Với màng mỏng dẫn điện có chiều dày không lớn lắm, thí dụ với d < 300nm, chúng ta có thể dùng phương pháp đo điện trở vuông để tính điện trở suất của màng. Điện trở vuông là điện trở đo được từ hai dải điện cực tạo trên bề mặt mẫu một diện tích hình vuông (như hình 2.10). Điện cực kim loại (Au, Ag hay Al) được chế tạo bằng phương pháp bốc bay chân không.
Như đã biết, công thức tính điện trở của vật dẫn điện như sau: (2.4) trong đó:
ρlà điện trở suất,
l là chiều dài của mẫu,
Slà diện tích của tiết diện cho điện dòng điện đi qua.
Hình 2.10. Mẫu màng mỏng để đo điện trở vuông. l ,
R
S
Trong trường hợp mẫu đo có diện tích hình vuông như trên Hình 2.10. thì tiết diện đó có diện tích bằng S =l×d. Vì vậy chúng ta có điện trở bề mặt (điện trở “vuông”), ký hiệu là Rs. Do đó: R d S × = ρ ( 2.5 )
Công thức (2.5) cho thấy, khi đã biết giá trị chiều dày của màng mỏng chúng ta có thể xác định điện trở suất từ giá trị thực nghiệm đo điện trở vuông. Điện trở vuông còn được ký hiệu là R (Ω/ ), ô vuông ở dưới đơn vị điện trở cho biết giá trị điện trở đã nhận được từ mẫu đo có diện tích bề mặt là hình vuông. Từ thực nghiệm cho thấy đối với mẫu càng mỏng thì phép đo càng chính xác, trong trường hợp này giá trị của sai số trong phép đo điện trở vuông (để tính ra điện trở suất) có cùng thứ bậc so với sai số trong phép đo bằng bốn mũi dò.
Vậy với các phương pháp lắng đọng màng mỏng và các phương pháp đo đạc nghiên cứu các tính chất của màng mỏng ôxit vanađi, chúng ta có được những kiến thức cần thiết trong chế tạo và phương phá nghiên cứu. Trên cơ sở đó, chúng ta sẽ tìm ra được phương pháp và điều kiện cần thiết để chế tạo được màng mỏng V2O5 và tìm ra khả năng ứng dụng của màng trong lĩnh vực quang học cũng như các lĩnh vực khác.