CHƢƠNG I : TỔNG QUAN
3.6. Chế tạo màng mỏng ZnO bằng phƣơng pháp CVD
3.6.3. Nghiên cứu màng chế tạo từ tiền chất ZnA2.H2 O
Căn cứ vào giản đồ phân tích nhiệt và khả năng thăng hoa của phức chất chúng tơi duy trì nhiệt độ thuyền đựng chất trong khoảng 100 – 120oC. Nhiệt độ đế từ 250 – 550oC, bước nhảy 50o
C.
3.6.3.1. Giản đồ nhiễu xạ tia X của các màng.
Các giản đồ nhiễu xạ tia X của màng ở các nhiệt độ khác nhau được trình bày trong phần phụ lục. Hình 3.13 là giản đồ nhiễu xạ tia X chồng của các màng.
Trên giản đồ XRD xuất hiện các pic nhiễu xạ tương ứng với phổ chuẩn, khơng có pic tạp chứng tỏ sản phẩm ZnO đã được tạo ra trên màng. Trong khoảng nhiệt độ từ 250 – 350o
C, giản đồ XRD xuất hiện nhiều đỉnh nhiễu xạ nhưng các đỉnh nhiễu xạ này có vị trí gần giống nhau, chỉ khác nhau cường độ nhiễu xạ do màng ZnO định hướng ngẫu nhiên trong không gian.
Từ 400 – 500oC, trên giản đồ XRD cường độ của pic nhiễu xạ cực đại lớn hơn rất nhiều so với các pic còn lại. Cũng như trường hợp màng tạo bởi tiền chất kẽm(II) pivalat, các màng ZnO chứa các hạt chủ yếu định hướng theo mặt (002).
Riêng với màng ZnO ở 550o
C khơng có hình ảnh nhiễu xạ. Chúng tôi giả thiết là ở nhiệt độ này tiền chất bị cháy quá mạnh nên lượng ZnO bám lại trên màng là khơng đáng kể.
Hình 3.13: Giản đồ nhiễu xạ tia X chồng của màng ở các nhiệt độ khác nhau
Từ phổ chồng XRD của các màng có thể kết luận rằng nhiệt độ đã ảnh hưởng đến sự định hướng phát triển mầm tinh thể của màng. Nhiệt độ trên 550o
C ta không thu được màng.