12% 105 106 Bảng Doanh thu sở qua năm DOANH THU (triệu VND) Năm dự án Tỷ lệ sản lượng tiêu thụ % Tiêu thụ s/p tấn/tháng Tiêu thụ s/p tấn/năm Doanh thu s/p/năm Năm Năm Năm Năm Năm Năm Năm 80% 80% 100% 100% 120% 120% 120% 8 10 10 12 12 12 96 96 120 120 144 144 144 6,000 6,000 7,500 7,500 9,000 9,000 9,000 Bảng Tổng chi phí sản xuất qua năm TỔNG CHI PHÍ SẢN XUẤT/NĂM (triệu VND) Năm dự án Chi phí cố định Chi phí biến đổi Tổng Năm Năm Năm Năm Năm Năm Năm 830 830 830 830 830 830 830 4,851 4,851 5,801 5,801 6,835 6,835 6,835 5,681 5,681 6,631 6,631 7,664 7,664 7,664 Bảng Tính lợi nhuận qua năm TÍNH LỢI NHUẬN Năm dự án Doanh thu s/p Chi phí năm Lợi nhuận trước thuế Thuế lợi tức (30%) Lợi nhuận sau thuế Năm Năm Năm Năm Năm Năm Năm 6,000 6,000 7,500 7,500 9,000 9,000 9,000 5,681 5,681 6,631 6,631 7,664 7,664 7,664 319 319 869 869 1,336 1,336 1,336 96 96 261 261 401 401 401 223 223 609 609 935 935 935 107 Phụ lục chung báo cáo Phiếu kết thử nghiệm mẫu đế giầy không chứa PR 108 Phiếu kết thử nghiệm mẫu đế giầy chứa 20 %PR 109 Phiếu kết thử nghiệm mẫu blend AA họ NR 110 Phiếu kết thử nghiệm mẫu blend CC họ NBR 111 Công văn Công ty Thành Danh Thực sử dụng nhựa tái chế blend cao su 112