Việc phát các ch m tia điện tử tron S cũn iốn nhƣ việc tạo ra các ch m điện tử tron k nh hiển vi điện tử truyền qua, tức là điện tử đƣợc phát ra từ sún phón điện tử có thể là phát xạ nhiệt hay phát xạ trƣờn ), sau đó đƣợc tăn tốc Tuy nhiên, thế tăn tốc của S thƣờn chỉ từ 10 V-50 V v sự hạn chế của thấu k nh từ, việc hội tụ các ch m điện tử có ƣớc són nhỏ vào một điểm có k ch thƣớc nhỏ sẽ rất khó khăn Điện tử đƣợc phát ra, tăn tốc và hội tụ thành một ch m điện tử hẹp cỡ vài Å đến vài nanôm t) nhờ hệ thốn thấu k nh từ, sau đó đƣợc quét trên ề mặt mẫu nhờ các cuộn quét t nh điện Độ ph n iải của S đƣợc xác định từ k ch thƣớc ch m điện tử hội tụ, mà k ch thƣớc ch m điện tử này ị hạn chế ởi quan sai, ch nh v thế S kh n thể đạt đƣợc độ ph n iải tốt nhƣ T oài ra, độ ph n iải của S c n phụ thuộc vào tƣơn tác iữa vật liệu tại ề mặt mẫu vật và điện tử hi điện tử tƣơn tác với ề mặt mẫu vật, sẽ có các ức xạ phát ra, sự tạo ảnh tron S và các phép ph n t ch đƣợc thực hiện th n qua việc ph n t ch các ức xạ này, các ức xạ chủ yếu ồm:
+ Điện tử thứ cấp S con ary l ctrons): Đ y là chế độ hi ảnh th n ụn nhất của k nh hiển vi điện tử quét, ch m điện tử thứ cấp có năn lƣợn thấp thƣờn nhỏ hơn 50 V) đƣợc hi nhận ằn ốn nh n quan nhấp nháy V chún có năn lƣợn thấp nên chủ yếu là các điện tử phát ra từ ề mặt mẫu với độ s u chỉ vài nanôm t, o vậy chún tạo ra ảnh hai chiều của ề mặt mẫu
+ Điện tử tán xạ n ƣợc ackscatt r l ctrons): Điện tử tán xạ n ƣợc là ch m điện tử an đầu khi tƣơn tác với ề mặt mẫu ị ật n ƣợc trở lại, o đó chún thƣờn có năn lƣợn cao Sự tán xạ này phụ thuộc rất nhiều vào thành phần hóa h c ở ề mặt mẫu, o đó ảnh điện tử tán xạ n ƣợc rất hữu ch tron việc ph n t ch thành phần hóa h c oài ra, điện tử tán xạ có thể n để hi nhận ảnh nhiễu xạ điện tử tán xạ n ƣợc, iúp cho việc ph n t ch cấu trúc tinh thể chế độ ph n cực điện tử) oài ra, điện tử tán xạ n ƣợc phụ thuộc vào các liên kết điện tại ề mặt mẫu nên có thể đ m lại th n tin về các đ men sắt điện
Tron n hiên cứu này, chún t i sử ụn k nh hiển vi điện tử quét -SEM S 4800 (Hitachi, hật ản) Viện Khoa h c vật liệu để khảo sát cấu trúc vi m của các vật liệu tổ hợp nh 2 8).