3. Tóm tắt nội dung của đề tài
3.2.3.1. Thời gian xử lý plasma
Để xác định thời gian xử lý plasma tối ưu, đã thay đổi thời gian xử lý (t) từ 20 phút đến 60 phút. Các thông số còn lại như công suất ICP (PICP), công suất bias (PBias), lưu lượng khí oxy (FO2), áp suất làm việc (Press) và giá trị đơn vị huỳnh quang tương đối của các mẫu wafer được thể hiện như bảng 3.2.2:
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Độ sáng của mẫu thu được tương ứng với lượng F-LCA được gắn trên bề mặt. Hàm lượng F-LCA càng lớn thì chứng tỏ mật độ GOPTS được gắn trên bề mặt càng lớn nghĩa là hiệu quả xử lý plasma oxy bề mặt càng cao.
Hình 3.2.3: Đồ thị thể hiện sự thay đổi của độ sáng huỳnh quang theo thời gian xử lý
plasma oxy.
Đồ thị cho thấy thời gian xử lý plasma càng tăng thì độ sáng huỳnh quang càng tăng. Những mẫu có thời gian xử lý nhỏ hơn 30 phút hầu như không có huỳnh quang và mẫu được xử lý trong ở 60 phút cho giá trị độ sáng huỳnh quang mạnh nhất. Kết quả này có thể là do trong 30 phút đầu, plasma oxy chỉ có mới có tác dụng làm sạch các tạp chất bám trên bề mặt và chưa tạo ra được lớp oxít. Chỉ sau 30 phút bề mặt đã sạch và plasma oxy bắt đầu giúp hình thành lớp oxynitride Si2N2O.
Hình ảnh huỳnh quang của các mẫu được thể hiện trong hình 3.2.4.
0 15 30 45 60 75 90 15 25 35 45 55 65 Đơ n vị đ ộ sán g h u ỳn h q u an g
Thời gian xử lý plasma t (phút)
ICP Bias O2
P = 10 Pa
t (phút) 20 30 45 60
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Hình 3.2.4: Ảnh huỳnh quang của 4 mẫu wafer ứng với thời gian xử lý plasma khác
nhau: a) 20 phút; b) 30 phút; c) 45 phút; d) 60 phút.
3.2.3.2. Ảnh hƣởng của lƣu lƣợng khí oxy
Sau khi tìm ra được thời gian xử lý plasma tối ưu là 60 phút, đã tiến hành khảo sát ảnh hưởng của lưu lượng khí O2 bằng cách thay đổi giá trị lưu lượng O2 từ 20 đến 160 sccm, các thông số còn lại và kết quả đơn vị huỳnh quang tương đối được thể hiện trong bảng 3.2.3.
Bảng 3.2.3: Các thông số quá trình xử lý plasma oxy.
PICP= 300 W; PBias= 50 W t = 60 phút
Press= 10 Pa
a) b)
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Kết quả trên cho thấy, lưu lượng khí O2 có ảnh hướng lớn đến hiệu quả xử lý plasma từ đó ảnh hưởng đến mật độ nhóm silanol trên bề mặt của mẫu. Hiệu quả biến đổi bề mặt không cao nếu lưu lượng khí O2 quá lớn hoặc quá nhỏ. Kết quả thu được cũng cho thấy lưu lượng khí O2 tối ưu là 40 sccm.
Hình 3.2.5: Đồ thị sự phụ thuộc của tín hiệu huỳnh quang vào lưu lượng khí oxy.
Kết quả này có thể là do:
Với lưu lượng khí oxy nhỏ thì ít có oxy trong buồng và nhận năng lượng plasma để hoạt hoá và phản ứng với các phân tử Si ở bề mặt mẫu.
Với lượng khí oxy quá lớn thì plasma không cung cấp đủ năng lượng cho tất cả oxy để hoạt hoá nên cản trở quá trình phản ứng của các oxy có hoạt tính hóa học cao với bề mặt mẫu. Vì vậy, lớp oxít hình thành trên bề mặt không đủ để tạo ra mật độ nhóm silanol lớn.
Ảnh huỳnh quang của các mẫu được thể hiện trong hình 3.2.6:
0 15 30 45 60 75 90 15 35 55 75 95 115 135 155 Đơ n vị h u ỳn h q u an g tƣ ơn g đ ối Lƣu lƣợng khí oxy FO2(sccm)
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Hình 3.2.6: Ảnh huỳnh quang của các mẫu ứng với lưu lượng khí oxy khác nhau: a)
20 sccm; b) 40 sccm; c) 80 sccm; d) 120 sccm; e) 160 sccm.
b) a)
c) d)
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
plasma ICP với mục đích tìm giá trị tối ưu của công suất trong quá trình xử lý plasma. Bảng 3.2.4 trình bày các thông số của quá trình xử lý:
Bảng 3.2.4: Các thông số quá trình xử lý plasma oxy.
Kết quả này cho thấy công suất plasma ICP tối ưu ứng với 300 W, nhỏ hơn hay lớn hơn giá trị này đều cho hiệu quả xử lý không cao.
Hình 3.2.7: Đồ thị biểu diễn sự phụ thuộc của tín hiệu huỳnh quang vào công suất xử
lý plasma ICP.
Với công suất ICP thấp, plasma không cung cấp đủ năng lượng để kích hoạt các phân tử oxy trong buồng phản ứng. Tuy nhiên lí do vì sao ở chế độ công suất cao thì hiệu quả xử lý bề mặt lại giảm là vấn đề cần nghiên cứu tìm hiểu thêm.
0 20 40 60 80 150 250 350 450 Đơ n vị h u ỳn h q u an g tƣ ơn g đ ối
Công suất ICP PICP (w)
PBias= 50 W; Press = 10 Pa FO2 = 40 sccm
T = 60 phút
PICP (W) 200 300 400
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Hình ảnh huỳnh quang của các mẫu được thể hiện trong hình 3.2.8.
Hình 3.2.8: Ảnh huỳnh quang của các mẫu theo công suất plasma ICP: a) 200 W; b)
300 W; c) 400 W.
3.2.3.4. Các thông số xử lý plasma tối ƣu
Từ các kết quả khảo sát trên, đã tìm ra các thông số tối ưu của quá trình xử lý plasma oxy ghi nhận trong bảng 2.3.5.
Bảng 3.2.5: Các thông số tối ưu của quá trình xử lý plasma oxy
PICP 300 (W)
PBias 50 (W)
a) b)
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
t 60 (phút)
Ứng dụng vào quy trình xử lý plasma, kết quả huỳnh quang thu được so sánh với huỳnh quang của mẫu không được xử lý plasma oxy mô tả trong hình 3.2.9.
a) b)
Hình 3.2.9: Ảnh huỳnh quang: a) mẫu không được xử lý plasma oxy; b) mẫu xử lý
plasma oxy với các thông số tối ưu.
Hình 3.2.9 cho thấy được sự khác biệt rất rõ về độ sáng huỳnh quang của mẫu không được xử lý và được xử lý plasma oxy với các thông số tối ưu. Có thể kết luận rằng, việc xử lý plasma oxy đã làm tăng đáng kể mật độ nhóm silanol trên bề mặt, vì vậy làm tăng mật độ GOPTS được gắn và cuối cùng tăng mật độ F-LCA cố định trên bề mặt mẫu. Từ đó có thể khẳng định rằng, đã thành công trong việc biến đổi bề mặt wafer có phủ lớp SiNx. Những kết quả này sẽ được áp dụng để biến đổi bề mặt thanh dao động có phủ lớp SiNx hướng đến ứng dụng làm cảm biến phát hiện chất chỉ thị ung thư gan DKK1.
3.2.4. Áp dụng quy trình xử lý plasma vào quy trình APTES +GAD tối ƣu
Đã áp dụng các giá trị tối ưu của quá trình xử lý plasma vào quy trình APTES tối ưu (nồng độ 1%, thời gian ngâm 60 phút) để biến đổi bề mặt thanh dao động.
Đánh giá hiệu quả được thực hiện bằng phương pháp chụp ảnh huỳnh quang F-LCA gắn trên bề mặt thanh dao động thông qua liên kết giữa nhóm amine (-NH2) của F-LCA và nhóm aldehyde (-CHO) của glutaraldehyde. Kết quả thể hiện ở hình 3.2.10.
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Hình 3.2.10: Hình ảnh huỳnh quang của F-LCA trên thanh dao động được biến tính
bề mặt sử dụng các thông số tối ưu của quy trình APTES.
Kết quả ảnh huỳnh quang thu được cho thấy phân bổ của F-LCA trên bề mặt khá đều với mật độ lớn. Điều này chứng tỏ hiệu quả biến đổi tốt, là kết quả khả quan để hướng đến ứng dụng trong cảm biến sinh học phát hiện chỉ thị ung thư gan.
Hiệu quả của quá trình biến đổi bề mặt thanh dao động còn được khắng định thông qua phản ứng đổi màu xúc tác bởi enzim HRP.
Thanh dao động SiNx được gắn APTES, GAD và sau đó cho phản ứng HRP (horseradish peroxidase) trong PBS pH 7.4, qua đêm. Kiểm tra sự tồn tại của HRP lên bề mặt chip bằng cách ngâm chip vào dung dịch và quan sát sự đổi màu dung dịch.
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Hình 3.2.11: Độ hấp thụ của dung dịch được đo bằng máy quang phổ UV-VIS với
bước sóng hấp thụ khoảng 540 nm.
Trong thí nghiệm này, sau khi chip được gắn enzim HRP và ngâm vào dung dịch H2O2 và o-dianisidine. Tất cả các dung dịch ngâm đều chuyển thành màu hồng, riêng dung dịch H2O2 và O-dianisidine ngâm chip SiNx chưa qua các bước biến đổi bề mặt thì vẫn không thay đổi (ứng với đường cong baseline). Điều này cho thấy, qui trình biến đổi bề mặt đã xảy ra và được chứng minh nhờ enzim HRP. Để kiểm chứng kỹ hơn, các dung dịch được đem đi đo phổ hấp thụ bằng máy UV-Vis, Cary100. Qua phổ UV-Vis, có thể thấy các mẫu có gắn HRP đều có sự hấp thụ tăng lên ở bước sóng 540 nm, đây là đỉnh hấp thụ đặc trưng của o-dianisidine ở dạng bị oxi hóa. Riêng dung dịch của mẫu SiNx không được gắn HRP thì phổ UV-Vis không có đỉnh hấp thụ, đây là đặc trưng của o- dianisidine ở dạng khử.
3.2.5. Áp dụng quy trình xử lý plasma oxy +APTES+GAD tối ƣu để biến đổi bề mặt SiNx của thanh dao động để dò tìm DKK1
Kết quả mà phương pháp biến đổi bề mặt SiNx của thanh dao động đã được áp dụng vào biến đổi bề mặt của thanh dao động có phủ SiNx nhằm dò tìm DKK1. Kết quả được đánh giá bằng cách xác định độ lệch của thanh dao động, từ đó xây dựng đường chuẩn. Đã xây dựng được đường chuẩn độ lệch của thanh dao động ứng với nồng độ DKK1 thay đổi từ 0 (ng/ml) đến 500 (ng/ml) như đồ thị hình 3.2.12: 0 0.05 0.1 0.15 0.2 0.25 0.3 0.35 0.4 400 500 600 700 800 Độ h ấp th ụ Bước sóng (nm) Baseline
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Hình 3.2.12: Đường chuẩn độ lệch của thanh dao động ứng với nồng độ DKK1 khác
nhau.
Mặc dù sự thay đổi độ lệch của thanh dao động chưa thực sự tuyến tính nhưng về cơ bản ta nhận thấy độ lệch giảm khi tăng nồng độ DKK1. Đồ thị cho thấy, ứng với nồng độ DKK1 là 200 ng/ml, độ lệch của thanh dao động thay đổi gần 300 nm. Sự thay đổi này là đủ lớn để ta có thể khắng định được khả năng phát hiện DKK1 của chíp thanh dao động thông qua phương pháp biến đổi bề mặt của chúng tôi.
-1,400 -1,200 -1,000 -800 -600 -400 -200 0 200 400 0 100 200 300 400 500 600 Độ lệ ch ( n m ) Nồng độ DKK1 (ng/ml) Độ lệch thực nghiệm (nm) Fit
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
KẾT LUẬN VÀ HƢỚNG PHÁT TRIỂN ĐỀ TÀI 4.1. Kết luận
Đề tài đã thu được một số kết quả sau:
Xây dựng được quy trình biến đổi bề mặt Au của thanh dao động bằng cysteamine và sử dụng các phương pháp đánh giá hiệu quả của quy trình như phương pháp chụp ảnh huỳnh quang, phương pháp đo góc tiếp xúc nước.
Xác định được thời gian ngâm và nồng độ GAD tối ưu cho quy trình cải biến bề mặt Au của thanh dao động.
Bước đầu áp dụng thanh dao động trong dò tìm AFP đạt nồng độ khá thấp từ ~200ng/ml.
Đã xác định được thông số tối ưu của quy trình xử lý plasma oxy, áp dụng vào xử lý bề mặt SiNx của thanh dao động. Cải biến bề mặt SiNx thanh dao động bằng APTES, dùng chụp ảnh huỳnh quang, phản ứng đổi màu nhờ enzim HRP để đánh giá.
Bước đầu thu được kết quả dò tìm DKK1 ở khoảng nồng độ từ ~200 ng/ml bằng thanh dao động trên.
4.2. Hƣớng phát triển của đề tài
Tiếp tục nghiên cứu các điều kiện thông số trong quá trình biến đổi bề mặt để nâng cao hiệu quả và tăng độ nhạy của cảm biến thanh dao động.
Nghiên cứu các phương pháp khác để nâng cao độ nhạy của cảm biến và giảm thời gian của quy trình xuống thấp hơn.
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
Tài liệu tham khảo
[1]. Nardo Ramírez Frómeta, “Cantilever Biosensors”, Ave. 25 esq. 158, Cubanacán, Playa, Ciudad de La Habana, Cuba.
[2]. Gennady Evtugyn, “Biosensors: Essentials”, Department of Analytical Chemistry, Kazan Federal University, Kazan, Russia.
[3]. Dr. Javed H. Niazi KM, “Overview, history & types of biosensors”, Faculty of Engineering & Natural Sciences, Sabanci University.
[4]. Janos, Tomaso, “Optical Biosensors”, Laboratory of Biosensors and Bioelectronics, Institute for Biomedical Engineering.
[5]. K. Kivirand, M. Kagan, T. Rinken, “Calibrating Biosensors in Flow-Through Set- Ups: Studies with Glucose Optrodes”, Intech, DOI: 10.5772/54127.
[6]. D. Then, C. Ziegler, “Cantilever – based sensors”, University of Kaiserslautern, Kaiserslautern, Germany.
[7]. Josep M. Llovet, Michel Beaugrand, “Hepatocellular carcinoma: present status and future prospects”, Journal of Hepatology 38 (2003) S136–S149.
[8]. Helen Reeves, Derek M. Manas and Rajiv Lochan, “Liver Tumors - Epidemiology, Diagnosis, Prevention and Treatment", April 10, 2013 under CC BY 3.0 license, Intech.
[9]. Ahmet Gurakar, James P. Hamilton, Ayman Koteish, Zhiping Li, Esteban Mezey, “Hepatocellular Carcinoma”, 600 North Wolfe Street, Baltimore, Maryland.
[10]. Thomas B. Tomasi, “STRUCTURE AND FUNCTION OF ALPHA- FETOPROTEIN”, Ann. Rev. Med. 1977. 28:453-65.
[11]. Pietro Pucci, Rosa Siciliano, Antonio Malorni, Gennaro Marino, Mario F. Tecce, Costante Ceccarini, Benedetto Terraria, “Human a-Fetoprotein Primary Structure: A Mass Spectrometric Study”, Biochemistry 1991, 30, 5061-5066.
[12]. Bin Yu, Xinrong Yang, Yang Xu, Genfu Yao, Huiqun Shu, Biaoyang Lin, Leroy Hood, Hongyang Wang, Shengli Yang, Jianren Gu, Jia Fan, Wenxin Qin, “Elevated expression of DKK1 is associated with cytoplasmic/nuclear b-catenin accumulation and poor prognosis in hepatocellular carcinomas”, Elsevier, Journal of Hepatology 50 (2009) 948–957.
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
[14]. Míriam Gironès i Nogué, “Inorganic and Polymeric Microsieves ”, PhD Thesis, University of Twente, The Netherlands.
[15]. Manoj Joshi, Sunil Singh, BibhuSwain, Samadhan Patil, Rajiv Dusane, Ramgopal Rao, Soumyo Mukheji, “Anhydrous Silanization and Antibody Immobilization on Hotwire CVD Deposited. Silicon Oxynitride Films”, IEEE India Annual conference 2004. Indicon 2004.
[16]. Shun'ko, Evgeny V, Stevenson, David E, Belkin, Veniamin S, "Inductively Coupling PlasmaReactor With Plasma Electron Energy Controllable in the Range From ~6 to ~100 eV". IEEE Transactions on Plasma Science 42 (3): 774–785. [17]. Octmvien Buiu, Gray PKennedy et.al, “Structural Analysis of Silicon Dioxide and
Silicon Oxynitride Films Produced using an Oxygen Plasma”, IEEE Transactions on Plasma Science,VOL.26, N0.6, Dec.1998.
[18]. Buiu, Gartner, Mariuca, Taylor, “Structural analysis of silicon dioxide and silicon oxynitride films produced using an oxygen plasma”, Plasma Science, IEEE Transactions on (Volume:26 , Issue: 6 ).
[19]. C. Jime´nez, J. Perrie`re, I. Vickridge, J.P. Enard, J.M. Albella, “Transformation of silicon nitride in oxygen plasma”, Surface and Coatings Technology, Volume 45, Issues 1–3, 15 May 1991, Pages 147–154.
[20]. S Weichela, R de Reusa, S Bouaidata, P.A Rasmussena, O Hansena, K Birkelundb, H Dirac, “Low-temperature anodic bonding to silicon nitride”, Sensors and Actuators A: Physical, Volume 82, Issues 1–3, 15 May 2000, Pages 249–253.
[21]. Greg T. Hermanson, “BIOCONJUGATE TECHNIQUES ”, 525 B Street, Suite 1800, San Diego, CA 92101-4495, USA, Third edition 2013, chapter 10.
[22]. N. F. Martínez, P. M. Kosaka, J. Tamayo, J. Ramírez, O. Ahumada, J. Mertens, T. D. Hien, C. V. Rijn, and M. Calleja, “High throughput optical readout of dense arrays of nanomechanical systems for sensing applications ”, Review of Scientific Instruments 81, 125109 (2010).
[23]. Michel Godin, Vincent Tabard-Cossa, Peter Gru¨tter and Peter Williams, “Quantitative surface stress measurements using a microcantilever”, Applied Physics Letters, Volome 79, Number 4, 2001.
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành
[24]. Yuehua Yuan, “Surface Science Techniques”, Springer Berlin Heidelberg (2013), chapter 1 trang 5.
[25]. Sung-Hoon Kim, Sun-Kyung Han, Jae-Ho Kim, Myung-Bock Lee, Kwang-Nak Kohd, Shin-Won Kang, “A self-assembled squarylium dye monolayer for the detection of metal ions by surface plasmon resonances”, Elsevier, Dyes and Pigments 44 (2000) 55-61. [26]. http://globocan.iarc.fr/Pages/fact_sheets_population.aspx. [27].http://benhvienk.com/pcut/tim-hieu-benh-ung-thu/1059-cac-phuong-phap-chan- doan-ung-thu. [28]. http://www.sigmaaldrich.com/catalog/product/sigma/srp3258?lang=en®ion=VN [29]. http://www.cancer.net. [30]. http://en.wikipedia.org/wiki/Contact_angle.
Luận văn tốt nghiệp Thạc sỹ Nguyễn Trung Thành DANH MỤC CÁC BÀI BÁO LIÊN QUAN ĐẾN ĐỀ TÀI