Bốc bay chân không sử dụng nguồn nhiệt trực tiếp nhờ thuyền điện trở còn được gọi là bốc bay nhiệt. Thuyền điện trở thường dùng là các lá volfram, tantan, molipden hoặc dây xoắn thành rỏ. Vật liệu cần bốc bay (còn gọi là vật liệu gốc) được đặt trực tiếp trong thuyền, khi thuyền được đốt nóng lên đến nhiệt độ cao bằng hoặc hơn nhiệt độ hoá hơi của vật liệu gốc thì các phần tử hoá hơi sẽ bay ra và lắng đọng trên đế. Đây là phương pháp thuận tiện có nhiều ưu điểm
để chế tạo các màng mỏng kim loại đơn chất như nhôm, bạc, vàng. Để bốc bay màng mỏng hợp chất nhiều thành phần phương pháp này có nhược điểm lớn nhất là sự "hợp kim hoá" giữa thuyền và vật liệu gốc và quá trình hoá hơi không đồng thời của các phần tử, cho nên màng nhận được có chất lượng không cao về hợp thức hoá học, không sạch về thành phần và không hoàn hảo về cấu trúc tinh thể .
Cũng có nhiều công trình báo cáo về việc sử dụng phương pháp bốc bay nhiệt để chế tạo màng mỏng ôxit vanađi với lý do là phương pháp này khá đơn giản, thuận lợi, khi vật liệu gốc có nhiệt độ hoá hơi không quá cao. Trong số ôxit vanađi dùng làm vật liệu gốc, bột V2O5 trong chân không cao có nhiệt độ hoá hơi thấp (tại nhiệt độ 6900C, tại chân không 10-5 Torr). Màng mỏng V2O5 đã nhận được, tuy nhiên các tác giả cũng đã chỉ ra sự không tinh khiết của chúng. Một số kết quả chế tạo màng mỏng sử dụng vật liệu gốc là dây vanađi siêu sạch, mặc dầu vậy các tác giả cũng cho thấy sự gia nhiệt sau khi bốc bay là một quá trình rất phức tạp và công phu. Nói chung bốc bay nhiệt sử dụng vật liệu gốc là các ôxit vanađi khác nhau để nhận màng mỏng đều không cho kết quả tốt [7].