... Qi and Yan Wang, Sensors and Actuators, 12(1 989 ) 149-156.[2] S. K. Clark and K. D. wise, IEEE transaction on electron device, ED.26(1979) 188 7- 189 6. [3] D.V. Dung, T. Q. Thong, V. N. Hung, ... nghệ vi điện tử và công nghệ tin học, công nghệ vi cơ đà phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu (ITIMS) là nhóm đầu tiên ở Vi t ... Engineering in Evolution, Proceeding of the third Vietnamese-German Seminar on Physics and Engineering, Ho Chi Minh City, Vietnam, April 3 -8, 2000, p.29-34. [5] D.V.Dung, T.Q.Thong, V.N.Hung...