4- Precurrsor PZT:
3.3.1.2Trên điện cực SRO
Trong quá trình làm thực nghiệm khi quan sát sơ bộ bề mặt màng mỏng PZT bằng
ảnh quang học (hình 3.15) trên điện cực SRO ta thấy không thấy xuất hiện hiện tượng nứt vỡ.
(a) (b)
Hình 3.15: Ảnh quang học của màng PZT trên điện cực SRO, PZT(53) 4 lớp (a), PZT(47)/PZT(53) 4 lớp (b).
Hình 3.17: Ảnh AFM của màng PZT(47)/PZT(53) 4 lớp trên điện cực SRO.
Trên điện cực SRO qua ảnh AFM (hình 3.17) thì dải kích thước hạt của màng PZT(53) và PZT(47/53) là từ 60 – 100nm và từ 40 – 60nm. Độ mấp mô bề mặt lần lượt là 1,1nm và 0,75nm. Từ kết quả trên ta nhận thấy rằng bằng cách tạo ra cấu trúc dị lớp ta
đã làm giảm được kích thước hạt và độ mấp mô bề mặt một cách đáng kể. Cải thiện được hình thái bề mặt của màng một cách rõ rệt. Đặc biệt ta cũng nhận thấy rằng chất lượng màng PZT(53) cũng như màng cấu trúc dị lớp PZT(47)/PZT(53) còn phụ thuộc rất nhiều vào cấu trúc đế.
3.3.2 Chiều dày màng
Ảnh hiển vi điện tử quét mặt cắt ngang của màng PZT(53) và màng cấu trúc dị lớp PZT(47)/PZT(53) trên điện cực SRO (hình 3.18, hình 3.19) cho thấy thước hạt trung bình trên màng PZT(53) vào khoảng 60-100 nm còn trên cấu trúc màng cấu trúc dị lớp thì kích thước đồng đều hơn vào khoảng 40-60 nm. Kết quả trên ảnh SEM cross section còn cho thấy sự khác biệt về chiều dày của màng dị lớp và màng đa lớp với cùng 4 lần phủ. Trên điện cực SRO thì màng PZT(53) và cấu trúc màng dị lớp PZT(47)/PZT(53) lần lượt là 394,5 nm, 424 nm. Có thể nói màng PZT khi quay phủ trên đế SRO cho độ
Hình 3.18: Ảnh SEM mặt cắt ngang màng mỏng PZT(53) 4 lớp trên điện cực SRO
Hình 3.19: Ảnh SEM mặt cắt ngang màng mỏng PZT(47)/ PZT(53) 4 lớp trên điện cực SRO
3.3.3 Cấu trúc tinh thể màng mỏng PZT cấu trúc dị lớp 3.3.3.1. Trên điện cực Pt