b) Năng lượng hạt tới 20 eV.
Tuy nhiên các giá trị vềđộ gồ ghề thu được trong mô phỏng lại không phản ánh
được thực nghiệm. Cụ thể trong kết quả mô phỏng, khi năng lượng hạt tới là 10 eV,
ứng với bề dày màng 148,71 nm thì độ gồ ghề màng là 1,15 nm (bảng 4.3), nhưng các kết quả thực nghiệm của tác giả Vũ Thị Hạnh Thu [8] ứng với bề dày màng là 138 nm,
độ gồ ghề màng là 9,2 nm (bảng 4.2). Sự khác biệt này quá lớn mặc dù các năng lượng hạt tới trong mô phỏng và trong thực nghiệm có khác nhau. Điều này cho thấy rằng
mô hình mô phỏng phản ánh chưa tốt về sự biến đổi của độ gồ ghề theo bề dày màng, nó chỉ có thể chỉ ra một cách định tính sự biến đổi của độ gồ ghề màng theo bề dày màng.
Hình 4.6: Sự biến đổi độ gồ ghề theo bề dày của màng ứng với cùng một công suất phún xạ, thu được từ thực nghiệm.
4.2.1 SỰ BIẾN ĐỔI ĐỘ GỒ GHỀ THEO NĂNG LƯỢNG HẠT TỚI
Mặc dù khảo sát sự thay đổi độ gồ ghề của màng theo bề dày màng chỉ có thể
dừng lại ở giới hạn định tính nhưng vẫn có thể sử dụng mô hình để khảo sát sự biến
đổi độ gồ ghề của màng theo năng lượng hạt tới. Dựa vào hình 4.7 có thể thấy một số điểm như sau: đường biểu diễn sự thay đổi độ gồ ghề của màng theo bề dày màng ứng với năng lượng hạt tới 20 eV (đường màu đỏ) nằm trên đường biểu diễn sự thay đổi độ
gồ ghề của màng theo bề dày màng ứng với năng lượng hạt tới 10 eV, khoảng cách giữa hai đường nở rộng khi bề dày tăng. Đều này cho phép kết luận: độ gồ ghề của màng tăng khi năng lượng hạt tới tăng, sự tăng độ gồ ghề theo năng lượng càng lớn khi bề dày màng càng lớn (tương ứng với bề dày mà chúng tôi khảo sát).
Hình 4.7: Sự biến đổi độ gồ ghề theo bề dày của màng ứng với năng lượng hạt tới khác nhau. Đường màu xanh ứng với năng lượng hạt tới là 10 eV, đường màu đỏứng với năng lượng hạt tới là 20 eV.
4.3 BỀ MẶT MÀNG
a) 500 hạt b)2000 hạt
c) 4000 hạt d) 5000 hạt
e) 6000 hạt f)7000 hạt
g)8000 hạt h) 9000 hạt