Xử lý và rửa các mẫu FTO lần lượt với ethanol, acetone và hai lần nước cất cùng với dung siêu âm mỗi lần 15 phút. Sau khi mẫu được rửa sạch và sấy khô được gắn lên trên đĩa để đưa vào buồng bốc bay. Lắp đĩa bốc bay vào máy chân không bốc bay và cho vật liệu vàng cần bốc bay vào thuyền điện trở của máy, bật máy dao động thạch anh và lựa chọn vật liệu thích hợp để tiện cho việc quan sát độ dàng của màng trong quá trình bốc bay. Đóng kín buồng chân không lại và bắt đầu cho máy chạy ban đầu là bơm sơ cấp từ 15 đến 20 phút sau đó chuyển chế độ của máy sang chế bơm khuếch tán. Sau 30 phút máy chạy bật máy đo chân không để kiểm tra chân không hiện tại đang ở giá trị bao nhiêu. Thường thì sau 1 giờ 15 phút, chân không sẽ đạt được là 10−5 (torr), chúng ta sẽ chuyển sang giai đoạn bốc bay vàng, Tăng dòng qua thuyền điện trở từ từ và quan sát máy dao động thạch anh thấy có sự tăng trưởng của màng giữ cố định dòng qua thuyền điện trở và đợi cho màng phát triển đến độ dày mà chúng ta mòng muốn. Sau khi đạt được yêu cầu, chúng ta tắt chế độ bốc bay và đợi 5 phút cho máy nguội. Tắt máy và lấy mẫu. Các mẫu vàng được lấy ra và được ủ trong lò ủ ở 450oC trong vòng 1 giờ. Lớp màng Au có các chiều dày khác nhau lần lượt là 3; 5 và 10 nm được chúng tôi chế tạo để tạo ra lớp các hạt nano Au có các kích thước khác nhau.
38
Hình 2. 3 Hệ bốc bay chân không của Viện Khoa học vật liệu