đế thủy tinh Corning.
1.2.2.5. Ảnh hưởng của tỉ lệ mol giữa Zn2+/DEA
Chúng tôi tiến hành khảo sát chế tạo màng AZO với tỉ lệ mol giữa Zn2+ và chất tạo phức DEA là 3:2 (r = 1,5) và 1:1 (r = 1). Việc khảo sát chỉ giới hạn trong hai tỉ lệ vì lý do sau: nếu hàm lượng DEA quá thấp sẽ dẫn đến quá trình phân tán các hạt sol kém, ngược lại nếu hàm lượng DEA quá cao thì làm tăng độ xốp của màng dẫn đến độ dẫn giảm nhưđã trình bày trong phần II.1.2.2.3.
Từ kết quả (bảng II.1.8 và hình II.1.18) cho thấy việc giảm chất tạo phức sao cho hệ phân tán vẫn tốt mà giảm đáng kể thời gian ủ nhiệt sơ bộ cũng làm tăng độ dẫn của màng (1,2 lần). Điều này hoàn toàn phù hợp với những kết luận về đặc trưng cấu trúc nhưđã trình bày trong phần II-1.2.1.3.
Bảng II.1.8: Bảng giá trị điện trở khi dùng dung môi Ethanol, chất tạo phức DEA với r=1 và 1,5.
Hình II.1. 19: Đồ thị biểu diễn sự ảnh hưởng của tỉ lệ mol giữa Zn2+/DEA đến
điện trở của màng (a) ủ nhiệt lần 1, (b) ủ nhiệt lần 2
Tuy nhiên để thỏa mãn cả hai điều kiện phân tán tốt và độ xốp thấp thì các giá trị tỷ lệ mol giữa Zn2+ và chất tạo phức DEA là 3:2 và 1:1 đều có thể đáp ứng yêu cầu
Pha tạp Al (%) Ủ nhiệt lần 1 (Ω) Ủ nhiệt lần 2 (Ω)
A1xED1-C A1xED1,5-C A2xED1-C A2xED1,5-C
0 5560000 3780000 894 863 1 972000 873000 157 132 2 1302000 928000 208 154 4 3140000 1860000 397 363 6 6230000 5630000 1630 1320 (a) (b)
thí nghiệm của chúng tôi trong quá trình tạo màng AZO áp dụng trong quá trình chế
tạo linh kiện sau này (phần II-2.1.5). Tùy thuộc vào yêu cầu, điều kiện chế tạo màng AZO trên các đế nền khác nhau (như Si, thủy tinh…), chúng tôi có thể có được một thông số thực nghiệm tương đối linh hoạt để có thể dễ dàng tạo màng có độ đồng đều,
độ bám trên các đế khác nhau mà độ dẫn sẽ không thay đổi đáng kể và không ảnh hưởng đến các thông số chế tạo khác (ví dụ như tỷ lệ phần trăm pha tạp để có độ dẫn cao nhất không thay đổi).
Nhận xét chung:
Từ các kết quả được trình bày như trên, chúng tôi nhận thấy màng A21ED1,5-C có độ
dẫn tốt nhất với các thông số chế tạo:
• Chếđộ ủ nhiệt: 2 lần (lần 1: 2000C trong không khí cho mỗi lớp với thời gian ủ
là 1 giờ. Lần 2 ủ 500oC trong chân không 10-5torr với thời gian ủ nhiệt là 1 giờ)
• Nồng độ pha tạp Al3+/Zn2+ là 1% • Dung môi: Ethanol
• Chất tạo phức: DEA
• Tỉ lệ mol giữa Zn2+ và DEA: r=1,5 • Đế dùng để phủ màng: thủy tinh Corning
Với mục đích ứng dụng màng AZO trong vai trò làm màng chống phản xạ và cung cấp
điện tử cho pin mặt trời, chúng tôi giữ nguyên các thông số chế tạo như trên để khảo sát sự ảnh hưởng của màng AZO đến hiệu suất của pin được trình bày trong phần II- 2.2.3.