Chương 1 TỔNG QUAN
2.4. Các phương pháp phân tích vật liệu
2.4.1. Kính hiển vị điện tử truyền qua (TEM)
Kính hiển vi điện tử truyền qua (Transmission Electron Microscopy - TEM) là một trong những thiết bị quan trọng nhất dùng nghiên cứu vật liệu nano, cung cấp cho chúng ta các thơng tin về hình dạng, kích thước, mức độ tinh thể hóa và thành phần hóa học của các mẫu phân tích. Trong TEM, chùm điện tử được phát ra từ súng phóng điện tử thơng qua hiệu ứng phát xạ trường hoặc hiệu ứng nhiệt được gia tốc bởi một điện áp cao áp có giá trị trong khoảng
80 ÷ 400 kV. Chùm điện tử sau khi gia tốc được đưa qua một hệ thống các thấu kính điện từ (các thấu kính hội tụ) cho đến khi chúng tương tác với mẫu cần nghiên cứu. Chùm điện tử đi xuyên qua mẫu được phóng đại bởi một loạt các vật kính trước khi được quan sát trên màn hình huỳnh quang hoặc ghi nhận bằng camera (Hình 2.2a). Một thấu kính điện từ bao gồm một cuộn dây bằng
đồng quấn quanh 2 cực được làm bằng vật liệu từ mềm với một lỗ khoan ở giữa cho phép chùm tia điện tử đi qua. Bằng cách thay đổi cường độ dòng điện đi qua cuộn dây ta có thể điều khiển kích thước của chùm tia điện tử (cường độ chùm tia) hoặc độ phóng đại của ảnh [58].
Màn hình a) b)
Nguồn cấp hiển thị electron
Mẫu Ảnh Thấu kính hội tụ Phóng to ảnh
Hình 2.2. a) Sơ đồ ngun lý của TEM, b) Kính hiển vi điện tử truyền qua
JEM1010 đặt tại Viện Vệ sinh Dịch tễ Trung ương.
Các ảnh TEM của vật liệu được chụp trên kính hiển vi điện tử truyền qua JEM1010 (Hình 2.2b), đặt tại Viện vệ sinh dịch tễ Trung ương với hiệu điện thế từ 40 đến 100 kV, độ phân giải đối với điểm ảnh là 0,2 nm.