4- Precurrsor PZT:
3.1Màng mỏng PZT(53) trên điện cựcPt và điện cực SRO 1 Hình thái cấu trúc bề mặt
3.1.1 Hình thái cấu trúc bề mặt
(a) (b)
Hình 3.1:Ảnh quang học của màng PZT(53) trên điện cựcPt (a) và SRO (b)
Trong quá trình làm thực nghiệm khi quan sát sơ bộ bề mặt màng mỏng PZT(53) 4 lớp trên 2 loại điện cực Pt và SRO (hình 3.1) ta thấy:
+ Màu sắc của màng PZT thay đổi sau số lần phủ màng và khác nhau trên hai loại
điện cực Pt và SRO.
+ Trên điện cực SRO bề mặt màng ít sai hỏng, gần như không xuất hiện các rỗ khí và có độ nhẵn cao hơn khi thực hiện tạo màng trên điện cực Pt.
+ Độ nhẵn bóng cũng như các rỗ khí và sai hỏng trên bề mặt tăng khi số lớp phủ
tăng.
Để làm giảm bớt những sai hỏng, rỗ khí và tăng độ nhẵn bóng trong quá trình thực hiện tạo màng thì những bước như làm sạch điện cực Pt và SRO, lọc sol nhờ giấy lọc được chú ý nhiều. Sol sau khi tạo xong được bảo quản kỹ trong tủ lạnh tránh tiếp xúc với môi trường bên ngoài có nhiều hơi ẩm. Điều đặc biệt khi sử dụng ống hút cho mỗi lần phủđều phải là những ống hút mới, Không sử dụng lại những ống cũ vì sol bỏ ra ngoài môi trường sẽ vón lại rất nhanh. Nếu ta dùng lại ống hút cũ sẽ làm rơi những sol
hỏng đó xuống màng tạo ra những sai hỏng khiến màng có thể bị vỡ sau quá trình ủ kết tính.
Hình 3.2: Ảnh AFM màng PZT(53)4 lớp trên điện cực Pt
Hình 3.3:Ảnh AFM màng PZT(53)4 lớp trên điện cực SRO
Từảnh AFM hai chiều và ba chiều ta nhận thấy rằng vật liệu PZT(53) có cấu trúc dạng hạt. Độ mấp mô bề mặt của màng mỏng PZT(53) trên điện cực SRO là 1,1 nm giá trị này là thấp hơn trên điện cực Pt là 7,5nm. Hạt có kích thước đồng đều vào khoảng 40- 50nm. Trong khi đó trên điện cực Pt thì kích thước hạt vào khoảng 80 -100nm.