... tích tr ng thái oxit v t r n Gerard Deneuville ñã ch r ng màng oxit vonfram a – WO2,9 su t ñư c ch t o b ng phương pháp b c bay có ch a ñ y ñ tr ng thái oxit c a W: W6 +, W5 +, W4 +, W0 ñó tr ng thái ... ng Tương t v y phương pháp phún x có ưu th Phương pháp phún x s ñư c trình bày chi ti t ph n sau T o màng b ng phương pháp hóa h c (CVD): hai phương pháp ch y u sol – gel, phương pháp phun phân ... th c màu s c c a màng oxit vonfram: WO2,5 – WO2,6 có màu xanh da tr i (virgin blue) [24], WO2,69 – WO2,98 su t vùng kh ki n [25] Màng a - WO3 – y ñư c ch t o b ng phương pháp phún x trư ng h p...