SEM)
SEM là một trong các loại kính hiển vi điện tử trong các phương pháp phân tích vật lý hiện đại, phương pháp này sử dụng các chùm tia electron năng lượng cao tương tác với các electron trên bề mặt mẫu vật từ đó sản sinh ra các electron thứ cấp, electron tán xạ phản hồi. Các electron phản hồi này được ghi nhận lại cho biết các thông tin về bề mặt và thành phần mẫu. Tia electron thường được quét trên màng mẫu và thiết bị thường được tích hợp detector để tạo ra hình ảnh quét.
Phương pháp SEM có độ phóng đại vào khoảng 100.000 lần. Tuy nhiên, ưu điểm của phương pháp SEM là nó cho phép thu được hình ảnh ba chiều của vật thể và do vậy thường được dùng để khảo sát hình dạng, cấu trúc bề mặt của vật liệu.
Hình 1.34. Sơ đồ nguyên lý hoạt động của kính hiển vi điện tử quét
Chùm telectron hẹp sau khi đi ra khỏi thấu kính hội tụ sẽ được quét lên bề mặt mẫu. Các eletron đập vào bề mặt mẫu, bị phản xạ tạo thành một tập hợp các hạt thứ cấp đi tới delector. Tại đây, electron sẽ được chuyển thành tín hiệu điện. Các tín hiệu điện sau khi đã được khuếch đại đi tới ống tia catot và được quét lên ảnh. Các vùng tối và sáng trên ảnh phụ thuộc vào số hạt thứ cấp đập vào ống tia catôt tức là phụ thuộc vào góc nảy ra của các electron sau khi tương tác với bề mặt mẫu. Chính vì thế mà ảnh SEM thu được phản ánh hình dạng, cấu trúc bề mặt.
Hình 1.35. Thiết bị kính hiển vi điện tử quét (SEM) EVO MA10
Nguồn cấp electron Vật kính Trường quét Mẫu Thực hiện quét đồng bộ Ống tia Catôt Ảnh Detector Chuyển thành tín hiệu điện và khuếch đại
CHƯƠNG 2: THỰC NGHIỆM