Việc quy hoạch : đô thị, nông thôn, khu công nghiệp, khu dân cư hay trong một công trình có ý nghĩa quan trọng trong việc phòng chống ô nhiễm không khí. Khi lập luận chứng kinh tế kỹ thuật phải tính toán tác động của công trình đến môi trường, phải đảm bảo công trình khi sử dụng không làm cho nồng độ chất độc hại của khu vực vượt quá giới hạn cho phép. Đối với khu công nghiệp, các nguồn độc hại nên bố trí ở cuối hướng gió chủ yếu và cần tập trung lại để xử lý.
Các công trình phải được bố trí hợp lý theo mặt bằng địa hình, đáp ứng yêu cầu thông thóang và không ảnh hưởng đến các công trình khác.
Khi thiết kế quy hoạch một thành phố hay một khu công nghiệp phải nắm vững số liệu địa hình, địa chất, thủy văn, khí hậu cũng như quy mô phát triển lâu dài.
Nguyên tắc thiết lập mặt bằng khu công nghiệp để phòng chống ô nhiễm không khí là :
- Hình thành các nhà máy với các tổ hợp công nghệ độc lập. - Hợp khối.
- Phân khu hợp lý.
- Tập trung hóa các đường ống công nghệ.
Trong nhà máy phải phân khu thuận tiện để dễ dàng tập trung các nguồn thải, các thiết bị làm sạch, các hệ thống thông gió xử lí không khí, các thiết bị kiểm tra kiểm soát và báo động ô nhiễm.
Các khu nhà cũng như từng ngôi nhà phải đảm bảo sự thông thóang và chiếu sáng tự nhiên tốt.
Khu hành chính của nhà máy cần có dải cây xanh bao bọc xung quanh để giảm ảnh hưởng của chất độc hại, ngăn bớt khói bụi, tiếng ồn và giảm bớt bức xạ Mặt trời.